运动平台及封装设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种运动平台及封装设备，涉及封装设备技术领域。该运动平台包括第一运动机构、第二运动机构、平台和防尘件；第一运动机构与第二运动机构传动连接，第二运动机构与平台传动连接，第一运动机构与第二运动机构配合实现平台沿X向和Y向运动；第一运动机构和第二运动机构均包括底座和光栅尺，光栅尺安装于底座，且至少一底座安装有用于罩设光栅尺的防尘件。本实用新型专利技术提供的运动平台解决了现有技术中存在的运动平台的防尘装置影响设备散热、成本高和防尘效果差的技术问题。成本高和防尘效果差的技术问题。成本高和防尘效果差的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
运动平台及封装设备


[0001]本技术涉及封装设备
，尤其是涉及一种运动平台及封装设备。

技术介绍

[0002]近年来，随着后摩尔时代的来临，半导体产品呈现微小化、轻薄化、高密度化的变革特点，对半导体封装检测装备提出了更高的性能指标要求，运动平台作为封装装备的核心运动部件，为有效适应半导体的变革，需要在高速和高加速下保证高精度和高稳定性。
[0003]运动平台作为封装设备的核心部件，其精度及稳定性直接影响着整机的使用性能，故运动平台在设计过程中需要保证运动平台的精度和稳定性。目前为了保证高精度，具备优异光学性能的光栅尺是一种理想的反馈装置，而这种光栅尺原理是光学式反馈，其性能很容易被异物和灰尘等影响。现有技术中采用直接在运动平台外罩设防尘罩或风琴式防尘罩的方式保护光栅尺，存在整个工作台位于防尘罩内成本高且影响散热的问题；同时，现有风琴式防尘罩在移动时会使沉积的灰尘再飞扬起来，影响防尘效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种运动平台及电子元件检测装置，以缓解现有技术中存在的运动平台的防尘装置影响设备散热本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种运动平台，其特征在于，包括：第一运动机构(100)、第二运动机构(200)与平台(300)，所述第一运动机构(100)与所述第二运动机构(200)传动连接，第二运动机构与所述平台(300)传动连接，所述第一运动机构(100)与所述第二运动机构(200)配合实现所述平台(300)沿X向运动，且所述第二运动机构(200)与所述平台(300)配合实现所述平台(300)沿Y向运动；所述第一运动机构(100)和所述第二运动机构(200)均包括底座(110)和光栅尺，所述光栅尺安装于所述底座(110)，且至少一所述底座(110)安装有用于罩设所述光栅尺的防尘件(400)。2.根据权利要求1所述的运动平台，其特征在于，所述光栅尺包括标尺(120)和读数头，所述标尺(120)安装于所述底座(110)，所述读数头与所述标尺(120)信号连接；所述防尘件(400)设有用于使所述读数头伸入的避让空间(410)，所述标尺(120)位于所述避让空间(410)内。3.根据权利要求2所述的运动平台，其特征在于，所述防尘件(400)包括安装段(420)、连接段(430)和罩设段(440)；所述安装段(420)和所述罩设段(440)分别位于所述连接段(430)的两侧，且均与所述连接段(430)呈夹角设置；所述罩设段(440)和所述连接段(430)之间形成所述避让空间(410)；所述安装段(420)安装于所述底座(110)。4.根据权利要求2所述的运动平台，其特征在于，所述第一运动机构(100)和所述第二运动机构(200)均包括固定板(130)；所述读数头安装于所述固定板(130)，所述第一运动机构(100)中的所述固定板(130)与所述第二运动机构(200)连接，所述第二运动机构(200)中的所述固定板(130)与所述平台(300)连接。5.根据权利要求4所述的运动平台，其特征在于，所述第一运动机构(100)安装有...

【专利技术属性】
技术研发人员：王坤，程真进，姜家博，戴晨阳，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：