本申请涉及一种气体输出更纯的供气柜管路结构，包括供气管、活塞板、设置并连通于供气管的回收件、吹气件和排气件，供气管设置有总电磁阀，供气管的截面轮廓呈矩形，活塞板滑移连接于供气管相对的两侧内壁，回收件包括两个设置并连通于供气管的回收管、同时设置并连通于两个回收管的回收箱、设置于其中一个回收管的回收电磁阀和设置于另一个回收管的回收气泵，吹气件用于将总电磁阀和减压阀之间的供给气体吹入回收箱内，排气件用于将总电磁阀和减压阀之间的空气排出，吹气件和排气件位于活塞板的一侧，两个回收管位于活塞板的另一侧。本申请具有提升供气管路输出气体的纯度的效果。申请具有提升供气管路输出气体的纯度的效果。申请具有提升供气管路输出气体的纯度的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种气体输出更纯的供气柜管路结构
[0001]本申请涉及供气管路技术的领域，尤其是涉及一种气体输出更纯的供气柜管路结构。
技术介绍
[0002]在半导体实验室和研究所等场合进行实验研究的时候，通常使用供气柜为试验供给各种不同成分，不同比例的气体。供气管内设置有供气钢瓶和多个供气管路，供气管路连通于供气钢瓶，以对供气钢瓶内的气体进行运输。
[0003]供气钢瓶设置有减压阀，减压阀连接于供气管路，供气管路另外设置有阀门。当供气钢瓶内的气体快供给完后，将供气管路的阀门和减压阀同时进行关闭，将供气钢瓶相对供气管路进行拆卸。再将新的供气钢瓶安装于供气管路，打开供气管路的阀门和减压阀，以继续进行供气。
[0004]由于将新的供气钢瓶连接安装于供气管路后，供气管路的阀门和减压阀之间存在较多的空气。打开阀门和减压阀，供气钢瓶向供气管路中输送气体时，供气管路的阀门和减压阀之间的空气也会通过供气管道进行输出，导致供气管路输出的气体纯度降低。
技术实现思路
[0005]为了提升供气管路输出气体的纯度，本申请提供一种气体输出更纯的供气柜管路结构。
[0006]本申请提供的一种气体输出更纯的供气柜管路结构采用如下的技术方案：
[0007]一种气体输出更纯的供气柜管路结构，包括供气管、活塞板、设置并连通于供气管的回收件、吹气件和排气件，所述供气管设置有总电磁阀，所述供气管的截面轮廓呈矩形，所述活塞板滑移连接于供气管相对的两侧内壁，所述回收件包括两个设置并连通于供气管的回收管、同时设置并连通于两个回收管的回收箱、设置于其中一个回收管的回收电磁阀和设置于另一个回收管的回收气泵，所述吹气件用于将总电磁阀和减压阀之间的供给气体吹入回收箱内，所述排气件用于将总电磁阀和减压阀之间的空气排出，所述吹气件和排气件位于活塞板的一侧，两个所述回收管位于活塞板的另一侧。
[0008]通过采用上述技术方案，将当供气钢瓶内的气体快供给完后，将总电磁阀和供气钢瓶的气阀同时进行关闭，此时总电磁阀和供气钢瓶的气阀之前存在一些供给气体。开启回收电磁阀，并开启吹气件，吹气件吹出的气体将活塞板相对供气管推动，以将总电磁阀和供气钢瓶的气阀之间的供给气体挤入回收箱内，再关闭回收电磁阀。此时总电磁阀和供气钢瓶的气阀之间存在其他气体，可将供气钢瓶相对供气管进行拆卸更换。更换完成后，开启回收气泵，回收箱内的供给气体输入供气管内，并对活塞板朝向排气件推动，以将总电磁阀和供气钢瓶的气阀之间的其他气体通过排气件排出，此时总电磁阀和供气钢瓶的气阀之间仅存在供给气体，此时再开启总电磁阀和供气钢瓶的气阀将供给气体输入供气管内，其他气体已被排出，提升供气管路输出气体的纯度。
[0009]可选的，所述供气管的内壁固定连接有至少两个滑移杆，至少两个所述滑移杆相互平行，所述活塞板同时穿设并滑移连接于至少两个滑移杆。
[0010]通过采用上述技术方案，活塞板通过两个滑移杆相对供气管内文稳定地滑动，两个活塞杆限制活塞板在滑移过程中发生转动。
[0011]可选的，所述活塞板的外侧边沿固定连接有密封圈，所述密封圈贴合于供气管的内壁。
[0012]通过采用上述技术方案，密封圈对活塞板与供气管内壁的空隙进行封堵，以增加活塞板相对供气管滑移的气密性，减小吹气件吹出的气体在推动活塞板的过程中，其他气体进入回收管内对供给气体造成污染的可能性。
[0013]可选的，所述滑移杆包覆有密封垫，所述密封垫贴合于活塞板。
[0014]通过采用上述技术方案，密封垫对活塞板和滑移杆的间隙进行密封，进一步增加活塞板相对供气管滑移的气密性，减小吹气件吹出的气体在推动活塞板的过程中，其他气体进入回收管内对供给气体造成污染的可能性。
[0015]可选的，所述吹气件包括设置并连通于供气管的吹气管和设置于吹气管的吹气气泵，所述气源连通于吹气管。
[0016]通过采用上述技术方案，吹气气泵将其他气体抽入供气管内，以将活塞板朝向回收管推动，以将总电磁阀和供气钢瓶的气阀的供给气体推入回收管内。
