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本发明属于太阳能电池制造技术领域，具体公开一种硼扩散炉管洁净度测试方法，该方法通过在石英舟的各个位置放置硅片进行氧化工艺，并分别测试烧结前后的洁净度参数，利用洁净度参数进行简单计算以判断硼扩散炉管的洁净度水平，以此可以缩短验证结果所需要时间...
该专利属于晋能清洁能源科技股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过晋能清洁能源科技股份公司授权不得商用。

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