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本发明涉及氮化镓制备技术领域，揭露了一种用于提升氮化镓制备效率方法和装置，该方法包括：将历史氮化镓制备数据数据清洗成标准历史制备数据，按照制备周期将标准历史制备数据拆分为多个周期制备数据集；逐一选取周期制备数据集提取出制备参数数据集和制备成...
该专利属于广东仁懋电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东仁懋电子有限公司授权不得商用。

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