一种集成式可变流量与水质的临时抛光混床装置制造方法及图纸

技术编号:37297775 阅读:17 留言:0更新日期:2023-04-21 22:44
本实用新型专利技术是集成式可变流量与水质的临时抛光混床装置,其结构包括集成框架式安装的第一、二抛光混床,进水主管连接第一、二进水支管一端,第一、二进水支管另一端通过第一、三阀门连接第一、二抛光混床进水端,产水主管连接第一、二产水支管一端,第一、二产水支管另一端通过第四、七阀门连接第一、二抛光混床产水端,第二进水支管设第二阀门,第一产水支管设第六阀门,中间管一端连接第二、三阀门之间第二进水支管,中间管另一端连接第四、六阀门之间第一产水支管,中间管上设第五阀门。本实用新型专利技术的优点:一套设备具备两种使用效果,可节省一套设备,通用性高,减少了制造、项目反应时间,增加了设备的循环使用率,大大降低了项目实施的成本。的成本。的成本。

【技术实现步骤摘要】
一种集成式可变流量与水质的临时抛光混床装置


[0001]本技术涉及的是一种集成式可变流量与水质的临时抛光混床装置,属于超纯水处理


技术介绍

[0002]抛光混床用于超纯水处理系统末端,可应用于半导体集成电路、液晶、电力、市政等行业,用来保证系统出水水质能够维持用水标准。一般出水水质都能达到18兆欧以上,以及对TOC、SIO2都有一定的控制能力。因半导体等行业建厂初期需要纯水冲洗设备及管道,在为其配套的正式纯水系统未建造完成的情况下,需要一套临时的抛光混床装置来工作,而因每个项目对水量及水质要求的不同,临时抛光装置无法通用,往往一个项目使用结束就被闲置,造成浪费。
[0003]比如有的采用一级抛光装置:根据水量设置2台DN800的并联的抛光混床,组成一级抛光混床装置。此装置产水量可达60

80m3/h,产水水质达到液晶生产的纯水要求。或者如CN210885649U一种IC半导体行业用除硼超纯水系统,其也采用将2台抛光混床并联的设计。
[0004]有的采用二级抛光混床装置:根据水量设置2台串联的抛光混床装置。此装置产水量可达30

40m3/h,产水水质达到12寸半导体生产的纯水要求。或者如CN207926371 U带有电离子过滤功能的冷却系统,其采用将3台抛光混床串联的设计。
[0005]现有技术以上两种抛光混床装置,每种仅可应用于一个项目,通用性较差,存在处理水量固定、产水水质固定等缺陷,每套抛光装置仅能使用于一个项目,不通用,对于临时抛光混床装置项目结束即闲置,造成浪费,以及项目成本高,每个项目需定做,反应速度慢,无法满足有效满足生产需要。

