【技术实现步骤摘要】
一种晶圆方向识别装置
[0001]本技术涉及晶圆方向识别装置
，具体为一种晶圆方向识别装置。
技术介绍
[0002]随着半导体制造领域的技术革新，晶圆键合在半导体异质集成制造领域的作用日渐突出。例如，铌酸锂、钽酸锂等铁电单晶作为一种性能优异的铁电单晶半导体，因其具有良好的光电、声光、压电、双折射、非线性等物理特性及耐高温、抗腐蚀、机械性能稳定等特性，被广泛应用于滤波器、光电调制器、光波导、倍频转换器、全息存储等方面。随着近年来，稀土掺杂工程、畴工程、近化学计量比生长和加工技术的完善，有关铌酸锂光电子器件如全光信号处理、光学数据存储、光学传感等领域更是迅猛发展。
[0003]现有技术存在以下问题：
[0004]1、现有的晶圆在生产运输过程中需要对晶圆的缺陷进行查找和定位，但现有的晶圆方向识别方法仍为人工进行识别，从而导致工作效率较低且错误率较高；
[0005]2、现有的晶圆在运输和晶圆方向识别的过程中会因机械臂导致晶圆与外壳发生接触，从而导致晶圆造成损伤使得次品率变高。
技术实现思路
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆方向识别装置，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)的上方固定安装有外壳(2)，所述外壳(2)的上部表面固定安装有声光报警器(3)，所述外壳(2)的内部固定安装有空腔(4)，所述外壳(2)的一侧内壁固定安装有内腔(5)，所述内腔(5)的内部固定安装有螺杆(6)，所述螺杆(6)的表面螺纹连接有螺纹套(7)，所述螺纹套(7)的一侧固定安装有第一固定板(8)，所述第一固定板(8)的一侧表面上方固定安装有第一滑轨(9)，所述第一滑轨(9)的一侧滑动连接有横杆(10)，所述横杆(10)的一侧滑动连接有第二滑轨(11)，所述第二滑轨(11)的一侧固定安装有第二固定板(12)，所述第二固定板(12)的一侧固定安装有滑套(13)，所述滑套(13)的内部滑动连接有滑杆(14)，所述横杆(10)的下方固定连接有机械臂(15)，所述机械臂(15)的下方设置有晶圆本体(16)，所述空腔(4)的内部下方固定安装有底板(17)，所述底板(17)的上部表面一侧固定安装有第一距离传感器(18)，所述底板(17)的上部表面中部固定安装有灯源(19)，所述空腔(4)的一侧开设有第一滑槽(20)，所述第一滑轨(9)的内部开设有第二滑槽(21)，所述第一滑轨(9)的下方固定安装有安装板(22)，所述外壳(2)的一侧下方固定安装有传动组件(23)，所述传动组件(23)的一侧固定安装有第一齿轮(24)，所述第一齿轮(24)的一侧齿合连接有第二齿轮(25)，所述安装板(22)的下方一侧固定安装有图像传感器(26)，所述图像传感器(26)的一侧设置有第二距离传感器(27)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆方向识别...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨亮亮，陈洪立，俞智勇，梁少敏，
申请(专利权)人：江苏希太芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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