平面光栅衍射效率测试装置及方法制造方法及图纸

本申请提供了一种平面光栅衍射效率测试装置及方法，包括光线发射模块、分光模块、平面光栅、光通量接收模块和衍射效率计算模块；其中，所述分光模块将所述单色光进行分束，形成第一子路光线和第二子路光线；当第一子路光线、第二子路光线分别直接入射光通量接收模块时，所述光通量接收模块获得第一子路光线的入射光通量和第二子路光线的入射光通量；当第二子路光线直接入射光通量接收模块，第一子路光线经平面光栅衍射后再进入光通量接收模块时，所述光通量接收模块获得第一子路的衍射光通量和第二子路光线的入射光通量；所述衍射效率计算模块能够得到所述平面光栅的衍射效率。本申请提高了光栅的衍射效率测试的准确性。申请提高了光栅的衍射效率测试的准确性。申请提高了光栅的衍射效率测试的准确性。

【技术实现步骤摘要】
平面光栅衍射效率测试装置及方法


[0001]本专利技术涉及对光栅衍射效率的测试领域，特别是指一种平面光栅衍射效率测试装置及方法。

技术介绍

[0002]目前，色散型光谱成像系统的分光元件一般为棱镜和光栅，其中光栅因其具有高色散本领和高环境稳定性的特点，成为光谱成像系统主流分光元件，而光栅的分光能力指标中的光栅衍射效率对仪器的整体性能产生的影响非常大，因此对光栅进行衍射效率测试是光栅检测中的关键，而现有的光栅衍射效率测试装置往往存在以下问题：(1)用激光作为测试光源，激光作为高斯光束与自然光源存在差异，且激光在光栅处的光斑往往较小，测试光与光栅工作状态存在较大差异。(2)使用单光路测试的方法进行检测，无法消除光源波动对测试结果的影响。

技术实现思路

[0003]为了解决上述问题，本申请提供了一种平面光栅衍射效率测试装置，包括光线发射模块、分光模块、平面光栅、光通量接收模块和衍射效率计算模块；
[0004]其中，所述光线发射模块发出波长为λ单色光；所述分光模块将所述单色光进行分束，形成至少两条子路光线，设置为第一子路光线和第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平面光栅衍射效率测试装置，其特征在于，包括光线发射模块、分光模块、平面光栅、光通量接收模块和衍射效率计算模块；其中，所述光线发射模块发出波长为λ单色光；所述分光模块将所述单色光进行分束，形成至少两条子路光线，设置为第一子路光线和第二子路光线；当第一子路光线、第二子路光线分别直接入射光通量接收模块时，所述光通量接收模块获得第一子路光线的入射光通量E0(λ)和第二子路光线的入射光通量E
′0(λ)；当第二子路光线直接入射光通量接收模块，第一子路光线经平面光栅衍射后再进入光通量接收模块时，所述光通量接收模块获得第一子路的衍射光通量E
g
(λ)和第二子路光线的入射光通量E
′0(λ)；所述衍射效率计算模块能够得到当第一子路光线、第二子路光线分别直接入射光通量接收模块时，第一子路光线的入射光通量E0(λ)与所述第二子路光线的入射光通量E
′0(λ)线性关系，从而得到当第二子路光线的入射光通量为E
′0(λ)时，第一子路光线的入射光通量应为E0(λ)＝K
×
E
′0(λ)+b再根据此时第一子路光线经过所述平面光栅衍射后的衍射光通量E
g
(λ)，得到所述平面光栅的衍射效率η(λ)＝E
g
(λ)/E0(λ)。2.根据权利要求1所述的平面光栅衍射效率测试装置，其特征在于，在第一子路光线和第二子路光线形成的两条光路上分别设置光通量接收模块，分别用于收集第一子路光线的光通量和第二子路光线的光通量。3.根据权利要求1所述的平面光栅衍射效率测试装置，其特征在于，在所光线发射模块和分光模块之间，沿光线延伸方向依次设置有光阑、抛物面镜和偏振片。4.根据要求要求1所述的平面光栅衍射效率测试装置，其特征在于，其特征在于，所述光通量收集模块包括聚焦透镜和探测器，所述子路光线被所述聚焦透镜聚焦，由所述探测器收集记录聚焦后的光线的光通量。5.根据要求要求3所述的平面光栅衍射效率测试装置，其特征在于，所述光阑为孔径光阑，用于减小光源发散角，直径为0.1mm。6.根据要求要求3所述的平面光栅衍射效率测试装置，其特征在于，所述抛物面镜能够将光线准直为平行光入射，所述抛物面镜口径为25.4mm，焦距为25.4mm，离轴角为9...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹春荣，郭少军，周晓松，沈同圣，程靖轩，
申请(专利权)人：中国人民解放军军事科学院国防科技创新研究院，
类型：发明
国别省市：