【技术实现步骤摘要】
一种供气柜的管路结构
[0001]本申请涉及供气管路技术的领域，尤其是涉及一种供气柜的管路结构。
技术介绍
[0002]在半导体实验室和研究所等场合进行实验研究的时候，经常会用到各种不同成分，不同比例的气体，在供气过程中存放气体的钢瓶是常见的设备。为使得气体存放钢瓶在供气时稳定放置，并且能够稳定地进行供气，通常将多个气体存放钢瓶固定放置于供气柜内。
[0003]供气管内设置有供气管路结构，供气管路结构包括主气管和多个固定并连通于支气管，主气管穿设于供气柜的柜壁设置，主管位于供气管外的部分设置有多个出气口。多个支管均位于供气柜内，多个气体存放钢瓶分别对应可拆卸连接并连通于多个支管，多个支管均设置有电磁阀，气体存放钢瓶通过主气管和支气管进行供气。
[0004]为满足实验研究中用到的混合气体，供气柜内的多个气体存放钢瓶储存的气体种类并不相同。当一种气体存放钢瓶内的气体用完时，将对应的支管的电磁阀关闭后，再对气体存放钢瓶进行更换。由于气体存放钢瓶体积和质量都比较大，更换所需时间较长，使得气体存放钢瓶的供气间断时间较长...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种供气柜的管路结构，其特征在于：包括主管路（1）和多个支管路（2），多个所述支管路（2）均固定连接并连通于主管路（1），多个所述支管均固定连接并连通有换气管（3），所述支管路（2）设置有第一电磁阀（21），所述换气管（3）均设置有第二电磁阀（31）。2.根据权利要求1所述的一种供气柜的管路结构，其特征在于：所述主管路（1）设置有气体压力表（11），所述气体压力表（11）同时电连接于第一电磁阀（21）和第二电磁阀（31），所述气体压力表（11）用于控制第一电磁阀（21）和第二电磁阀（31）的交错开关。3.根据权利要求1所述的一种供气柜的管路结构，其特征在于：所述支管路（2）和换气环均设置有清气件（4），所述清气件（4）用于将气体存放钢瓶（8）的阀门与第一电磁阀（21）、气体存放钢瓶（8）的阀门与第二电磁阀（31）之间的气体清理回收。4.根据权利要求3所述的一种供气柜的管路结构，其特征在于：清气件（4）包括氮气管（41）、输送管（42）和设置于输送管（42）的第三电磁阀（43），两个所述氮气管（41）分别对应固定连接并连通于支管路（2）和换气管（3），两个所述氮气管（41）分别对应位于第一电磁阀（21）和第二电磁阀（31）远离主管路（1）的一侧，所述输送管（42）同时固定连接并连通于支管路（2）和换气管（3）。5.根据权利要求1所述的一种供气柜...
【专利技术属性】
技术研发人员：马青，司庆超，陈瑛，
申请(专利权)人：盖斯博半导体科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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