技术实现思路

[0006]本技术提出的是一种集成式可变流量与水质的临时抛光混床装置,其目的旨在克服现有技术存在的上述不足,为解决抛光装置的通用性问题,实现一套设备具备两种使用效果,提高通用性。
[0007]本技术的技术解决方案:一种集成式可变流量与水质的临时抛光混床装置,其结构包括相邻集成框架式安装的第一抛光混床和第二抛光混床,进水主管连接第一进水支管一端和第二进水支管一端,第一进水支管另一端和第二进水支管另一端分别通过第一阀门和第三阀门连接第一抛光混床进水端和第二抛光混床进水端,产水主管连接第一产水支管一端和第二产水支管一端,第一产水支管另一端和第二产水支管另一端分别通过第四阀门和第七阀门连接第一抛光混床产水端和第二抛光混床产水端,第二进水支管中部设第二阀门,第一产水支管中部设第六阀门,中间管一端连接第二阀门和第三阀门之间的第二进水支管,中间管另一端连接第四阀门和第六阀门之间的第一产水支管,中间管上设有第五阀门。
[0008]优选的,为了具体实现生产需要,所述的第一抛光混床1和第二抛光混床都为DN800抛光罐,第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门1、第五阀门、第六阀门和第七阀门都为DN65阀门。
[0009]本技术的优点:结构设计合理,利用优化内部管路阀门的设计,使一套设备具备两种使用效果,替代现有的技术实现两种使用效果必须制造两套设备的缺陷,可节省一套设备,通用性高,减少了制造时间和项目反应时间,增加了设备的循环使用率,大大降低了项目实施的成本。
附图说明
[0010]图1是本技术集成式可变流量与水质的临时抛光混床装置的结构示意图。
[0011]图中的1是第一抛光混床、2是第二抛光混床、3是进水主管、4是第一进水支管、5是第二进水支管、6是中间管、7是第一产水支管、8是第二产水支管、9是产水主管、10是第一阀门、11是第二阀门、12是第三阀门、13是第四阀门、14是第五阀门、15是第六阀门、16是第七阀门。
具体实施方式
[0012]下面结合实施例和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0013]如图1所示,一种集成式可变流量与水质的临时抛光混床装置,其结构包括相邻集成框架式安装的第一抛光混床1和第二抛光混床2,进水主管3连接第一进水支管4一端和第二进水支管5一端,第一进水支管4另一端和第二进水支管5另一端分别通过第一阀门10和第三阀门12连接第一抛光混床1进水端和第二抛光混床2进水端,产水主管9连接第一产水支管7一端和第二产水支管8一端,第一产水支管7另一端和第二产水支管8另一端分别通过第四阀门13和第七阀门16连接第一抛光混床1产水端和第二抛光混床2产水端,第二进水支管5中部设第二阀门11,第一产水支管7中部设第六阀门15,中间管6一端连接第二阀门11和第三阀门12之间的第二进水支管5,中间管6另一端连接第四阀门13和第六阀门15之间的第一产水支管7,中间管6上设有第五阀门14。
[0014]根据以上结构,本装置采用2台抛光混床集成框架式安装,利用内部管路与阀门的组合切换,达到可组成一套一级抛光装置或者一套二级抛光装置的效果,实现一套装置同时具备2种处理能力。
[0015]效果1:组成一级抛光装置:打开阀门第一阀门10、第二阀门11、第三阀门12、第四阀门13、第六阀门15、第七阀门16,关闭第五阀门14,此时第一抛光混床1和第二抛光混床2呈并联状态。
[0016]效果2:组成二级抛光装置:打开阀门第一阀门10、第三阀门12、第四阀门13第五阀门14、第七阀门16,关闭第二阀门11和第六阀门15,此时第一抛光混床1和第二抛光混床2呈串联状态。
[0017]实施例
[0018]制造2个DN800抛光罐(抛光混床)、1个框架,将2台抛光罐固定在框架上,并根据上述管路阀门连接方式,各阀门都为DN65阀门,进行安装,安装完后成为一个模块化集成装置,可运输到任何项目上。此模块还可根据项目的要求,同时制造多个,组成更大规模的的
系统。
[0019]组成一级抛光装置第一抛光混床1和第二抛光混床2呈并联状态时,可处理水量达60

80m3/h,产水水质达到液晶生产的纯水要求。
[0020]组成二级抛光装置第一抛光混床1和第二抛光混床2呈串联状态时,可处理水量达30

40m3/h,产水水质达到12寸半导体生产的纯水要求。
[0021]以上所述各部件均为现有技术,本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。
[0022]以上所述的仅是本技术的优选实施方式,应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本技术创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成式可变流量与水质的临时抛光混床装置,其特征在于,包括相邻集成框架式安装的第一抛光混床(1)和第二抛光混床(2),进水主管(3)连接第一进水支管(4)一端和第二进水支管(5)一端,第一进水支管(4)另一端和第二进水支管(5)另一端分别通过第一阀门(10)和第三阀门(12)连接第一抛光混床(1)进水端和第二抛光混床(2)进水端,产水主管(9)连接第一产水支管(7)一端和第二产水支管(8)一端,第一产水支管(7)另一端和第二产水支管(8)另一端分别通过第四阀门(13)和第七阀门(16)连接第一抛光混床(1)产水端和第二抛光混床(2)产水端,第二进水支管(...

【专利技术属性】
技术研发人员:顾淼吴家琛马兴峰金焰李玉伟郭康康
申请(专利权)人:江苏中电创新环境科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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