节流阀制造技术

本发明专利技术涉及一种节流阀，应用于单晶炉的排气管道上，用于调节单晶炉内的炉压，包括阀体，所述阀体包括阀板和升降结构；所述升降结构用于控制所述阀板在与所述排气管道的排气口的径向方向相平行的第一方向往复移动，以控制所述排气口的开度。通过阀板的上下滑动来改变排气管的截面积来控制流量，阀板上下刮擦可以起到清除排气管的排气口处的氧化物附着的作用，降低动作阻力，很好的避免了阀板与管道壁出现因氧化物粉尘附着导致卡死的问题。因氧化物粉尘附着导致卡死的问题。因氧化物粉尘附着导致卡死的问题。

【技术实现步骤摘要】
节流阀


[0001]本专利技术涉及单晶炉拉晶设备
，尤其涉及一种节流阀。

技术介绍

[0002]晶体的生长过程需要保证在一个密闭的炉腔空间内。炉腔内会不断的通入氩气，炉腔底部连接着排气管道，排气管道的末端连接真空泵进行抽排气。炉腔内需要得到满足拉晶工艺需求的压力，通过排气管道上安装的节流阀进行调节和控制炉内的压力。
[0003]在重掺砷磷的拉晶工艺中，需要投入大量的掺杂剂来改变拉制晶棒中的电阻率。由于大量掺杂剂的存在，会导致晶体生长过程中产生大量的氧化物粉尘在炉腔内。其中大量的氧化物粉尘会被排气管道抽出，但是氧化物粉尘附着力强，仍然有部分少量的氧化物会因为高温烧结附着在炉压调节节流阀的阀板上和排气管道壁。因节流阀的阀板和管道壁的间隙过小，当氧化物粉尘附着后，阀板很容易被卡住。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种节流阀，解决阀板容易被卡住的问题。
[0005]为了达到上述目的，本专利技术实施例采用的技术方案是：一种节流阀，应用于单晶炉的排气管道上，用于调节单晶炉内的炉压，包括阀体，所述阀体包括阀板和升降结构；
[0006]所述升降结构用于控制所述阀板在与所述排气管道的排气口的径向方向相平行的第一方向往复移动，以控制所述排气口的开度。
[0007]可选的，沿着所述第一方向，所述阀板包括靠近所述排气口设置的第一侧面，所述第一侧面为斜面，所述阀板在垂直于所述第一方向上的截面的形状为梯形。
[0008]可选的，所述阀板靠近所述排气口的一面的面积大于所述阀板远离所述排气口的一面的面积。
[0009]可选的，所述阀板的形状与所述排气口的形状相符。
[0010]可选的，所述阀体包括沿所述第一方向设置的第一容纳腔，所述阀板可移动的设置于所述第一容纳腔内。
[0011]可选的，所述第一容纳腔在所述第一方向上的一端设置有用于排出杂质的出口，所述出口处封盖有盖板。
[0012]可选的，所述升降结构包括：
[0013]与所述阀板连接的升降杆，所述升降杆沿所述第一方向延伸设置；
[0014]丝杠，通过一连接杆与所述升降杆连接；
[0015]驱动电机，用于控制丝杠转动，以控制所述阀板在所述第一方向上往复运动。
[0016]可选的，还包括在所述第一方向上间隔设置的第一限位传感器和第二限位传感器，所述第一限位传感器用于在所述阀板移动到第一位置时，使得所述排气口的开度为100％时，控制所述驱动电机停止工作；所述第一限位传感器用于在所述阀板移动到第一位置时，使得所述排气口的开度为0％时，控制所述驱动电机停止工作。
[0017]可选的，所述阀体包括沿所述第一方向设置的第一容纳腔，以及位于所述第一容纳腔的一侧的第二容纳腔，所述阀板可移动的设置于所述第一容纳腔内，所述升降结构设置于所述第二容纳腔内，所述第一容纳腔和所述第二容纳腔之间设置连接孔，以使得所述升降杆的一端穿过所述连接孔以与所述阀板连接，所述连接孔处设置有密封圈。
[0018]本专利技术的有益效果是：通过阀板的上下滑动来改变排气管的截面积来控制流量，阀板上下刮擦可以起到清除排气管的排气口处附着的氧化物的作用，降低动作阻力，很好的避免了阀板与管道壁出现因氧化物粉尘附着导致卡死的问题。
附图说明
[0019]图1表示本专利技术实施例中的节流阀的示意图；
[0020]图2表示阀板的示意图。
具体实施方式
