光学层叠体的检查方法技术

技术编号:37298620 阅读:37 留言:0更新日期:2023-04-21 22:45
提供一种能够抑制对存在于剥离膜的表面的缺陷的过度检测并高精度地检测存在于偏光片与光学膜之间的缺陷的光学层叠体的检查方法。本发明专利技术包括以下工序:透射检查工序(S1),基于利用透过光学层叠体(S)的光生成的透射图像来检测缺陷候选;正交尼科尔棱镜检查工序(S2),基于利用透过检查用偏振滤光片(6a、6b)和光学层叠体的光生成的正交尼科尔棱镜图像来检测缺陷候选,该检查用偏振滤光片(6a、6b)以相对于偏光片(10)的偏光轴成为正交尼科尔棱镜的方式配置;反射检查工序(S3),基于利用由光学层叠体反射的光生成的反射图像来检测缺陷候选;以及运算工序(S4),将在透射检查工序和正交尼科尔棱镜检查工序这两方中检测出而在反射检查工序中未检测出的缺陷候选判定为是存在于偏光片与光学膜(20)之间的缺陷。为是存在于偏光片与光学膜(20)之间的缺陷。为是存在于偏光片与光学膜(20)之间的缺陷。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学层叠体的检查方法


[0001]本专利技术涉及一种将偏光片和光学膜层叠并进一步在厚度方向的至少一方的最表面侧层叠剥离膜而成的光学层叠体的检查方法。本专利技术特别涉及一种能够抑制对存在于剥离膜的表面的缺陷的过度检测并高精度地检测存在于偏光片与光学膜之间的缺陷的光学层叠体的检查方法。

技术介绍

[0002]以往,已知一种以光学的方式检查包含偏光片的光学层叠体的缺陷来判定光学层叠体的好坏的检查方法。
[0003]作为光学层叠体的缺陷,列举出存在于光学层叠体的层间(具体而言,构成光学层叠体的偏光片与光学膜之间)的异物(在本说明书中适当称为“粘合异物”)、存在于光学层叠体的表面的缺陷(异物、污垢、损伤等)。
[0004]容易检测出缺陷的光学条件根据缺陷的种类而不同。因而,提出了组合多个光学条件的各种检查方法。
[0005]例如,在专利文献1、2中提出了如下一种检查方法:基于利用透过光学膜的光生成的光学膜的透射图像和利用由光学膜反射的光生成的光学膜的反射图像来检测光学膜的缺陷(专利文献1的段落0023~0026等、专利文献2的权利本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光学层叠体的检查方法,该光学层叠体是将偏光片和光学膜层叠、并进一步在厚度方向的至少一方的最表面侧层叠剥离膜而成的光学层叠体,所述光学层叠体的检查方法包括以下工序:透射检查工序,利用透过所述光学层叠体的光来生成所述光学层叠体的透射图像,并基于所述透射图像来检测存在于所述光学层叠体的缺陷候选;正交尼科尔棱镜检查工序,利用透过检查用偏振滤光片和所述光学层叠体的光来生成所述光学层叠体的正交尼科尔棱镜图像,并基于所述正交尼科尔棱镜图像来检测存在于所述光学层叠体的缺陷候选,所述检查用偏振滤光片以相对于所述偏光片的偏光轴成为正交尼科尔棱镜的方式配置;反射检查工序,利用由所述光学层叠体反射的光来生成所述光学层叠体的反射图像,并基于所述反射图像来检测存在于所述光学层叠体的缺陷候选;以及运算工序,基于在所述透射检查工序中检测出的缺陷候选、在所述正交尼科尔棱镜检查工序中检测出的缺陷候选以及在所述反射检查工序中检测出的缺陷候选,来判定存在于所述偏光片与所述光学膜之间的缺陷,其中,在所述运算工序中,将在所述透射检查工序和所述正交尼科尔棱镜检查工序这两方中检测出而在所述反射检查...

【专利技术属性】
技术研发人员:木樽智也山下裕司
申请(专利权)人:日东电工株式会社
类型:发明
国别省市:

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