一种硼扩散炉管洁净度测试方法技术

本发明专利技术属于太阳能电池制造技术领域，具体公开一种硼扩散炉管洁净度测试方法，该方法通过在石英舟的各个位置放置硅片进行氧化工艺，并分别测试烧结前后的洁净度参数，利用洁净度参数进行简单计算以判断硼扩散炉管的洁净度水平，以此可以缩短验证结果所需要时间，同时也减少了验证所需要的硅片数量；间接的减少了产生低效片的数量，提高生产效率，提高了电池成品的合格率，节约了生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池制造，特别涉及一种硼扩散炉管洁净度测试方法。

技术介绍

1、光伏发电是可再生能源领域中技术最成熟、最具规模开发条件和商业化发展前景的发电方式之一。晶硅太阳能电池因其其良好的稳定性和成熟的工艺流程已经被大规模应用到各个领域。

2、随着工艺技术的发展，n型topcon电池以其高转换效率、低衰减性能、高性价比等明显优势，越来越受到市场的重视，其中硼扩散工序是生产过程中重要的环节，所以保证硼扩散的工艺的稳定和降低本工序的生产成本是人们研究的重点。

3、硼扩散作为topcon电池第二个工艺环节，是电池生产中最为重要的环节，且由于硼扩需要高温反应以及工艺时间较长的特点，所以对硼扩散炉管内洁净度要求很高。但是硼扩散炉管的洁净度质量无法直观、准确地获得相关信息。在新机台装机后的首舟验证、机台升降温后的首舟验证以及机台炉管大维护后的首舟验证都需要单独跟踪一管电池成品效率正常才能投入使用。这样不仅耽误炉管投入使用时间造成产量损失，且如果维护饱和不合格还会导致不合格电池产生，造成了成品合格率的降低且浪费了大量的时间及人力成本。...

【技术保护点】

1.一种硼扩散炉管洁净度测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的硼扩散炉管洁净度测试方法，其特征在于，每个位置以单插的方式连续放置8～12片后送进硼扩散炉管做氧化工艺。

3.根据权利要求1所述的硼扩散炉管洁净度测试方法，其特征在于，所述原硅片为N型原硅片。

4.根据权利要求1所述的硼扩散炉管洁净度测试方法，其特征在于，所述氧化工艺包括如下步骤：

5.根据权利要求4所述的硼扩散炉管洁净度测试方法，其特征在于，对所述硼扩散炉管进行抽真空处理时，抽真空时间设定为200～300S。预热时间设定30-45min，炉管内温度控制为...

【技术特征摘要】

1.一种硼扩散炉管洁净度测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的硼扩散炉管洁净度测试方法，其特征在于，每个位置以单插的方式连续放置8～12片后送进硼扩散炉管做氧化工艺。

3.根据权利要求1所述的硼扩散炉管洁净度测试方法，其特征在于，所述原硅片为n型原硅片。

4.根据权利要求1所述的硼扩散炉管洁净度测试方法，其特征在于，所述氧化工艺包括如下步骤：

5.根据权利要求4所述的硼扩散炉管洁净度测试方法，其特征在于，对所述硼扩散炉管进行抽真空处理时，抽真空时间设定为200～300s。预热时间设定30-45min，炉管内温度控制为800～950℃。

6.根据权利要求1所述的硼扩散炉管洁净度测试方法，其特征在于，利用pecvd设备对所述花篮中的氧化后硅片...

【专利技术属性】
技术研发人员：武啟强，张伟，崔宁，穆晓超，徐国栋，孔青青，王菲，贾慧君，
申请(专利权)人：晋能清洁能源科技股份公司，
类型：发明
国别省市：