光学层叠体的检查方法技术

提供一种能够抑制对存在于剥离膜的表面的缺陷的过度检测并高精度地检测存在于偏光片与光学膜之间的缺陷的光学层叠体的检查方法。本发明专利技术包括以下工序：透射检查工序(S1)，基于利用透过光学层叠体(S)的光生成的透射图像来检测缺陷候选；正交尼科尔棱镜检查工序(S2)，基于利用透过检查用偏振滤光片(6a、6b)和光学层叠体的光生成的正交尼科尔棱镜图像来检测缺陷候选，该检查用偏振滤光片(6a、6b)以相对于偏光片(10)的偏光轴成为正交尼科尔棱镜的方式配置；反射检查工序(S3)，基于利用由光学层叠体反射的光生成的反射图像来检测缺陷候选；以及运算工序(S4)，将在透射检查工序和正交尼科尔棱镜检查工序这两方中检测出而在反射检查工序中未检测出的缺陷候选判定为是存在于偏光片与光学膜(20)之间的缺陷。为是存在于偏光片与光学膜(20)之间的缺陷。为是存在于偏光片与光学膜(20)之间的缺陷。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学层叠体的检查方法


[0001]本专利技术涉及一种将偏光片和光学膜层叠并进一步在厚度方向的至少一方的最表面侧层叠剥离膜而成的光学层叠体的检查方法。本专利技术特别涉及一种能够抑制对存在于剥离膜的表面的缺陷的过度检测并高精度地检测存在于偏光片与光学膜之间的缺陷的光学层叠体的检查方法。

技术介绍

[0002]以往，已知一种以光学的方式检查包含偏光片的光学层叠体的缺陷来判定光学层叠体的好坏的检查方法。
[0003]作为光学层叠体的缺陷，列举出存在于光学层叠体的层间(具体而言，构成光学层叠体的偏光片与光学膜之间)的异物(在本说明书中适当称为“粘合异物”)、存在于光学层叠体的表面的缺陷(异物、污垢、损伤等)。
[0004]容易检测出缺陷的光学条件根据缺陷的种类而不同。因而，提出了组合多个光学条件的各种检查方法。
[0005]例如，在专利文献1、2中提出了如下一种检查方法：基于利用透过光学膜的光生成的光学膜的透射图像和利用由光学膜反射的光生成的光学膜的反射图像来检测光学膜的缺陷(专利文献1的段落0023～0026等、专利文献2的权利要求2等)。
[0006]另外，在专利文献3中提出了如下一种检查方法：基于光学层叠体的反射图像和光学层叠体的正交尼科尔棱镜图像来检测光学层叠体的缺陷，该光学层叠体的反射图像是利用由包含偏光片的光学层叠体反射的光生成的，该光学层叠体的正交尼科尔棱镜图像是利用透过光学层叠体和以相对于偏光片的偏光轴成为正交尼科尔棱镜的方式配置的检查用偏振滤光片的光生成的(专利文献3的权利要求1等)。
[0007]在此，在检查对象为将偏光片和光学膜(例如相位差膜)层叠并进一步在厚度方向的至少一方的最表面侧层叠剥离膜(例如隔膜、表面保护膜)而成的光学层叠体的情况下，存在于剥离膜的表面的缺陷(异物、污垢、损伤等)是无害的，不构成问题。这是由于在使用光学层叠体(例如对液晶单元粘合光学层叠体)时，剥离膜被剥离而不残留。
[0008]本专利技术者们研究了基于包含偏光片的光学层叠体的正交尼科尔棱镜图像来检测缺陷的检查方法，明白了虽然能够检测存在于光学层叠体的层间的粘合异物，但是连无害的存在于剥离膜的表面的缺陷也会被检测出(过度检测)。因此，导致有时将仅存在剥离膜的表面的缺陷(在层间不存在缺陷因此不构成问题)的光学层叠体也作为不良品来处理，光学层叠体的产品成品率变差。
[0009]在专利文献3中记载有以下内容：为了抑制上述那样的过度检测，在基于光学层叠体的反射图像检测出的缺陷候选的位置与基于光学层叠体的正交尼科尔棱镜图像检测出的缺陷候选的位置相同的情况下，不将该缺陷候选作为缺陷来处理(专利文献3的权利要求1、段落0083等)。
[0010]然而，根据本专利技术者们研究的结果，明白了即使是如上所述那样将反射图像和正
交尼科尔棱镜图像组合的检查方法，有时也无法充分抑制对无害的缺陷的过度检测。
[0011]此外，专利文献1所记载的检查方法以准确地对缺陷数量进行计数为课题(专利文献1的段落0007)，不是抑制对无害的缺陷的过度检测的方法。
[0012]另外，专利文献2所记载的检查方法以准确地判别缺陷的种类为课题(专利文献2的段落0018)，不是抑制对无害的缺陷的过度检测的方法。
[0013]现有技术文献
[0014]专利文献
[0015]专利文献1：日本特开2003
‑
329601号公报
[0016]专利文献2：日本特开2012
‑
167975号公报
[0017]专利文献3：日本专利第4960161号公报

