下载光学检查装置和光学检查方法的技术资料

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提供了一种光学检查装置和光学检查方法。该光学检查装置包括:光学测量单元;第一探针,设置在光学测量单元下方并且提供第一电压;基体框架,设置在光学测量单元下方并且与第一探针分隔开;以及第二探针,设置在基体框架的一个表面上,提供与第一电压不同的第...
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