一种用于晶圆存取的存片机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆存取的存片机，包括用于安装的第一机架，所述第一机架上安装有上料转盘机构和搬运机构，所述上料转盘机构上设置有第一卡塞，所述搬运机构位于上料转盘机构的出料处，所述搬运机构将要转运的装有晶圆的第一卡塞搬运至输送线上，所述搬运机构一侧设置有读码设备，还包括取片读码检测机构，所述取片读码检测机构位于上料转盘机构一侧。本实用新型专利技术的有益效果是：通过第一转盘以及搬运机构可以将装有晶圆片的第一卡塞转运至输送线，并通过输送线将第一卡塞转运至存取库的入料口处，进而转运至存取库中进行存放。放。放。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆存取的存片机


[0001]本技术涉及半导体晶圆片存放领域，特别是一种用于晶圆存取的存片机。

技术介绍

[0002]在半导体行业中，晶圆是其的一个重要组成部分，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]半导体晶圆(或者说晶圆盒)的储存库中，设置有若干存储格，以及在储存库中使用堆垛机对存储格中的晶圆盒进行取放操作，但实际晶圆盒的存取过程中，有些晶圆盒在进出储存库中需要人工干预，比如工人上料将晶圆盒放入储存库，不仅效率低，自动化程度低，为此我们提供一种用于晶圆存取的存片机来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种用于晶圆存取的存片机。
[0005]本技术的目的通过以下技术方案来实现：
[0006]一种用于晶圆存取的存片机，包括用于安装的第一机架，所述第一机架上安装有上料转盘机构和搬运机构，所述上料转盘机构上设置有第一卡塞，所述搬运机构位于上料转盘机构的出料处，所述搬运机构将要转运的装有晶圆的第一卡塞搬运至输送线上，所述搬运机构一侧设置有读码设备，还包括取片读码检测机构，所述取片读码检测机构位于上料转盘机构一侧。
[0007]优选的，所述上料转盘机构包括固定安装在第一机架上的第一固定架，所述第一固定架上安装有第一DD马达，所述第一DD马达动力输出端安装有第一转盘，所述第一转盘上设置有若干个关于第一转盘轴线均匀间隔分布的第一治具，每个所述第一治具上设置至少一个第一卡塞。
[0008]优选的，所述第一转盘的入料端的下方设置检测器。
[0009]优选的，所述搬运机构包括支撑架，所述支撑架上设置有三轴直线移动模组，所述三轴直线移动模组动力端的安装架上固定安装有第二伺服电机，所述第二伺服电机动力输出端安装有旋转板，所述旋转板的下方滑动设置有两个滑块，每个所述滑块的底面均固定连接有滑动板，且每个所述滑动板的外侧面均安装有旋转气缸，且旋转气缸动力输出端延伸至滑动板内侧面，所述旋转气缸动力输出端安装有夹板，所述旋转板上表面一侧固定安装有驱动电机，两个所述滑动板之间传动连接有丝杆，且丝杆动力输入端与驱动电机动力输出端传动连接。
[0010]优选的，所述取片读码检测机构位于所述上料转盘机构一侧，所述取片读码检测机构包括安装在第一机架上的第一直线模组，所述第一直线模组上动力输出端设置有第一取片机构，所述第一直线模组上还设置有第一读码检测机构，所述第一直线模组的一侧设置有支架，所述支架上设置有第二治具，所述第二治具上设置有若干第二卡塞。
[0011]优选的，所述第一取片机构包括第四直线模组，所述第四直线模组动力输出端安装有第五直线模组，所述第五直线模组的输出端安装架上安装有第五伺服电机，所述第五伺服电机动力输出端设置用于吸取晶圆的第一吸盘。
[0012]优选的，所述第一读码检测机构包括第二安装板，所述第二安装板侧面安装第二气缸，所述第二气缸动力输出端的安装架上设置第二读码检测相机。
[0013]优选的，所述第二安装板的侧面还安装有光源，且光源位于所述第二读码检测相机的拍摄方向的一侧。
[0014]优选的，所述读码设备包括固定安装在第一机架的调节杆，所述调节杆上表面设置有角度调节片，所述角度调节片上固定安装有读码器。
[0015]优选的，所述第一机架的一侧设置有存取库，所述第一机架与存取库之间设置有输送线，所述存取库一侧设置移载机，所述移载机包括位于存取库一侧的底座，所述底座上设置有导轨，所述导轨上滑动设置有滑动架，所述滑动架上设置有供上下移动的第二直线模组，所述底座上还安装有齿条，所述滑动架上固定安装有第一伺服电机，且第一伺服电机动力输出端安装有与齿条适配的齿轮，齿轮与齿条啮合传动；所述第二直线模组动力输出端设置有至少一个安装架，且每个安装架上均安装有第二DD马达，所述第二DD马达输出端安装有第三直线模组，所述第三直线模组上设置有第一气缸，且第一气缸动力输出端设置有夹爪。
[0016]本技术具有以下优点：
[0017]1、本技术通过第一转盘以及搬运机构可以将装有晶圆片的第一卡塞转运至输送线，并通过输送线将第一卡塞转运至存取库的入料口处，进而转运至存取库中进行存放，在第一卡塞从上料转盘机构的入料口处直至存取库入口处以及放置在存取库这一过程并没有人工参与，在保证了效率的同时还降低人工在转运过程中可能对晶圆造成的损坏的风险。
