一种PERC电池片背激光开槽结构制造技术

技术编号:37345525 阅读:12 留言:0更新日期:2023-04-22 21:39
本申请涉及太阳电池领域,具体而言,涉及一种PERC电池片背激光开槽结构。PERC电池片背激光开槽结构包括若干个间隔设置的背激光槽;所述背激光槽包括多个线槽,多个所述线槽共有一个交叉点并在所述交叉点连通;相邻两个所述线槽的延伸方向不相互垂直且不相互平行。通过背激光开槽结构的设置,限制高温烧结过程中硅的横向扩散有效的减少了PERC电池铝硅接触空洞比例,从而改善了局部BSF和铝硅接触能力,增强背面钝化效果,从而提升PERC电池的电学性能。能。能。

【技术实现步骤摘要】
一种PERC电池片背激光开槽结构


[0001]本申请涉及太阳电池领域,具体而言,涉及一种PERC电池片背激光开槽结构。

技术介绍

[0002]目前光伏市场上主流的电池是钝化发射极和背面太阳能电池(PERC,Passivated Emitter and Rear Cell),PERC电池背面采用AlOx和SiNx钝化,从而有效降低背面的载流子复合速率。
[0003]PERC电池需要采用激光技术将钝化膜局部开槽形成铝背场(BSF)层,使铝浆和硅局部接触,实现载流子的背面收集。通过背面局部接触极大地提高了背面钝化效果,但开槽区无法被铝硅合金完全填充,形成铝硅接触空洞(void)。

技术实现思路

[0004]本申请实施例的目的在于提供一种PERC电池片背激光开槽结构,其旨在降低铝硅接触空洞的比例。
[0005]本申请提供一种PERC电池片背激光开槽结构,PERC电池片背激光开槽结构包括若干个间隔设置的背激光槽;
[0006]所述背激光槽包括多个线槽,多个所述线槽共有一个交叉点并在所述交叉点连通;相邻两个所述线槽的延伸方向不相互垂直且不相互平行。
[0007]通过背激光开槽结构的设置,限制高温烧结过程中硅的横向扩散有效的减少了PERC电池铝硅接触空洞比例,从而改善了局部BSF和铝硅接触能力,增强背面钝化效果,从而提升PERC电池的电学性能。
[0008]在本申请的一些实施例中,任意相邻两个所述线槽之间的夹角相等。
[0009]在本申请的一些实施例中,背激光槽的形状为“*”形、“*”形、“*”形。
[0010]在本申请的一些实施例中,所有所述背激光槽开口的面积之和占所述PERC电池片背面的总面积的1%

10%。
[0011]在本申请的一些实施例中,所述背激光槽包括五个及五个以上线槽。
[0012]在本申请的一些实施例中,相邻两个所述线槽的延伸方向的夹角为10

85
°

[0013]在本申请的一些实施例中,定义所述线槽沿其延伸方向的尺寸为长度;每个所述线槽的长度均为30μm

6000μm,线槽长度太小会加重交叉处的复合,过大则会减弱该图形对Si扩散的限制效果。
[0014]在本申请的一些实施例中,任意两个所述线槽的长度之差小于1000μm。
[0015]在本申请的一些实施例中,定义所述线槽沿与其延伸方向垂直的方向的尺寸为宽度;所述线槽的宽度为5μm

50μm。
[0016]在本申请的一些实施例中,背激光槽的槽口的宽度与槽底的宽度相同。
[0017]在本申请的一些实施例中,所述背激光开槽结构通过一种或者多种形状的所述背激光槽阵列分布形成。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]图1示出了本申请实施例提供的背激光槽第一示例的结构示意图。
[0020]图2示出了本申请实施例提供的背激光槽第二示例的结构示意图。
[0021]图3示出了本申请实施例提供的背激光槽第三示例的结构示意图。
[0022]图4示出了本申请实施例提供的背激光槽第四示例的结构示意图。
[0023]图5示出了本申请实施例提供的背激光槽第五示例的结构示意图。
[0024]图6示出了本申请实施例提供的背激光槽第六示例的结构示意图。
[0025]图7示出了本申请实施例提供的背激光槽第七示例的结构示意图。
[0026]图8示出了本申请实施例提供的背激光槽第八示例的结构示意图。
[0027]图9示出了背激光开槽结构示例一的结构示意图。
[0028]图10示出了背激光开槽结构示例二的结构示意图。
[0029]图11示出了背激光开槽结构示例三的结构示意图。
[0030]图12示出了背激光开槽结构示例四的结构示意图。
[0031]图13示出了对比例1提供的背激光开槽结构示意图。
[0032]图14示出了实施例1提供的PERC电池片机械刮除铝浆层后SEM图。
[0033]图15示出了实施例2提供的PERC电池片机械刮除铝浆层后SEM图。
[0034]图16示出了实施例3提供的PERC电池片机械刮除铝浆层后SEM图。
[0035]图17示出了实施例4提供的PERC电池片机械刮除铝浆层后SEM图。
[0036]图18示出了对比例1提供的PERC电池片机械刮除铝浆层后SEM图。
[0037]图标:100

背激光槽;101

线槽。
具体实施方式
[0038]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。实施例中未注明具体条件者,按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者,均为可以通过市售购买获得的常规产品。
[0039]下面对本申请实施例的PERC电池片背激光开槽结构进行具体说明。
[0040]一种PERC电池片,PERC电池片具有背激光开槽结构,背激光开槽结构包括若干个间隔设置的背激光槽;
[0041]背激光槽包括多个线槽,多个线槽共有一个交叉点并在交叉点连通;相邻两个线槽的延伸方向不相互垂直且不相互平行。
[0042]换言之,多个线槽相互交叉,且任意两个线槽的交叉点均重合,该交叉点与线槽是连通的。相邻两个线槽的延伸方向不相互垂直且不相互平行。
[0043]相邻两个线槽的延伸方向之间的夹角不为90
°
,也不为180
°
,例如,相邻两个线槽的延伸方向之间的夹角可以为5
°
、10
°
、20
°
、23
°
、25
°
、26
°
、30
°
、32
°
、35
°
、38
°
、40
°
、43
°
、45
°

46
°
、49
°
、50
°
、53
°
、61
°
、68
°
、75
°
、79
°
、82
°
、85
°
、95
°
、100
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、102
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、106
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、110
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、113
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、12本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PERC电池片背激光开槽结构,其特征在于,所述PERC电池片背激光开槽结构包括若干个间隔设置的背激光槽;所述背激光槽包括多个线槽,多个所述线槽共有一个交叉点并在所述交叉点连通;相邻两个所述线槽的延伸方向不相互垂直且不相互平行。2.根据权利要求1所述的PERC电池片背激光开槽结构,其特征在于,任意相邻两个所述线槽之间的夹角相等。3.根据权利要求1所述的PERC电池片背激光开槽结构,其特征在于,所述背激光槽包括五个及五个以上线槽。4.根据权利要求1所述的PERC电池片背激光开槽结构,其特征在于,相邻两个所述线槽的延伸方向的夹角为10

85
°
。5.根据权利要求4所述的PERC电池片背激光开槽结构,其特征在于,所述背激光槽的形状为形、形以及形中的至少一种。6.根据权利要求1所述的PERC电池片背激光开槽结构,其特征在于,所有所述背激光槽开口的面...

【专利技术属性】
技术研发人员:邢国光刘尧平陈伟王燕唐旱波冯博文陈兴谦杜小龙
申请(专利权)人:松山湖材料实验室
类型:发明
国别省市:

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