一种多压力输出的供气柜制造技术

本申请涉及一种多压力输出的供气柜，其包括柜体、气瓶和调压器，所述气瓶呈竖向延伸且可拆卸安装于柜体内部，所述调压器固定于柜体内部，所述气瓶的出气端与调压器进气端相可拆卸连接，所述柜体下部设置有放置板，所述气瓶站立于放置板上端面，所述放置板沿竖向滑移连接于柜体，所述柜体设置有用于控制放置板沿竖向滑移的升降组件。本申请具有提高气瓶安装时与调压器之间连接的便捷性，同时提高气瓶的安装效率的效果。装效率的效果。装效率的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种多压力输出的供气柜


[0001]本申请涉及供气柜的领域，尤其是涉及一种多压力输出的供气柜。

技术介绍

[0002]半导体制程中，供气柜的使用是相对较为广泛的，供气柜包括柜体和可拆卸安装于柜体内部的气瓶，且气瓶呈竖向延伸放置。使用时，柜体能够对气瓶做防护，同时增加使用的安全性。此时，为了提高供气柜的性能，会在供气柜内固定调压器，调压器的进气端与气瓶的出气端相可拆卸连接，使得在调压器的作用下，供气柜输出气体时能够具备多种不同压力，进而提高供气柜的使用效果。
[0003]但不同规格的气瓶安装于柜体内时，若气瓶的高度不同，使得气瓶的出气端在与调压器的进气端连接时，往往会在气瓶底部铺设不同厚度的垫块，使得该过程相对较为繁杂，进而导致气瓶的安装效率相对较低。

