移相器及其制备方法技术

一种移相器及其制备方法。移相器包括：衬底；设置在衬底上的第一地线、第二地线、波导传输线，第一地线和第二地线分别位于波导传输线的两侧；绝缘层，位于波导传输线远离衬底一侧的表面上；膜桥，位于绝缘层远离衬底的一侧，膜桥与波导传输线之间具有空腔；膜桥的一端通过第一锚点与第一地线连接，膜桥的另一端通过第二锚点与第二地线连接；其中，第一锚点和第二锚点被配置为能够沿垂直于衬底的方向压缩和复位，以带动膜桥运动。以带动膜桥运动。以带动膜桥运动。

【技术实现步骤摘要】
移相器及其制备方法


[0001]本公开实施例涉及移相器，尤其涉及一种移相器及其制备方法。

技术介绍

[0002]移相器是一种能够对波的相位进行调整的装置，在雷达、导弹姿态控制、加速器、通信、仪器仪表等领域有着广泛的应用。随着微机电系统(Micro
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Electro
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Mechanical System，MEMS)技术的发展，促进了射频微机电(Radio Frequency Micro
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Mechanical System，RF MEMS)移相器的发展，RF MEMS移相器具有高线性度、高品质因数和几乎没有直流功耗等诸多优点。MEMS移相器可分为电容式和电阻式等几种类型。
[0003]移相度是衡量移相器好坏的一个重要指标。经本申请专利技术人研究发现，电容式MEMS移相器的移相度不足。

技术实现思路

[0004]本公开实施例提供一种移相器及其制备方法，能够解决电容式MEMS移相器移相度不足的问题。
[0005]第一方面，本公开实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种移相器，其特征在于，包括：衬底；设置在所述衬底上的第一地线、第二地线、波导传输线，所述第一地线和所述第二地线分别位于所述波导传输线的两侧；绝缘层，位于所述波导传输线远离所述衬底一侧的表面上；膜桥，位于所述绝缘层远离所述衬底的一侧，所述膜桥与所述波导传输线之间具有空腔；膜桥的一端通过第一锚点与所述第一地线连接，膜桥的另一端通过第二锚点与所述第二地线连接；其中，所述第一锚点和所述第二锚点被配置为能够沿垂直于所述衬底的方向压缩和复位，以带动所述膜桥运动。2.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述第一锚点包括多个悬臂梁，所述第一锚点的多个悬臂梁按照逆时针方向或顺时针方向首尾连接，沿远离所述衬底的方向形成第一弹簧结构；所述第二锚点包括多个悬臂梁，所述第二锚点的多个悬臂梁按照逆时针方向或顺时针方向首尾连接，沿远离所述衬底的方向形成第二弹簧结构。3.根据权利要求2所述的移相器，其特征在于，所述第一弹簧结构包括多层螺旋，每层螺旋包括多个所述悬臂梁，不同层螺旋的多个所述悬臂梁在所述衬底上的正投影相互重合；所述第二弹簧结构包括多层螺旋，每层螺旋包括多个所述悬臂梁，不同层螺旋的多个所述悬臂梁在所述衬底上的正投影相互重合。4.根据权利要求3所述的移相器，其特征在于，所述第一弹簧结构包括沿远离所述衬底方向的第一层螺旋和第二层螺旋，所述第一层螺旋包括多个所述悬臂梁，所述第二层螺旋包括单个所述悬臂梁；所述第二弹簧结构包括沿远离所述衬底方向的第一层螺旋和第二层螺旋，所述第一层螺旋包括多个所述悬臂梁，所述第二层螺旋包括单个所述悬臂梁。5.根据权利要求2所述的移相器，其特征在于，所述第一弹簧结构包括多层螺旋，每层螺旋包括多个所述悬臂梁，不同层螺旋的多个所述悬臂梁在所述衬底上的正投影不存在交叠；所述第二弹簧结构包括多层螺旋，每层螺旋包括多个所述悬臂梁，不同层螺旋的多个所述悬臂梁在所述衬底上的正投影不存在交叠。6.根据权利要求3至5中任一项所述的移相器，其特征在于，所述第一弹簧结构的旋转方向和所述第二弹簧结构的旋转方向相反。7.根据权利要求2所述的移相器，其特征在于，所述第一锚点包括第一子锚点和第二子锚点，所述第一子锚点和所述第二子锚点沿所述第一地线的延伸方向排列；所述第一子锚点包括多个悬臂梁，所述第一子锚点的多个悬臂梁按照逆时针方向或顺时针方向首尾连接，沿远离所述衬底的方向形成第一子弹簧结构；所述第二子锚点包括多个悬臂梁，所述第二子锚点的多个悬臂梁按照逆时针方向或顺时针方向首尾连接，沿远离所述衬底的方向形成第二子弹簧结构；所述第二锚点包括第三子锚点和第四子锚点，所述第三子锚点和所述第四子锚点沿所
述第二地线的延伸方向排列；所述第三子锚点包括多个悬臂梁，所述第三子锚点的多个悬臂梁按照逆时针方向或顺时针方向首尾连接，...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵建昀，郭景文，李春昕，吴倩红，刘建兴，曹子博，曲峰，李必奇，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：