一种原位打磨PVD靶材的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种原位打磨PVD靶材的装置，属于太阳能电池制造技术领域。包括PVD腔体，所述PVD腔体内两侧分别固定连接有第一底座和第二底座，所述第二底座的一侧设置有第二卡盘，所述第二卡盘与第二底座转动连接，所述第一底座的一侧固定连接有第一卡盘，所述第一卡盘与第一底座转动连接，所述第一底座的另一侧固定连接有伺服电机，所述伺服电机的转轴贯穿第一底座与第一卡盘固定连接，所述第一卡盘的一侧外设置有第一伸缩装置等。本实用新型专利技术中，在发现靶材结瘤后，无需开腔取出靶材进行打磨，实现了原位自动打磨靶材的目标，极大地缩短了磁控溅射设备的停机时间，增加了设备产能和靶材使用率，提高了量产电学性能。提高了量产电学性能。提高了量产电学性能。

【技术实现步骤摘要】
一种原位打磨PVD靶材的装置


[0001]本技术涉及太阳能电池制造
，具体为一种原位打磨PVD靶材的装置。

技术介绍

[0002]异质结太阳能电池(HJT)因其高的发电量、低温工艺和降本增效空间大而受到广泛关注。其中，异质结太阳能电池与传统的扩散式太阳能电池(PERC)的主要区别是，异质结太阳能电池的正背面都需要一个透明的导电氧化物(TCO)薄膜。因为非晶硅的高电阻特性，需要TCO薄膜用于收集电流并传输到金属电极。同时TCO薄膜还有减反射的作用，能够增加光的吸收，可以增加光电流。同时，TCO薄膜对硅片还有保护和钝化作用，可以增加光生电压，对提高光伏电池的电性能有很大帮助。所以TCO薄膜几乎主导了异质结太阳能电池的短路电流(Jsc)和填充因子(FF)的性能。因此，具有优良光学和电学性能的TCO薄膜对于异质结太阳能电池是至关重要的。制备TCO薄膜的工艺包括：喷涂法、化学或物理气相沉积法、蒸镀法和溅射法等等。在这些方法中磁控溅射法因其在制备薄膜时，具有良好的操作性和较高的成膜速率已经成为目前工业化应用最广的TCO薄膜制备技术。
[0003]然而，目前在利用磁控溅射设备(PVD)制备TCO薄膜时，PVD靶材在经过一段时间放电后，靶材附近往往会出现一些不均匀的区域。不均匀的这些区域的电荷堆积会引起弧光放电，慢慢产生结瘤。在现有技术下针对PVD靶材的结瘤问题，需要对磁控溅射设备进行破真空、吹冷却水、拆装靶材、打磨靶材、安装靶材、抽真空、预溅射，目前此工艺下最短时间为8小时，严重影响磁控溅射设备的产能。
技术内容
[0004]本技术的目的在于提供一种原位打磨PVD靶材的装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种原位打磨PVD靶材的装置，其包括PVD腔体，所述PVD腔体内两侧分别固定连接有第一底座和第二底座，所述第一底座的一侧固定连接有第一卡盘，所述第一卡盘与第一底座转动连接，所述第二底座的一侧设置有第二卡盘，所述第二卡盘与第二底座转动连接，所述第一底座的另一侧固定连接有伺服电机，所述伺服电机的转轴贯穿第一底座与第一卡盘固定连接，所述第一卡盘的一侧外设置有第一伸缩装置，所述第一卡盘的另一侧外设置有第二伸缩装置，所述第一伸缩装置和所述第二伸缩装置的结构相同，所述第一伸缩装置包括承载盒盖、三级伸缩气缸、承载盒和连接杆，所述三级伸缩气缸的一端与PVD腔体的内壁固定连接，所述三级伸缩气缸的另一端固定连接承载盒，所述承载盒的顶面和底面均铰接承载盒盖，所述承载盒盖的表面铰接连接杆，所述连接杆的一端与三级伸缩气缸的第二级伸缩杠铰接，所述第一伸缩装置的承载盒和所述第二伸缩装置的承载盒的一侧均固定连接有砂纸。
[0007]可选地，所述第一伸缩装置的砂纸的目数比第二伸缩装置的砂纸目数低。
[0008]可选地，所述PVD腔体的一侧固定连接有外接吸尘器，所述外接吸尘器与PVD腔体的内腔相连通。
[0009]可选地，所述承载盒盖的一侧固定连接有橡胶垫。
[0010]可选地，所述承载盒盖和承载盒材料为不锈钢、航空铝或钛合金。
[0011]上述所有可选地技术方案均可任意组合，本技术不对一一组合后的结构进行详细说明。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]本技术通过在PVD腔体中设置第一伸缩装置、所述第二伸缩装置和砂纸等部件，实现了在磁控溅射设备原位自动打磨靶材的目标，极大地缩短了磁控溅射设备的停机时间，增加了设备产能和靶材使用率，提高了量产电学性能。