技术实现思路

[0018]专利技术要解决的问题
[0019]本专利技术是为了解决上述那样的以往技术的问题点而完成的，其课题在于提供一种能够抑制对存在于剥离膜的表面的缺陷的过度检测并高精度地检测存在于偏光片与光学膜之间的缺陷的光学层叠体的检查方法。
[0020]用于解决问题的方案
[0021]为了解决上述课题，本专利技术者们深入研究的结果发现，在透射图像、正交尼科尔棱镜图像以及反射图像的各图像中的透射图像和正交尼科尔棱镜图像这两方中检测出而在反射图像中未检测出的缺陷候选为存在于偏光片与光学膜之间的缺陷(粘合异物)的可能性高，并完成了本专利技术。
[0022]即，为了解决上述课题，本专利技术提供一种光学层叠体的检查方法，该光学层叠体是将偏光片和光学膜层叠并进一步在厚度方向的至少一方的最表面侧层叠剥离膜而成的，该光学层叠体的检查方法包括以下工序：透射检查工序，利用透过所述光学层叠体的光生成所述光学层叠体的透射图像，并基于所述透射图像来检测存在于所述光学层叠体的缺陷候选；正交尼科尔棱镜检查工序，利用透过检查用偏振滤光片和所述光学层叠体的光来生成所述光学层叠体的正交尼科尔棱镜图像，并基于所述正交尼科尔棱镜图像来检测存在于所述光学层叠体的缺陷候选，所述检查用偏振滤光片以相对于所述偏光片的偏光轴成为正交尼科尔棱镜的方式配置；反射检查工序，利用由所述光学层叠体反射的光来生成所述光学层叠体的反射图像，并基于所述反射图像来检测存在于所述光学层叠体的缺陷候选；以及运算工序，基于在所述透射检查工序中检测出的缺陷候选、在所述正交尼科尔棱镜检查工序中检测出的缺陷候选以及在所述反射检查工序中检测出的缺陷候选，来判定存在于所述偏光片与所述光学膜之间的缺陷，其中，在所述运算工序中，将在所述透射检查工序和所述正交尼科尔棱镜检查工序这两方中检测出而在所述反射检查工序中未检测出的缺陷候选判定为是存在于所述偏光片与所述光学膜之间的缺陷。
[0023]根据本专利技术，在透射检查工序中，基于光学层叠体的透射图像来检测存在于光学层叠体的缺陷候选。透射图像例如通过以下方法生成：在光学层叠体的一方的面侧配置光源，在另一方的面侧配置摄像单元，由摄像单元接收从光源射出并透过光学层叠体的光来进行成像(摄像)从而生成透射图像。透射图像中的缺陷候选例如是通过对透射图像应用提
取亮度值(像素值)与其它像素区域的亮度值(像素值)不同的像素区域的2值化等公知的图像处理来检测出的。
[0024]另外，根据本专利技术，在正交尼科尔棱镜检查工序中，基于光学层叠体的正交尼科尔棱镜图像来检测存在于光学层叠体的缺陷候选。正交尼科尔棱镜图像例如通过以下方法生成：在光学层叠体的一方的面侧配置光源和检查用偏振滤光片，在另一方的面侧配置摄像单元，由摄像单元拍摄接收从光源射出并透过检查用偏振滤光片和光学层叠体的光来进行成像(摄像)从而生成正交尼科尔棱镜图像。在该情况下，存在于检查用偏振滤光片与光学层叠体的偏光片之间的缺陷会导致正交尼科尔棱镜的状态崩溃，因此在正交尼科尔棱镜图像中，与存在于检查用偏振滤光片与偏光片之间的缺陷相对应的像素区域变亮(亮度值变大)。或者正交尼科尔棱镜图像也能通过以下方法生成：在光学层叠体的一方的面侧配置光源，在另一方的面侧配置检查用偏振滤光片和摄像单元，由摄像单元接收从光源射出并透过光学层叠体和检查用偏振滤光片的光来进行成像(摄像)从而生成正交尼科尔棱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光学层叠体的检查方法，该光学层叠体是将偏光片和光学膜层叠、并进一步在厚度方向的至少一方的最表面侧层叠剥离膜而成的光学层叠体，所述光学层叠体的检查方法包括以下工序：透射检查工序，利用透过所述光学层叠体的光来生成所述光学层叠体的透射图像，并基于所述透射图像来检测存在于所述光学层叠体的缺陷候选；正交尼科尔棱镜检查工序，利用透过检查用偏振滤光片和所述光学层叠体的光来生成所述光学层叠体的正交尼科尔棱镜图像，并基于所述正交尼科尔棱镜图像来检测存在于所述光学层叠体的缺陷候选，所述检查用偏振滤光片以相对于所述偏光片的偏光轴成为正交尼科尔棱镜的方式配置；反射检查工序，利用由所述光学层叠体反射的光来生成所述光学层叠体的反射图像，并基于所述反射图像来检测存在于所述光学层叠体的缺陷候选；以及运算工序，基于在所述透射检查工序中检测出的缺陷候选、在所述正交尼科尔棱镜检查工序中检测出的缺陷候选以及在所述反射检查工序中检测出的缺陷候选，来判定存在于所述偏光片与所述光学膜之间的缺陷，其中，在所述运算工序中，将在所述透射检查工序和所述正交尼科尔棱镜检查工序这两方中检测出而在所述反射检查...

【专利技术属性】
技术研发人员：木樽智也，山下裕司，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：