下载节流阀的技术资料

文档序号:37323181

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本发明涉及一种节流阀,应用于单晶炉的排气管道上,用于调节单晶炉内的炉压,包括阀体,所述阀体包括阀板和升降结构;所述升降结构用于控制所述阀板在与所述排气管道的排气口的径向方向相平行的第一方向往复移动,以控制所述排气口的开度。通过阀板的上下滑动...
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