光学检查装置和光学检查方法制造方法及图纸

提供了一种光学检查装置和光学检查方法。该光学检查装置包括：光学测量单元；第一探针，设置在光学测量单元下方并且提供第一电压；基体框架，设置在光学测量单元下方并且与第一探针分隔开；以及第二探针，设置在基体框架的一个表面上，提供与第一电压不同的第二电压，并且具有平面板形状，其中，基体框架的所述一个表面面对第一探针。表面面对第一探针。表面面对第一探针。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学检查装置和光学检查方法


[0001]本公开涉及一种光学检查装置和光学检查方法。

技术介绍

[0002]随着多媒体的发展，显示装置的重要性正在增大。响应于此，正在使用诸如有机发光显示器(OLED)和液晶显示器(LCD)的各种类型的显示装置。
[0003]显示装置的用于显示图像的装置包括诸如有机发光显示面板或液晶显示面板的显示面板。其中，发光显示面板可以包括发光器件。例如，发光二极管(LED)包括使用有机材料作为发光材料的有机发光二极管(OLED)和使用无机材料作为发光材料的无机发光二极管。

技术实现思路

[0004]技术问题
[0005]本公开的方面提供了一种能够在使对发光元件的损坏最小化的同时检查发光元件结构的光学特性的光学检查装置，发光元件结构包括基体基底和形成在基体基底上的多个发光元件。
[0006]本公开的方面还提供了一种使用以上光学检查装置来检查多个发光元件的光学特性的方法。
[0007]然而，本公开的方面不限于在此所阐述的方面。通过参照下面所给出的本公开的详细描述，本公开的以上和其它本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光学检查装置，所述光学检查装置包括：光学测量单元；第一探针，设置在所述光学测量单元下面并且提供第一电压；基体框架，设置在所述光学测量单元下面并且与所述第一探针分隔开；以及第二探针，设置在所述基体框架的面对所述第一探针的表面上，提供与所述第一电压不同的第二电压，并且在平面图中具有板形状。2.根据权利要求1所述的光学检查装置，其中，所述基体框架设置在所述光学测量单元与所述第一探针之间并且包括透明材料。3.根据权利要求2所述的光学检查装置，其中，所述基体框架包括透明弹性体。4.根据权利要求3所述的光学检查装置，所述光学检查装置还包括感测所述基体框架的变形的传感器单元。5.根据权利要求2所述的光学检查装置，其中，所述基体框架包括透明玻璃基底。6.根据权利要求2所述的光学检查装置，其中，所述第二探针包括透明导电材料。7.根据权利要求6所述的光学检查装置，其中，所述第二探针包括彼此分隔开的多个子探针。8.根据权利要求2所述的光学检查装置，所述光学检查装置还包括：第一探针驱动器，驱动所述第一探针；以及第二探针驱动器，驱动所述第二探针。9.根据权利要求8所述的光学检查装置，所述光学检查装置还包括：台，设置在所述第二探针下面并且具有放置在面对所述第二探针的表面上的待检查目标；以及距离测量单元，测量所述待检查目标与所述第二探针之间的距离。10.根据权利要求9所述的光学检查装置，所述光学检查装置还包括设置在所述台下面的温度控制单元。11.根据权利要求9所述的光学检查装置，其中，所述待检查目标包括发光元件结构，所述发光元件结构包括：基体基底；第一半导体连接层，设置在所述基体基底上；以及多个发光元件，设置在所述第一半导体连接层上，其中，所述第一探针接触所述第一半导体连接层，并且所述第二探针接触所述多个发光元件中的至少一个发光元件的端表面。12.根据权利要求1所述的光学检查装置，其中，所述第二探针包括导电弹性体。13.根据权利要求12所述的光学检查装置，所述光学检查装置还包括测量所述第二探针的电阻的传感器单元。14.一种发光元件结构的光学检查方法，所述发光元件结构包括基体基底、设置在所述基体基底上的第一半导体连接层和设置在所述第一半导体连接层上并且彼此分隔开的多个发光元件，所述方法包...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳济源，金仁赫，李周悦，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：