技术实现思路

[0004]为了提高气瓶安装时与调压器之间连接的便捷性，同时提高气瓶的安装效率，本申请提供一种多压力输出的供气柜。
[0005]本申请提供的一种多压力输出的供气柜采用如下的技术方案：一种多压力输出的供气柜，包括柜体、气瓶和调压器，所述气瓶呈竖向延伸且可拆卸安装于柜体内部，所述调压器固定于柜体内部，所述气瓶的出气端与调压器进气端相可拆卸连接，所述柜体下部设置有放置板，所述气瓶站立于放置板上端面，所述放置板沿竖向滑移连接于柜体，所述柜体设置有用于控制放置板沿竖向滑移的升降组件。
[0006]通过采用上述技术方案，气瓶安装时，先将气瓶放置于放置板，随后通过升降组件对放置板所在高度进行调节，进而实现对气瓶的安装高度进行调节，便于气瓶的出气端与调压器的进气端相对齐，提高气瓶安装时与调压器之间连接的便捷性，同时提高气瓶的安装效率。
[0007]可选的，所述升降组件包括两个升降螺杆、驱动电机和传动杆，两个所述升降螺杆沿竖向转动连接于柜体，所述升降螺杆穿设并螺纹连接于放置板，所述传动杆安装有第一齿轮组，所述第一齿轮组用于使传动杆与升降螺杆之间进行传动，所述驱动电机安装于柜体且用于驱动传动杆转动。
[0008]通过采用上述技术方案，使用时，开启驱动电机，进而能够带动传动杆转动，随后在第一齿轮组的作用下，同时控制两个升降螺杆转动，从而驱动放置板升降，以实现对放置板和气瓶所在高度进行调节的目的。。
[0009]可选的，所述放置板包括第一板体和第二板体，所述第二板体呈环形，且所述第一板体位于第二板体的中部区域，所述放置板还包括多个连接链，所述连接链的两端分别连接第一板体和第二板体，所述第一板体用于放置气瓶，且所述气瓶同样位于第二板体的中部区域，所述升降组件作用于第二板体。
[0010]通过采用上述技术方案，安装时，将气瓶放置于放置板，且使气瓶位于第一板体上，随后通过升降组件控制第二板体上升，第二板体能够通过连接链对第一板体进行牵引，进而实现对第一板体及气瓶所在高度进行调节的目的，且此时，第二板体会呈套设气瓶的状态，进而对气瓶具有支撑及防护效果，减小气瓶倾倒的可能性，进一步增加放置板的性能，增加使用效果。
[0011]可选的，多个所述连接链环绕气瓶均匀分布设置，且所述连接链套设有由弹性材料制成的防护套。
[0012]通过采用上述技术方案，使用时，连接链存在摆动的可能性，此时设置的防护套能够对气瓶做防护，减小连接链对气瓶造成磨损的程度，同时增加气瓶使用及安装过程中的安全性。
[0013]可选的，所述第二板体转动连接有多个抵接柱，多个所述抵接柱环绕气瓶分布设置，所述第一板体开设有用于对抵接柱做退让的退让缺口，所述抵接柱一端朝向第二板体中部区域延伸且用于与气瓶外壁相抵接，所述抵接柱的旋转部设置有顶推扭簧，所述顶推扭簧用于使抵接柱朝向第二板体中部区域的一端具备朝向气瓶旋转的趋势。
[0014]通过采用上述技术方案，第二板体在上升过程中，抵接柱先与气瓶底部相抵接，随后在气瓶的阻挡下及顶推扭簧的推动作用，抵接柱会逐渐旋转并最后抵接于气瓶外壁，随后抵接柱随着第二板体的上升持续保持与气瓶外壁相抵接，进而提高对气瓶的支撑效果，并且，还能够便于适应不同直径、不同规格的气瓶进行抵接支撑，增加使用范围。
[0015]可选的，各所述抵接柱的转动部处均设置有夹紧块，所述夹紧块滑移连接于第二板体，且所述夹紧块用于将抵接柱夹紧以对抵接柱所在位置进行锁定。
[0016]通过采用上述技术方案，滑移夹紧块，进而能够对抵接柱所在位置进行锁定，增加抵接柱的稳固性，使得多个抵接柱同时对气瓶做支撑时的稳固性更佳，增加气瓶安装的稳固性。
[0017]可选的，所述抵接柱朝向气瓶的一端转动连接有抵接滚轮，所述抵接滚轮用于抵接气瓶外壁。
[0018]通过采用上述技术方案，设置的抵接滚轮使得抵接柱的活动端与气瓶外壁之间为滚动连接，进而减小气瓶受到磨损的程度。
[0019]可选的，所述第二板体设置有控制组件，所述控制组件包括连接环，多个所述夹紧块均连接于连接环，所述连接环转动连接于第二板体，所述控制组件还包括控制件，所述控制件用于对连接环进行转动锁止。
[0020]通过采用上述技术方案，多个抵接柱均抵接于气瓶外壁后，通过控制件控制连接环转动，随后在连接环的作用下，带动多个夹紧块移动，进而使得多个夹紧块同时夹紧多个抵接柱，便于同时对多个夹紧块进行控制，增加使用的便捷性。
[0021]可选的，所述控制件包括蜗轮和蜗杆且两者相啮合，所述蜗轮同轴固定连接于连接环，所述蜗杆转动连接于第二板体。
[0022]通过采用上述技术方案，多个抵接柱均抵接于气瓶外壁后，转动蜗杆，进而能够对蜗轮的旋转做控制，进而控制连接环的转动，且蜗杆停止转动时，对蜗轮及连接环具有转动锁止的效果。
[0023]可选的，所述柜体转动连接有控制齿轮，所述控制齿轮呈长条状结构且沿竖向延
伸，所述第二板体设置有第二齿轮组，所述第二齿轮组用于对控制齿轮与蜗杆之间进行传动，所述第二齿轮组还滑移连接于控制齿轮。
[0024]通过采用上述技术方案，在第二板体上升的过程中，第二齿轮组能够沿控制齿轮滑移，与此同时，转动控制齿轮还能够在第二齿轮组的传动下对蜗杆进行控制，进而实现对夹紧块进行控制，以将抵接柱锁定，进而在第二板体滑移的同时，也能够对抵接柱的锁定进行控制，增加蜗杆的控制效果。
[0025]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：1.气瓶安装时，通过升降组件对放置板所在高度进行调节，进而实现对气瓶的安装高度进行调节，便于气瓶的出气端与调压器的进气端相对齐，提高气瓶安装时与调压器之间连接的便捷性，同时提高气瓶的安装效率；2.气瓶放置于第一板体上，随后通过升降组件控制第二板体上升，第二板体能够通过连接链对第一板体进行牵引，进而实现对第一板体及气瓶所在高度进行调节的目的，且此时，第二板体对气瓶具有支撑及防护效果，减小气瓶倾倒的可能性，进一步增加放置板的性能，增加使用效果；3.第二板体在上升过程中，抵接柱会逐渐旋转并最后抵接于气瓶外壁，进而提高对气瓶的支撑效果，并且，还能够便于适应不同直径、不同规格的气瓶进行抵接支撑，增加使用范本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多压力输出的供气柜，包括柜体（1）、气瓶（2）和调压器（3），所述气瓶（2）呈竖向延伸且可拆卸安装于柜体（1）内部，所述调压器（3）固定于柜体（1）内部，所述气瓶（2）的出气端与调压器（3）进气端相可拆卸连接，其特征在于：所述柜体（1）下部设置有放置板（4），所述气瓶（2）站立于放置板（4）上端面，所述放置板（4）沿竖向滑移连接于柜体（1），所述柜体（1）设置有用于控制放置板（4）沿竖向滑移的升降组件（5）。2.根据权利要求1所述的一种多压力输出的供气柜，其特征在于：所述升降组件（5）包括两个升降螺杆（51）、驱动电机（52）和传动杆（53），两个所述升降螺杆（51）沿竖向转动连接于柜体（1），所述升降螺杆（51）穿设并螺纹连接于放置板（4），所述传动杆（53）安装有第一齿轮组（54），所述第一齿轮组（54）用于使传动杆（53）与升降螺杆（51）之间进行传动，所述驱动电机（52）安装于柜体（1）且用于驱动传动杆（53）转动。3.根据权利要求1所述的一种多压力输出的供气柜，其特征在于：所述放置板（4）包括第一板体（41）和第二板体（42），所述第二板体（42）呈环形，且所述第一板体（41）位于第二板体（42）的中部区域，所述放置板（4）还包括多个连接链（43），所述连接链（43）的两端分别连接第一板体（41）和第二板体（42），所述第一板体（41）用于放置气瓶（2），且所述气瓶（2）同样位于第二板体（42）的中部区域，所述升降组件（5）作用于第二板体（42）。4.根据权利要求3所述的一种多压力输出的供气柜，其特征在于：多个所述连接链（43）环绕气瓶（2）均匀分布设置，且所述连接链（43）套设有由弹性材料制成的防护套（431）。5.根据权利要求3所述的一种多压力输出的供气柜，其特征在于：所述第二板体（42）转动连接有多个抵接柱（6），多个所述抵接柱（6）...

【专利技术属性】
技术研发人员：卫宇飞，马青，陈瑛，
申请(专利权)人：盖斯博半导体科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：