柔性光电型红外传感器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种柔性光电型红外传感器，包括柔性衬底和形成在所述柔性衬底同侧的探测单元和参比单元，所述探测单元包括设置在所述衬底上的探测区域光电薄膜和设置在所述探测区域光电薄膜上的钝化层，所述参比单元包括设置在所述衬底上的参比区域光电薄膜和设置在所述参比区域光电薄膜上的遮光层。所述探测单元感测各种红外信号，所述参比单元在暗环境下工作，仅能感测外部的干扰信号，不会接受红外信号；所以，探测单元感测信号与参比单元感测信号的差值作为真实红外信号，如此排除了环境温度和外界应力等干扰因素的影响，避免或减少误报，从而提升了所述柔性光电红外传感器的信号准确性和精度，有利于其在可穿戴设备上推广应用。上推广应用。上推广应用。

【技术实现步骤摘要】
柔性光电型红外传感器


[0001]本技术涉及一种红外传感器，尤其涉及一种柔性光电型红外传感器。

技术介绍

[0002]可穿戴式医疗设备可探测各种人体生理信号。其中，脉搏信号和血氧饱和度是人体重要的生理参数，能够反映出人体心脏和血管的功能状况，是临床上诊断疾病、观察治疗效果、进行预后判断的重要依据，因此对脉搏信号的连续测量，对血氧饱和度的在线监测在临床和医学研究中具有重要的意义。
[0003]光电型红外传感器是指一些半导体材料在红外辐射的照射下产生光电效应，从而使材料的电学性质发生变化，通过测量电学性质的变化，可以确定红外辐射的强弱；该类传感器具有灵敏度高、响应速度快、响应频率高等特点。利用该类传感器制备的可穿戴设备佩戴舒适，并可对人体血压和血氧饱和度进行24小时连续监测。然而，目前技术针对红外传感器的柔性化结构研究的相对较少，同时，现有的红外光电传感器大都由硅或其他无机半导体材料制备而成，材料制备工艺复杂，不利于大面积制备，且传感器结构不适用于柔性应用，严重阻碍了柔性的新型传感器的大规模应用进程。
[0004]柔性的红外传感器在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性光电型红外传感器，其特征在于：包括柔性衬底和形成在所述柔性衬底同侧的探测单元和参比单元，所述探测单元包括设置在所述衬底上的探测区域光电薄膜和设置在所述探测区域光电薄膜上的钝化层，所述参比单元包括设置在所述衬底上的参比区域光电薄膜和设置在所述参比区域光电薄膜上的遮光层。2. 根据权利要求1所述的柔性光电型红外传感器，其特征在于：所述钝化层为透光层，厚度10～300 nm。3.根据权利要求2所述的柔性光电型红外传感器，其特征在于：所述钝化层为二氧化硅层、三氧化二铝层或硫化砷层。4. 根据权利要求1所述的柔性光电型红外传感器，其特征在于：所述遮光层为厚度100～500 nm。5.根据权利要求4所述的柔性光电型红外传感器，其特征在于：所述遮光层的材质为铬、镍、铝、碳黑或黑色胶水。6. 根据权利要求1所述的柔性光电型红外传感器，其特征在于：所述光电薄膜为硫化铅光电薄膜或硒化铅光电薄膜，厚度为0.5～5 μm。7.根据权利要求1～6任一项所述的柔性光电型...

【专利技术属性】
技术研发人员：古瑞琴，杨志博，郭海周，汪静，高胜国，张小水，
申请(专利权)人：郑州炜盛电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：