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本实用新型公开一种半导体制造用化学品供给装置。本实用新型的半导体制造用化学品供给装置包括：多个化学品供给器，用于向处理室供给化学品；装置柜，形成有多个收纳单元，其用于收纳多个上述化学品供给器；以及控制器，配置在上述装置柜的一侧，与多个上述化...
该专利属于SMI株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过SMI株式会社授权不得商用。

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