[0018]2、本技术通过在第一机架上设置取片读码检测机构可以对位于第一卡塞中的晶圆盘进行随机挑选检测，从而判断晶圆的质量。
[0019]3、本技术通过设置读码设备可以对即将进入到存取库存储的第一卡塞进行扫码，从而判断出该第一卡塞的位置，方便后续的对该第一卡塞的寻找。
附图说明
[0020]图1为本技术的总体结构示意图。
[0021]图2为本技术的存片机整体示意图。
[0022]图3为本技术的搬运机构结构示意图。
[0023]图4为本技术的夹板结构示意图。
[0024]图5为本技术的取片读码检测机构示意图。
[0025]图6为本技术的上料转盘机构结构示意图。
[0026]图7为本技术的第一取片机构结构示意图。
[0027]图8为本技术的第一读码检测机构结构示意图。
[0028]图9为本技术的治具结构示意图。
[0029]图10为本技术的卡塞结构示意图。
[0030]图11为本技术的读码设备结构示意图。
[0031]图12为本技术的移载机结构示意图。
[0032]图中，11、第一机架；12、上料转盘机构；121、第一固定架；122、第一DD马达；123、检测器；124、第一转盘；125、第一治具；126、第一卡塞；13、取片读码检测机构；131、第一直线模组；132、支架；133、第二治具；134、第二卡塞；135、第一取片机构；1351、第四直线模组；1352、第五直线模组；1353、第五伺服电机；1354、第一吸盘；136、第一读码检测机构；1361、第二安装板；1362、第二气缸；1363、第二读码检测相机；1364、光源；14、读码设备；141、调节杆；142、角度调节片；143、读码器；15、搬运机构；151、支撑架；152、三轴直线移动模组；153、第二伺服电机；154、旋转板；155、旋转气缸；156、夹板；157、驱动电机；158、滑块；159、滑动板；2、输送线；3、存取库；4、移载机；40、底座；41、导轨；42、齿条；43、第二直线模组；44、滑动架；45、第一伺服电机；46、第二DD马达；47、第三直线模组；48、第一气缸；49、夹爪。
具体实施方式
[0033]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆存取的存片机，其特征在于：包括用于安装的第一机架(11)，所述第一机架(11)上安装有上料转盘机构(12)和搬运机构(15)，所述上料转盘机构(12)上设置有第一卡塞(126)，所述搬运机构(15)位于上料转盘机构(12)的出料处，所述搬运机构(15)将要转运的装有晶圆的第一卡塞(126)搬运至输送线(2)上，所述搬运机构(15)一侧设置有读码设备(14)，还包括取片读码检测机构(13)，所述取片读码检测机构(13)位于上料转盘机构(12)一侧。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆存取的存片机，其特征在于：所述上料转盘机构(12)包括固定安装在第一机架(11)上的第一固定架(121)，所述第一固定架(121)上安装有第一DD马达(122)，所述第一DD马达(122)动力输出端安装有第一转盘(124)，所述第一转盘(124)上设置有若干个关于第一转盘(124)轴线均匀间隔分布的第一治具(125)，每个所述第一治具(125)上设置至少一个第一卡塞(126)。3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆存取的存片机，其特征在于：所述第一转盘(124)的入料端的下方设置检测器(123)。4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆存取的存片机，其特征在于：所述搬运机构(15)包括支撑架(151)，所述支撑架(151)上设置有三轴直线移动模组(152)，所述三轴直线移动模组(152)动力端的安装架上固定安装有第二伺服电机(153)，所述第二伺服电机(153)动力输出端安装有旋转板(154)，所述旋转板(154)的下方滑动设置有两个滑块(158)，每个所述滑块(158)的底面均固定连接有滑动板(159)，且每个所述滑动板(159)的外侧面均安装有旋转气缸(155)，且旋转气缸(155)动力输出端延伸至滑动板(159)内侧面，所述旋转气缸(155)动力输出端安装有夹板(156)，所述旋转板(154)上表面一侧固定安装有驱动电机(157)，两个所述滑动板(159)之间传动连接有丝杆，且丝杆动力输入端与驱动电机(157)动力输出端传动连接。5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆存取的存片机，其特征在于：所述取片读码检测机构(13)位于所述上料转盘机构(12)一侧，所述取片读码检测机构(13)包括安装在第一机架(11)上的第一直线模组(131)，所述第一直线模组(131)上动力输出端设置有第一取片机构(135)，所述第一直线模组(131)上还设置有第一读码检...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯庆雄，王志峰，杨大鹏，薛联金，
申请(专利权)人：厦门普诚科技有限公司，
类型：新型
国别省市：