本实用新型专利技术公开一种半导体制造用化学品供给装置。本实用新型专利技术的半导体制造用化学品供给装置包括：多个化学品供给器，用于向处理室供给化学品；装置柜，形成有多个收纳单元，其用于收纳多个上述化学品供给器；以及控制器，配置在上述装置柜的一侧，与多个上述化学品供给器连接以综合控制多个上述化学品供给器的工作。作。作。
【技术实现步骤摘要】
半导体制造用化学品供给装置
[0001]本技术涉及一种半导体制造用化学品供给装置，更详细地，涉及在半导体制造工艺中将化学品作为工艺气体供给到处理室的装置。
技术介绍
[0002]通常，半导体制造工艺通过反复执行薄膜沉积、曝光、蚀刻等工序来制造半导体。经过半导体制造工艺制出的半导体中具有代表性的是晶片。
[0003]如上所述的半导体制造工艺在密闭的处理室内进行，在此情况下，需要根据半导体制造工艺的种类向处理室内供给适当的化学品(工艺气体)。
[0004]化学品是由用于处理室的工艺的化学药品组成的工艺气体，通过利用氦(He)等惰性载气来供给到处理室。
[0005]作为参考，化学品中具有代表性的化学药品有原硅酸四乙酯(TEOS，Tetra Ethyl Ortho Silicate)、三甲基铝(TMA，Tri Methyl Aluminum)、硼酸三乙酯(TEB，Tri ethyl Borate)、硼酸三甲酯(TMB，Tri Methyl Borate)、亚磷酸三甲酯(TMPI，Tri Methyl Phosphite)、磷酸三甲酯(TMOP，Tri Methyl Phosphate)、磷酸三乙酯(TEOP，Tri Ethyl Phosphate)等，可根据半导体制造工艺选择性地使用。
[0006]与之相关的现有技术文献有韩国授权专利公报第10
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0675276号(专利技术名称：半导体制造用气体供给装置，公告日期：2007年01月26日)及韩国授权专利公报第10
‑<br/>1010573号(专利技术名称：半导体制造用化学品供给装置及半导体制造用化学品供给方法，公告日期：2011年01月24日)。
技术实现思路
[0007]本技术的目的在于，提供一种半导体制造用化学品供给装置，其可以在一个半导体制造用化学品供给装置中通过多个化学品供给器顺畅地向多个处理室供给化学品，并使用一个控制器来综合控制多个化学品供给器的工作。
[0008]根据本技术一实施例，上述目的通过如下的半导体制造用化学品供给装置来实现，半导体制造用化学品供给装置的特征在于，包括：多个化学品供给器，用于向处理室供给化学品；装置柜，形成有多个收纳单元，其用于收纳多个上述化学品供给器；以及控制器，配置在上述装置柜的一侧，与多个上述化学品供给器连接以综合控制多个上述化学品供给器的工作。
[0009]优选地，上述装置柜可以包括：柜体，形成有多个一侧开放的箱型的上述收纳单元；以及主门，分别配置在多个上述收纳单元的一侧以开闭上述收纳单元的内部空间，上述控制器可以包括：门开闭传感器，分别配置在多个上述收纳单元或多个上述主门，用于检测多个上述主门的开闭状态；以及控制部，与多个上述门开闭传感器连接，当多个上述门开闭传感器中的至少一个检测到上述主门的打开状态时，使收纳在上述主门被打开的收纳单元中的上述化学品供给器停止工作。
[0010]优选地，上述控制器还可以包括警告部，当多个上述门开闭传感器中的至少一个检测到上述主门的打开状态时，警告上述主门的打开状态，上述警告部设置在上述装置柜，其数量与多个上述收纳单元对应，上述控制部与多个上述警告部连接，以选择性地启动与上述主门被打开的收纳单元对应的警告部。
[0011]优选地，上述装置柜还可以包括副门，分别可开闭地配置在形成于多个上述主门的开口部，以在遮蔽上述主门的状态下操作上述化学品供给器的工作。
[0012]优选地，上述控制器可以包括：气体泄漏传感器，分别配置在多个上述化学品供给器或多个上述收纳单元中的一个，用于检测从多个上述化学品供给器中泄漏的上述化学品；以及控制部，与多个上述气体泄漏传感器连接，当多个上述气体泄漏传感器中的至少一个检测到上述化学品时，使收纳在检测到上述化学品的至少一个收纳单元的上述化学品供给器停止工作。
