一种用于原水中小分子有机物含量的监测控制系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于原水中小分子有机物含量的监测控制系统，所述监测控制系统包括检测管路、TOC在线分析仪和PLC控制箱；TOC在线分析仪以及超纯水制备系统的氧化剂加药泵和还原剂加药泵均与PLC控制箱连接；检测管路从原水箱的出水管路上引出，检测管路上依次设有熔喷滤芯过滤器、活性炭过滤器、两级反渗透膜和离子交换树脂塔；离子交换树脂塔的出水进入TOC在线分析仪中进行TOC浓度的检测，TOC在线分析仪将得到的TOC浓度以4～20mA的电流信号传导至PLC控制箱，PLC控制箱将接收到的电流信号转化为对应TOC浓度下的所需加药量，再以4～20mA的电流信号反馈至氧化剂加药泵和还原剂加药泵，通过调节加药泵的开度将所需量的氧化药剂和还原药剂投加至超纯水制备系统的高级氧化单元中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于原水中小分子有机物含量的监测控制系统。

技术介绍

1、集成电路产业在生产过程中需消耗大量、水质要求极高的超纯水。以总有机碳(toc)为例，12寸集成电路生产使用超纯水的toc要求小于1μg/l甚至0.5μg/l。这对制备超纯水的原水水质提出了较高的要求。

2、超纯水制备系统的工艺流程如图1所示。其原水主要取自自来水与再生水，其中包含尿素、三卤甲烷类、异丙醇、丙酮等多种分子量较小、电荷近中性的有机物，并呈现季节或排放周期性波动。上述小分子类有机物(分子量小于350da)在原水中占比较小(10％～30％)，但易于穿透超纯水制备系统中的反渗透膜、离子交换树脂、185nm紫外灯等主要有机物去除单元，造成系统终端超纯水toc超标，无法满足生产使用需求。

3、目前，对于终端超纯水中toc与原水有机物的监测方式以toc在线分析仪为主，例如美国ge m9在线型toc分析仪、瑞士mettler 4000toce在线传感器等。这种以单一总toc含量作为超纯水制备系统原水水质的评判指标，难以有效体现其中包含的小分子有机物含量波动影响本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于原水中小分子有机物含量的监测控制系统，其特征在于：所述监测控制系统包括检测管路、TOC在线分析仪和PLC控制箱；TOC在线分析仪以及超纯水制备系统的氧化剂加药泵和还原剂加药泵均与PLC控制箱连接；检测管路从原水箱的出水管路上引出，检测管路上依次设有熔喷滤芯过滤器、活性炭过滤器、两级反渗透膜和离子交换树脂塔；离子交换树脂塔的出水进入TOC在线分析仪中进行TOC浓度的检测，TOC在线分析仪将得到的TOC浓度以4～20mA的电流信号传导至PLC控制箱，PLC控制箱将接收到的电流信号转化为对应TOC浓度下的所需加药量，再以4～20mA的电流信号反馈至氧化剂加药泵和还原剂加药泵，通过调...

【技术特征摘要】

1.一种用于原水中小分子有机物含量的监测控制系统，其特征在于：所述监测控制系统包括检测管路、toc在线分析仪和plc控制箱；toc在线分析仪以及超纯水制备系统的氧化剂加药泵和还原剂加药泵均与plc控制箱连接；检测管路从原水箱的出水管路上引出，检测管路上依次设有熔喷滤芯过滤器、活性炭过滤器、两级反渗透膜和离子交换树脂塔；离子交换树脂塔的出水进入toc在线分析仪中进行toc浓度的检测，toc在线分析仪将得到的toc浓度以4～20ma的电流信号传导至plc控制箱，plc控制箱将接收到的电流信号转化为对应toc浓度下的所需加药量，再以4～20ma的电流信号反馈至氧化剂加药泵和还原剂加药泵，通过调节加药泵的开度将所需量的氧化药剂和还原药剂投加至超纯水制备系统的高级氧化单元中。

2.根据权利要求1所述的用于原水中小分子有机物含量的监测控制系统，其特征在于：熔喷滤芯过滤器的滤芯采用聚丙烯纤维材质，过滤精度为1μm～5μm；活性炭过滤器内装填有颗粒活性炭，吸附碘值为1000mg/g～1800mg/g。

3.根据权利要求1所述的用于原水中小分子有机物含量的监测控制系统，其特征在于：两级反渗透膜均采用聚酰胺材质，过滤精度为0.05μm～0.1μm，设置进膜压力为0.5mpa～0.7mpa。

4.根据权利要求1所述的用于原水中小分子有机物含量的监测控制系统，其特征在于：离子交换树脂塔的阳离子交换...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋士龙，熊江磊，陈炜彧，罗嘉豪，冯骞，蒋聪，
申请(专利权)人：江苏中电创新环境科技有限公司，
类型：发明
国别省市：