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光学检查装置和光学检查方法制造方法及图纸
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下载光学检查装置和光学检查方法的技术资料
文档序号:37298327
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提供了一种光学检查装置和光学检查方法。该光学检查装置包括:光学测量单元;第一探针,设置在光学测量单元下方并且提供第一电压;基体框架,设置在光学测量单元下方并且与第一探针分隔开;以及第二探针,设置在基体框架的一个表面上,提供与第一电压不同的第...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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