【技术实现步骤摘要】
掩模制造方法
[0001]本专利技术涉及一种掩模制造方法，更详细而言，涉及一种利用激光加工法 的掩模制造方法。
技术介绍
[0002]显示面板包括多个像素。各个像素包括诸如晶体管之类的驱动元件及诸 如有机发光元件之类的显示元件。显示元件可以在基板上堆叠电极及多样的 功能层而形成。
[0003]构成显示元件的功能层利用具有贯通自身而形成的开放区域的掩模被图 案化而提供。此时，可以根据掩模的开放区域的形状等来控制被图案化的功 能层的形状。据此，为了改善被图案化的功能层的沉积品质，需要针对被加 工成开放区域的精度较高的掩模及这种掩模的制造方法的开发技术。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种用于改善形成在对象基板上的功能层的沉积 品质的掩模制造方法。
[0005]一实施例提供一种掩模制造方法，所述掩模制造方法包括如下步骤：准 备包括彼此面对的第一表面和第二表面的预备掩模片；向所述预备掩模片的 所述第一表面照射第一激光来形成包括从所述第一表面凹陷的凹陷部及与所 述凹陷部相邻且从所述第...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种掩模制造方法，包括如下步骤：准备包括彼此面对的第一表面和第二表面的预备掩模片；向所述预备掩模片的所述第一表面照射第一激光来形成包括从所述第一表面凹陷的凹陷部及与所述凹陷部相邻且从所述第一表面突出的突出部的掩模支撑部；以及向所述预备掩模片的所述第二表面照射第二激光来形成与所述突出部相邻并贯通所述预备掩模片的开口部。2.根据权利要求1所述的掩模制造方法，其中，所述第一激光包括沿第一方向依次提供的多个脉冲激光，在形成所述掩模支撑部的步骤中，所述多个脉冲激光中相邻的所述脉冲激光的至少一部分彼此重叠。3.根据权利要求2所述的掩模制造方法，其中，相邻的所述脉冲激光的脉冲重叠率为80％以上，所述脉冲重叠率是第一脉冲激光的第一脉冲宽度与第二脉冲激光的第二脉冲宽度的重叠比率，所述第一脉冲宽度及所述第二脉冲宽度分别是在I
max
/e2的强度下的所述第一脉冲激光和所述第二脉冲激光的截面处的直径，I
max
是所述第一脉冲激光和所述第二脉冲激光的最大强度。4.根据权利要求2所述的掩模制造方法，其中，相邻的所述脉冲激光的脉冲重叠率为80％以上，所述脉冲重叠率由以下式1表示：[式1]在所述式1中，v是所述第一激光的扫描速度，PS是所述第一激光的在I
max
/e2的强度下的脉冲激光的截面处的直径，f是所述第一激光的频率。5.根据权利要求1所述的掩模制造方法，其中，形成所述掩模支撑部的步骤包括如下步骤：第一线照射步骤，沿着在第一方向上延伸的虚拟的第一线照射所述第一激光；以及第二线照射步骤，在与所述第一方向不同的第二方向上移动所述预备掩模片之后，沿着在所述第一方向上延伸的虚拟的第二线追加照射所述第一激光。6.根据权利要求5所述的掩模制造方法，其中，所述第二线照射步骤反复9次以上。7.根据权利要求5所述的掩模制造方法，其中，所述第一激光包括沿所述第一方向依次提供的多个脉冲激光，在所述第一线照射步骤中的第一线脉冲激光和与所述第一线脉冲激光在所述第一方向上的位置重叠的在所述第二线照射步骤中的第二线脉冲激光的线重叠率为70％以上，所述线重叠率是所述第一线脉冲激光的在所述第二方向上的脉冲宽度与所述第二线脉冲激光的在所述第二方向上的脉冲宽度的重叠比率，所述脉冲宽度是在I
max
/e2的强度下的所述第一线脉冲激光和所述第二线脉冲激光的截面处的直径。
8.根据权利要求5所述的掩模制造方法，其中，所述第一激光包括沿所述第一方向依次提供的多个脉冲激光，在所述第一线照射步骤中的第一线脉冲激光和与所述第一线脉冲激光在所述第一方向上的位置重叠的在所述第二线照射步骤中的第二线脉冲激光的线重叠率为70％以上，所述线重叠率由以下式2表示：[式2]在所述式2中，
△
X是所述预备掩模片的在所述第二方向上的移动距离，PS是所述第一激光的在I
max
/e2的强度下的脉冲宽度。9.根据权利要求1所述的掩模制造方法，其中，所述第一激光及所述第二激光中的每一个是具有飞秒至皮秒的脉冲宽度的脉冲激光。10.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：金辉，金桢国，宋昇勇，李娥凛，黄圭焕，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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