[0013]优选地，上述控制器还可以包括警告部，当多个上述气体泄漏传感器中的至少一个检测到上述化学品时，警告上述化学品供给器的化学品泄漏，上述警告部设置在上述装置柜，其数量与多个上述收纳单元对应，上述控制部与多个上述警告部连接，以选择性地启动与通过上述气体泄漏传感器检测到上述化学品的收纳单元对应的警告部。
[0014]优选地，上述控制器还可以包括液体泄漏传感器，分别配置在多个上述收纳单元的底面，用于检测从上述化学品供给器中以液态泄漏的上述化学品，上述控制部与上述液体泄漏传感器连接，以启动与通过上述液体泄漏传感器检测到液态的上述化学品的收纳单元对应的警告部。
[0015]优选地，上述控制器可以根据多个上述化学品供给器的启动时间、工作时长、工作顺序或工作方式综合控制多个上述化学品供给器。
[0016]本技术提供在半导体制造用化学品供给装置中设置多个化学品供给器并通过一个控制器进行综合控制的结构，从而可以稳定、高效地向多个处理室供给化学品，与以往在每个化学品供给器设置的半导体制造用化学品供给装置相比，可以减少设置多个半导体制造用化学品供给装置所需的空间及成本。
附图说明
[0017]图1为本技术一实施例的半导体制造用化学品供给装置的主视图。
[0018]图2为图1所示的半导体制造用化学品供给装置的右视图。
[0019]图3为图1所示的半导体制造用化学品供给装置的俯视图。
[0020]图4为截取示出图1所示的半导体制造用化学品供给装置的一部分的左视图。
[0021]图5为截取示出图1所示的半导体制造用化学品供给装置的一部分的后视图。
[0022]图6为用于说明图1所示的半导体制造用化学品供给装置的控制结构的框图。
[0023]附图标记的说明
[0024]100：半导体制造用化学品供给装置
[0025]200：化学品供给器
[0026]212：处理罐
[0027]216：散装罐
[0028]300：装置柜
[0029]310：柜体
[0030]312：第一收纳单元
[0031]314：第二收纳单元
[0032]316：第三收纳单元
[0033]320：主门
[0034]330：副门
[0035]400：控制器
[0036]410：门开闭传感器
[0037]420：气体泄漏传感器
[0038]430：液体泄漏传感器
[0039]440：控制部
[0040]450：警告部
具体实施方式
[0041]为了充分理解本技术及本技术的工作优点以及通过实施本技术所达到的目的，需要参照例示出本技术优选实施例的附图及附图中记载的内容。
[0042]以下，将参照附图说明本技术优选实施例来对本技术进行详细的描述。但是，为了明确表达本技术的主旨，本技术的描述中将省略对已知功能或结构的说明。
[0043]图1为本技术一实施例的半导体制造用化学品供给装置的主视图，图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体制造用化学品供给装置，其特征在于，包括：多个化学品供给器，用于向处理室供给化学品；装置柜，形成有多个收纳单元，其用于收纳多个上述化学品供给器；以及控制器，配置在上述装置柜的一侧，与多个上述化学品供给器连接以综合控制多个上述化学品供给器的工作。2.根据权利要求1所述的半导体制造用化学品供给装置，其特征在于，上述装置柜包括：柜体，形成有多个一侧开放的箱型的上述收纳单元；以及主门，分别配置在多个上述收纳单元的一侧以开闭上述收纳单元的内部空间，上述控制器包括：门开闭传感器，分别配置在多个上述收纳单元或多个上述主门，用于检测多个上述主门的开闭状态；以及控制部，与多个上述门开闭传感器连接，当多个上述门开闭传感器中的至少一个检测到上述主门的打开状态时，使收纳在上述主门被打开的收纳单元中的上述化学品供给器停止工作。3.根据权利要求2所述的半导体制造用化学品供给装置，其特征在于，上述控制器还包括警告部，当多个上述门开闭传感器中的至少一个检测到上述主门的打开状态时，警告上述主门的打开状态，上述警告部设置在上述装置柜，其数量与多个上述收纳单元对应，上述控制部与多个上述警告部连接，以选择性地启动与上述主门被打开的收纳单元对应的警告部。4.根据权利要求2所述的半导体制造用化学品供给装置，其特征在于，上述装置柜还包括副门，分别能够开闭地配置在形成于多个上述主门的开口部，以在遮蔽上述主门的状态下操作上述化学品供给器的工...
【专利技术属性】
技术研发人员：李亨燮，
申请(专利权)人：SMI株式会社，
类型：新型
国别省市：
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