[0021]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例的附图，对本专利技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本专利技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0023]当前使用的节流阀的结构是圆形阀板通过步进电机驱动在管道内进行90度旋转运动，通过改变管道的横截面面积来达到改变流量的功能。为保证阀板闭合时的气密性，阀板与管道壁的间隙量非常小，这样必然会导致少量的氧化物粉尘烧结附着后，阀板无法自由转动。
[0024]参考图1和图2，针对上述问题，本实施例提供一种节流阀，应用于单晶炉的排气管道上，用于调节单晶炉内的炉压，包括阀体，所述阀体包括阀板1和升降结构；
[0025]所述升降结构用于控制所述阀板1在与所述排气管道的排气口的径向方向相平行的第一方向往复移动，以控制所述排气口的开度。
[0026]当前使用的通用型节流阀的设计，阀板1与管道壁的间隙量过小，很容易出现阀板1卡死无法动的情况。当节流阀阀板1卡死后，炉腔内的压力无法有效和精准的控制，会导致无法满足拉晶工艺需求。生长出来的晶棒无法有效的控制氧含量和电阻率，品质无法满足生产需求，只能选择降级或者报废产品。
[0027]为保证节流阀在晶体生长的过程中不出现卡死的问题，通常的做法是需要采取定期的拆解节流阀清洁。通过使用刮刀、酒精和无尘布擦拭掉阀体内的氧化物粉尘，这样清洁作业的周期比较频繁，而且严重影响生产效率。
[0028]而本实施例中，将阀板1的移动方式由转动(在垂直于排气口的径向方向的方向上开合式的转动)更改为滑动，有效的降低氧化物的附着阻力对其开闭状态的影响，本实施例
中，通过阀板1的上下滑动来改变排气管的截面积来控制流量，阀板1上下刮擦可以起到清除排气管的排气口处的氧化物附着的作用，降低动作阻力，很好的避免了阀板1与管道壁出现因氧化物粉尘附着导致卡死的问题。
[0029]示例性的实施方式中，沿着所述第一方向，所述阀板1包括靠近所述排气口设置的第一侧面，所述第一侧面为斜面。
[0030]斜面的设置，使得阀板1在排气管的排气口处进行上下滑动时，可以起到刮铲排气口处附着的氧化物粉尘的作用，使得所述节流阀具备自清洁功能。
[0031]示例性的，所述阀板1在垂直于所述第一方向上的截面的形状为梯形，且所述阀板1靠近所述排气口的一面的面积大于所述阀板1远离所述排气口的一面的面积。
[0032]所述阀板1的整个外周面采用斜面的设置方式，使得阀板1在排气管的排气口处进行上下滑动时，可以起到刮铲排气口处附着的氧化物粉尘的作用，使得所述节流阀具备自清洁功能。
[0033]示例性的实施方式中，所述阀板1的形状与所述排气口的形状相符。以有效地封盖所述排气口。
[0034]示例性的，所述阀板1的横截面积大于所述排气口的面积，以在封盖所述排气口时，保证密封性。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种节流阀，应用于单晶炉的排气管道上，用于调节单晶炉内的炉压，其特征在于，包括阀体，所述阀体包括阀板和升降结构；所述升降结构用于控制所述阀板在与所述排气管道的排气口的径向方向相平行的第一方向往复移动，以控制所述排气口的开度。2.根据权利要求1所述的节流阀，其特征在于，沿着所述第一方向，所述阀板包括靠近所述排气口设置的第一侧面，所述第一侧面为斜面，所述阀板在垂直于所述第一方向上的截面的形状为梯形。3.根据权利要求1所述的节流阀，其特征在于，所述阀板靠近所述排气口的一面的面积大于所述阀板远离所述排气口的一面的面积。4.根据权利要求1所述的节流阀，其特征在于，所述阀板的形状与所述排气口的形状相符。5.根据权利要求1所述的节流阀，其特征在于，所述阀体包括沿所述第一方向设置的第一容纳腔，所述阀板可移动的设置于所述第一容纳腔内。6.根据权利要求5所述的节流阀，其特征在于，所述第一容纳腔在所述第一方向上的一端设置有用于排出杂质的出口，所述出口处封盖有盖板。7.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王阳，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：发明
国别省市：