[0017]可选的，所述回收箱设置有气体压力表，所述气体压力表电连接于吹气气泵，所述气体压力表用于控制吹气气泵的关闭。
[0018]通过采用上述技术方案，由于回收箱的容积固定，总电磁阀和供气钢瓶的减压阀之间的供给气体量相对固定，当气体压力表检测到回收箱内的气压达到设定值，表示总电磁阀和供气钢瓶的减压阀之间的供给气体已相对全部进入回收箱内，气体压力表控制吹气气泵关闭，以减小总电磁阀和供气钢瓶的减压阀之间的气压过高，而导致相对供气管拆卸供气钢瓶时发生危险的可能性。
[0019]可选的，所述排气件包括排气管和排气电磁阀，所述排气管设置并连通于供气管，所述排气电磁阀设置于排气管。
[0020]通过采用上述技术方案，开启回收气泵，并同时开启排气电磁阀，回收气泵将回收箱内的供给气体输入供气管内，供给气体对活塞板朝向排气件推动，以将总电磁阀和供气钢瓶的气阀之间的其他气体通过排气管排出。
[0021]可选的，所述供气管的入气口边沿固定连接有连接管，所述连接管的截面轮廓呈圆形，所述连接管一端的开口边沿向外弯曲形成弯曲部，所述弯曲部边沿固定连接于供气管的入气口边沿，所述活塞板的一侧边沿贴合于弯曲部。
[0022]通过采用上述技术方案，连接管使得供气管能够与减压阀的出气管连接，且活塞板的一侧边沿贴合于弯曲部，减小其他气体或供给气体在推动活塞板时通过连接管进入另一侧，而难以推动活塞板的可能性。
[0023]可选的，所述回收箱设置有气体压力表，所述气体压力表电连接于吹气气泵，所述气体压力表用于控制吹气气泵的关闭。
[0024]通过采用上述技术方案，由于回收箱的容积固定，总电磁阀和供气钢瓶的减压阀之间的供给气体量相对固定，当气体压力表检测到回收箱内的气压达到设定值，表示总电
磁阀和供气钢瓶的减压阀之间的供给气体已相对全部进入回收箱内，气体压力表控制吹气气泵关闭，以减小总电磁阀和供气钢瓶的减压阀之间的气压过高，而导致相对供气管拆卸供气钢瓶时发生危险的可能性。
[0025]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0026]1.将供气钢瓶相对供气管进行拆卸更换更换完成后，开回收气泵将回收箱内的供给气体输入供气管内，并对活塞板朝向排气件推动，以将总电磁阀和供气钢瓶的气阀之间的其他气体通过排气件排出，再开启总电磁阀和供气钢瓶的气阀将供给气体输入供气管内，其他气体已被排出，提升供气管路输出气体的纯度；
[0027]2.密封圈增加活塞板相对供气管滑移的气密性，减小吹气件吹出的气体在推动活塞板的过程中，其他气体进入回收管内对供给气体造成污染的可能性；
[0028]3.气体压力表控制吹气气泵关闭，以减小总电磁阀和供气钢瓶的减压阀之间的气压过高，而导致相对供气管拆卸供气钢瓶时发生危险的可能性。
附图说明
[0029]图1是本申请实施例的结构示意图。
[0030]图2是本申请实施例中供气管的局本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气体输出更纯的供气柜管路结构，其特征在于：包括供气管(1)、活塞板(2)、设置并连通于供气管(1)的回收件(3)、吹气件(4)和排气件(5)，所述供气管(1)设置有总电磁阀(11)，所述供气管(1)的截面轮廓呈矩形，所述活塞板(2)滑移连接于供气管(1)相对的两侧内壁，所述回收件(3)包括两个设置并连通于供气管(1)的回收管(31)、同时设置并连通于两个回收管(31)的回收箱(34)、设置于其中一个回收管(31)的回收电磁阀(32)和设置于另一个回收管(31)的回收气泵(33)，所述吹气件(4)用于将总电磁阀(11)和减压阀之间的供给气体吹入回收箱(34)内，所述排气件(5)用于将总电磁阀(11)和减压阀之间的空气排出，所述吹气件(4)和排气件(5)位于活塞板(2)的一侧，两个所述回收管(31)位于活塞板(2)的另一侧。2.根据权利要求1所述的一种气体输出更纯的供气柜管路结构，其特征在于：所述供气管(1)的内壁固定连接有至少两个滑移杆(12)，至少两个所述滑移杆(12)相互平行，所述活塞板(2)同时穿设并滑移连接于至少两个滑移杆(12)。3.根据权利要求1所述的一种气体输出更纯的供气柜管路结构，其特征在于：所述活塞板(2)的外侧边沿固定连接有密封圈(6)，所述密封圈(6)贴合于供气管(1)...
【专利技术属性】
技术研发人员：张繁，杨斌，马青，
申请(专利权)人：盖斯博半导体科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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