[0014]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0015]图1为本技术一种原位打磨PVD靶材的装置的结构示意图；
[0016]图2为本技术一种原位打磨PVD靶材的装置的局部结构示意图；
[0017]图3为图2中A处放大后的结构示意图；
[0018]图4为本技术一种原位打磨PVD靶材的装置的承载盒盖6打开后的结构示意图。
[0019]图中：1、PVD腔体；2、伺服电机；3、第一底座；4、第一卡盘；5、外接吸尘器；6、承载盒盖；7、三级伸缩气缸；8、承载盒；9、连接杆；10、第二卡盘；11、第二底座；12、砂纸；13、橡胶垫；14、第一伸缩装置；15、第二伸缩装置。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1－4，本技术提供的一种原位打磨PVD靶材的装置，其包括PVD腔体1，所述PVD腔体1内两侧分别固定连接有第一底座3和第二底座11，所述第一底座3的一侧固定连接有第一卡盘4，所述第一卡盘4与第一底座3转动连接，所述第二底座11的一侧设置有第二卡盘10，所述第二卡盘10与第二底座11转动连接，所述第一底座3的另一侧固定连接有伺服电机2，所述伺服电机2的转轴贯穿第一底座3与第一卡盘4固定连接，所述第一卡盘4的一侧外设置有第一伸缩装置14，所述第一卡盘4的另一侧外设置有第二伸缩装置15，所述第一伸缩装置14和所述第二伸缩装置15的结构相同，所述第一伸缩装置14包括承载盒盖6、三级伸缩气缸7、承载盒8和连接杆9，所述三级伸缩气缸7的一端与PVD腔体1的内壁固定连接，所述三级伸缩气缸7的另一端固定连接承载盒8，所述承载盒8的顶面和底面均铰接承载盒盖6，所述承载盒盖6的表面铰接连接杆9，所述连接杆9的一端与三级伸缩气缸7的第二级伸
缩杠铰接，所述第一伸缩装置14的承载盒8和所述第二伸缩装置15的承载盒8的一侧均固定连接有砂纸12。
[0022]其中，PVD腔体1、伺服电机2、第一底座3、第一卡盘4、第二卡盘10和第二底座11可以为磁控溅射设备本身用于固定靶材及控制靶材旋转的部件，本技术在这些设备的基础上增加了其它部件，如第一伸缩装置14、所述第二伸缩装置15和砂纸12等部件来实现靶材的原位打磨。
[0023]可选地，所述第一伸缩装置14的砂纸12的目数比第二伸缩装置15的砂纸12目数低。其中，砂纸12的材料不限，可以为普通砂纸、植绒海绵砂纸、3M海绵砂纸的一种。
[0024]可选地，所述PVD腔体1的一侧固定连接有外接吸尘器5，所述外接吸尘器5与PVD腔体1的内腔相连通。
[0025]可选地，所述承载盒盖6的一侧固定连接有橡胶垫13，以减小上下两个承载盒盖6盖合时的缓冲力。
[0026]可选地，所述承载盒盖6和承载盒8材料为不锈钢、航空铝或钛合金。连接杆9也可以采用这些材料制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种原位打磨PVD靶材的装置，其特征在于：包括PVD腔体(1)，所述PVD腔体(1)内两侧分别固定连接有第一底座(3)和第二底座(11)，所述第一底座(3)的一侧固定连接有第一卡盘(4)，所述第一卡盘(4)与第一底座(3)转动连接，所述第二底座(11)的一侧设置有第二卡盘(10)，所述第二卡盘(10)与第二底座(11)转动连接，所述第一底座(3)的另一侧固定连接有伺服电机(2)，所述伺服电机(2)的转轴贯穿第一底座(3)与第一卡盘(4)固定连接，所述第一卡盘(4)的一侧外设置有第一伸缩装置(14)，所述第一卡盘(4)的另一侧外设置有第二伸缩装置(15)，所述第一伸缩装置(14)和所述第二伸缩装置(15)的结构相同，所述第一伸缩装置(14)包括承载盒盖(6)、三级伸缩气缸(7)、承载盒(8)和连接杆(9)，所述三级伸缩气缸(7)的一端与PVD腔体(1)的内壁固定连接，所述三级伸缩气缸(7)的另一端固定连接承载盒(8)，所述承载...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄金，李莎，杨立友，王继磊，鲍少娟，任法渊，杨文亮，师海峰，杨泽奇，李文敏，
申请(专利权)人：晋能清洁能源科技股份公司，
类型：新型
国别省市：