一种用于提升氮化镓制备效率方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及氮化镓制备技术领域，揭露了一种用于提升氮化镓制备效率方法和装置，该方法包括：将历史氮化镓制备数据数据清洗成标准历史制备数据，按照制备周期将标准历史制备数据拆分为多个周期制备数据集；逐一选取周期制备数据集提取出制备参数数据集和制备成品数据集，计算出制备成品数据集对应的制备合格率；计算出目标制备数据集的合格制备效率；根据目标制备数据集构建初始制备分析模型，并利用所有的合格制备效率和合格制备效率对应的制备参数数据集对初始制备分析模型进行训练，得到制备效率模型；获取实时制备数据，利用制备效率模型分析出最佳制备效率并生成标准制备方法。本发明专利技术可以提高氮化镓的制备效率。本发明专利技术可以提高氮化镓的制备效率。本发明专利技术可以提高氮化镓的制备效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于提升氮化镓制备效率方法和装置


[0001]本专利技术涉及氮化镓制备
，尤其涉及一种用于提升氮化镓制备效率方法和装置。

技术介绍

[0002]氮化镓是氮和镓的化合物，是一种直接能隙的半导体，氮化镓凭借自身优异的光电性能和较为宽广的可调控带隙广泛应用于半导体行业，随着近年氮化镓充电技术的发展，市场上对于氮化镓的需求也与日俱增。
[0003]现有的氮化镓制备方法多为基于人为经验的制备方法，例如，根据经验的化学气相沉积法，利用高温下镍对氮源和镓源的催化作用，生成氮化镓晶体，实际过程中，基于人为经验的制备方法需要大量的实验验证，且每个人的经验不同，制备过程中的参数设置也不同，得到的氮化镓质量也参差不齐，缺乏经验的制备人员可能会导致制备后的氮化镓存在裂纹等缺陷，进而会导致进行氮化镓制备时的效率较低。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种用于提升氮化镓制备效率方法和装置，其主要目的在于解决进行氮化镓制备时的效率较低的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供的一种用于提升氮化镓制备效率方法，包括：本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于提升氮化镓制备效率方法，其特征在于，所述方法包括：S1：获取历史氮化镓制备数据，对所述历史氮化镓制备数据进行数据清洗，得到标准历史制备数据，按照制备周期将所述标准历史制备数据拆分为多个周期制备数据集；S2：逐一选取所述周期制备数据集作为目标制备数据集，从所述目标制备数据集中提取出制备参数数据集和制备成品数据集，计算出所述制备成品数据集对应的制备合格率，其中，所述计算出所述制备成品数据集对应的制备合格率，包括：S21：从所述制备成品数据集中提取出成品衍射谱图以及成品电镜图；S22：从所述成品衍射谱图中提取出衍射峰特征和晶格常数；S23：利用如下的纯净度公式根据所述衍射峰特征和所述晶格常数计算出所述制备成品数据集对应的制备纯净度：其中，是指所述制备纯净度，是指所述衍射峰特征中的衍射峰高度，是预设的尖锐系数，是指所述衍射峰特征中的第二峰位，是指所述衍射峰特征中的第一峰位，是指所述晶格常数中的第一晶胞基矢，是指所述晶格常数中的第三晶胞基矢；S24：根据所述制备纯净度和所述成品电镜图计算出所述制备成品数据集对应的制备合格率；S3：从所述制备成品数据集中提取出成品质量，利用所述制备参数数据集、所述制备合格率以及所述成品质量计算出所述目标制备数据集的合格制备效率；S4：根据所述目标制备数据集构建初始制备分析模型，并利用所有的所述合格制备效率和所述合格制备效率对应的制备参数数据集对所述初始制备分析模型进行训练，得到制备效率模型；S5：获取实时制备数据，利用所述制备效率模型对所述实时制备数据进行极值分析，得到最佳制备效率，并根据所述最佳制备效率生成标准制备方法。2.如权利要求1所述的用于提升氮化镓制备效率方法，其特征在于，所述对所述历史氮化镓制备数据进行数据清洗，得到标准历史制备数据，包括：将所述历史氮化镓制备数据按照数据类型进行分类，得到多个初始制备数据集；逐个选取所述初始制备数据集作为目标制备数据集，将所述目标制备数据集向量化成初始制备向量集；对所述初始制备向量集进行特征聚类，得到多个制备种类数据类；利用所述制备种类数据类对所述历史氮化镓制备数据进行数据清洗，得到标准历史制备数据。3.如权利要求2所述的用于提升氮化镓制备效率方法，其特征在于，所述对所述初始制备向量集进行特征聚类，得到多个制备种类数据类，包括：将所述初始制备向量集分为多个制备向量组，随机选取各所述制备向量组的初级中心向量，并计算所述初始制备向量集中各个制备向量与各所述初级中心向量的语义相似度；根据所述语义相似度对所述初始制备向量集中的各制备向量进行分组，得到多个标准制备向量组；
计算出各个所述标准制备向量组的次级中心向量，计算出各个所述次级中心向量与对应的所述初级中心向量之间的中心相似度，并将所有的所述中心相似度的平均值作为平均中心相似度；根据所述平均中心相似度将各所述标准制备向量组更新成制备种类数据类。4.如权利要求2所述的用于提升氮化镓制备效率方法，其特征在于，所述利用所述制备种类数据类对所述历史氮化镓制备数据进行数据清洗，得到标准历史制备数据，包括：利用预设的占位数据替换所述历史氮化镓制备数据中的乱码数据与越位数据，得到占位制备数据；逐个选取所述占位制备数据中的占位数据作为目标占位数据，将所述目标占位数据对应的所述制备种类数据类作为目标制备数据类；利用所述目标制备数据类的聚类中心数据替换所述目标占位数据，得到标准历史制备数据。5.如权利要求1所述的用于提升氮化镓制备效率方法，其特征在于，所述根据所述制备纯净度和所述成品电镜图计算出所述制备成品数据集对应的制备合格率，包括：对所述成品电镜图进行灰度化操作，得到灰度电镜图；对所述灰度电镜图进行中值滤波操作，得到标准电镜图；利用如下的制备合格率公式根据所述制备纯净度计算出所述标准电镜图对应的制备合格率：其中，是指所述制备合格率，是指所述制备纯净度，是指所述标准电镜图的横向像素点总数，是指所述标准电镜图的纵向像素点总数，是指第个横向像素点，是指第个纵向像素点，是预设的取样窗口长度，是预设的取样窗口宽度，是指灰度值，是指所述标准电镜图中坐标为的像素点的灰度值，是指所述标准电镜图中坐标为的像素点的灰度值，是预设的粗糙度系...

【专利技术属性】
技术研发人员：仇亮，徐建，
申请(专利权)人：广东仁懋电子有限公司，
类型：发明
国别省市：