下载移相器及其制备方法的技术资料

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一种移相器及其制备方法。移相器包括:衬底;设置在衬底上的第一地线、第二地线、波导传输线,第一地线和第二地线分别位于波导传输线的两侧;绝缘层,位于波导传输线远离衬底一侧的表面上;膜桥,位于绝缘层远离衬底的一侧,膜桥与波导传输线之间具有空腔;膜...
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