介孔网络电路的制作方法技术

一种介孔网络电路的制作方法，其特征在于，方法步骤如下：　　　　１）把９９．９９％的铝箔退火：　　　　　把铝箔剪成直径１－２ｃｍ的圆片，然后在４００－－６００℃下退火３－－５小时；　　　　２）退过火的铝箔在草酸中一次氧化：　　　　草酸浓度为０．３ｍｌ，氧化时间为３－－４小时；　　　　３）清洗：　　　　放到６ｗｔ％Ｈ↓［３］ＰＯ↓［４］＋１．８ｗｔ％Ｈ↓［２］ＣｒＯ↓［４］中浸泡５－－７小时，去掉一次氧化物；　　　　４）二次氧化：　　　　草酸浓度为０．３ｍｌ，氧化时间为９－－１１小时；　　　　５）用ＣｕＣｌ↓［２］溶液除去背面未被氧化的铝；　　　　６）清洗：　　　　放到磷酸中浸泡８０－－１００ｍｉｎ，取出后用去离子水冲洗干净就得到了氧化铝模板；　　　　７）镀金：　　　　用磁控溅射法在得到的氧化铝模板上镀金１－１０分钟就得到介孔网络电路。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
介孔网络电路指的是网孔直径及网格尺寸在介观尺度的网络电路。以前的制备方法有光刻法，离子蚀刻法等，这些方法制备的介观电路受仪器限制很难在线度上进入纳米尺度。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种。其方法步骤如下1)把99.99％的铝箔退火把铝箔剪成直径1-2cm的圆片，然后在400--600℃下退火3--5小时；2)退过火的铝箔在草酸中一次氧化草酸浓度为0.3ml，氧化时间为3--4小时；3)清洗放到6wt％H3PO4+1.8wt％H2CrO4中浸泡5--7小时，去掉一次氧化物；4)二次氧化草酸浓度为0.3ml，氧化时间为9--11小时；5)用CuCl2溶液除去背面未被氧化的铝；6)清洗放到磷酸中浸泡80--100min，取出后用去离子水冲洗干净就得到了氧化铝模板；7)镀金用磁控溅射法在得到的氧化铝模板上镀金1-10分钟就得到介孔网络电路。本专利技术的优点是1)在线度上能达到纳米尺度。以前的制备方法有光刻法，离子蚀刻法等，这些方法制备的介观电路受仪器限制很难在线度上进入纳米尺度。2)为了得到我们所需要的介孔网络电路，我们是在氧化铝模板上镀金来实现，我本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：沙健，张年生，勇本收，杨德仁，牛俊杰，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：