图形的形成方法以及布线图形的形成方法、电光装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够通过简易并且低成本的装置构成对薄膜进行图形化的图形的形成方法，在含有将光能变换为热能的光热变换材料的基材（１）上设置薄膜（２），对基材（１）照射光，通过除去对应于光照射的照射区域的薄膜（２），对该薄膜（２）进行图形化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种在基材上形成薄膜图形的图形形成方法以及使用该薄膜图形的布线图形的形成方法、电光装置以及电子机器。
技术介绍
以前，多将光刻法用作半导体集成电路等具有细微布线图形的器件的制造方法，但使用液滴喷出法(喷墨法)的器件的制造方法被注目。提出了在使用液滴喷出法形成微细布线图形的时候，为了提高图形线宽的精度，预先在基材上图形化疏液区域和亲液区域，将液滴选择性地配置在亲液区域上的方法。在下述专利文献1中公开了利用化学气相蒸镀法对设置在基板上的单分子膜进行图形化的技术。专利文献1特开2000-282240号公报但是，在上述以往技术中存在以下所述问题。上述专利文献1公开的技术，是通过照射紫外线或电子束从基板上除去单分子膜而进行图形化的技术，其需要高价并且大规模的装置。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种通过简易并且低成本的装置结构可以对薄膜进行图形化的图形形成方法。进而目的在于提供使用该薄膜形成布线图形的布线图形形成方法、具有该布线图形的电光装置以及电子机器。为了解决上述问题，本专利技术的图形形成方法，其特征在于，在含有将光能转化为热能的光热变换材料的基材上设置薄膜，对前述基材照射光，除去对应于照射区域的前述基材上的前述薄膜，从而对该薄膜进行图形化。此处，前述薄膜可以由有机薄膜、单分子膜以及含有光引发剂的单体中任一种构成。根据本专利技术通过在基材上设置光热变换材料，可以有效地将照射的光的光能变换为热能，从而将该热能供给薄膜。因此，即使不用以往的电子束或紫外线也可以获得用于除去薄膜的充分的热能。因此，使用的光照射装置的选择范围变宽，即使不用高价大规模的光照射装置，可以很好地以充分的热能从基材上将薄膜除去，从而进行图形化。在本专利技术的图形形成方法中，含有所述光热变换材料的光热变换层，也可以采用与前述基材和前述薄膜相互独立设置的构成，也可以采用在前述基材上混在前光热变换材料的构成，无论是哪一种构成，都能够将照射的光的光能变换为热能，并将该热能供给薄膜。在独立设置光热变换层时，前述光热变换层可以采用设置在前述基材的设置有前述薄膜的一面侧的构成，也可以采用设置在前述基材的没有设置前述薄膜的一面侧上的构成。在将前述的光热变换层设置在所述基材的设置有前述薄膜的一面侧时，尤其是通过将光热变换层设置在所述基材和所述薄膜之间使该薄膜对外部呈开放状态(露出状态)，可以在外部顺利地放出薄膜。在本专利技术的图形形成方法中，可以采用从所述基材的设置有所述薄膜的一面侧照射所述光的构成，也可以采用从所述基材的没有设置所述薄膜的一面侧照射所述光的构成。在从一面侧照射光时，由于可以不夹持基材对薄膜或光热变换层照射光，因此可以避免基于夹持基材的光的折射或散射而引起的光照射位置的摇动等的发生，从而可以在所需的位置照射光并以所需的图形对薄膜进行图形化。另外，在从另一面侧照射光时，通过在基材与薄膜之间设置光热变换层，可以经由基材直接对光热变换层照射光，有效地将光能变换为热能，从而将该热能供给薄膜。此时，赋予热能的薄膜的部分可以顺利地放出外部。另外，在本专利技术的图形形成方法中，可以根据所述薄膜确定从所述一面侧还是从另一面侧照射所述光。例如对于照射的光的波长薄膜是吸收该波长的光的材料时，在薄膜的下层侧设置有光热变换层的情况下，一旦从薄膜的上层侧直接对薄膜照射光，则该光被薄膜吸收有可能产生不能达到下层侧的光热变换层的情况。因此在这种情况下可以决定从薄膜的下层侧(基材的背面侧)照射光。在本专利技术的图形的形成方法中，其特征在于，所述光是激光，照射具有对应于所述光热变换材料的波长的光。由此，可以有效地将照射在光热变换材料上的光能变换为热能。尤其通过作为光而采用红外线激光，可以构成比较廉价的装置构成。在本专利技术的图形的形成方法中，可以借助具有规定的图形的掩模对所述基材照射所述光。由此，可以形成照射的光的光束径以下的微细的薄膜图形。另一方面，可以相对于所述光边使所述基材相对移动边进行照射，即，可以使照射的光(激光)与基材相对移动进行薄膜图形的描绘，根据该构成可以省略制造掩模的工序。本专利技术的布线图形形成方法，其特征在于，在具有通过上述的图形形成方法形成的薄膜图形的所述基材上配置含有布线图形形成用材料的液滴，形成布线图形。根据本专利技术，可以基于液滴喷出法一面抑制消耗的材料的浪费一面良好地形成微细的布线图形。本专利技术的电光装置，其特征在于，具有通过上述的布线图形的形成方法形成的布线图形。另外，本专利技术的电子机器，其特征在于，具有上述的电光装置。根据本专利技术，可以提供具有基于液滴喷出法形成的微细布线图形并能够发挥所需性能的电光装置以及具有该电光装置的电子机器。此外，作为电光装置可以举出液晶显示装置、有机EL(电致发光)显示装置以及等离子体显示装置等。另外，使用通过本专利技术的图形形成方法形成的薄膜图形，可以形成滤色器、液晶显示装置、有机EL装置、等离子体显示装置、微型透镜以及DNA芯片等的各构成要素。上述的液滴喷出方法可以使用具有喷出头的液滴喷出装置来实现，该液滴喷出装置包括备有喷墨头的喷墨装置。喷墨装置的喷墨头可以通过喷墨法定量喷出含有功能液的液状材料的液滴，例如是在每一点断续定量喷出1～300ng的液状材料的装置。此外，作为液滴喷出装置也可以是分配器装置。作为液状材料，是指具有能够从液滴喷出装置的喷出头的喷嘴喷出(能够滴下)的粘度的介质。可以是水性的也可以是油性的。只要具有能够从喷嘴等喷出的流动性(粘度)就可以，即使有固体物质混入，但是作为整体是流动体即可。另外，液状材料中所含的材料可以是加热到熔点以上而溶解的材料，也可以是在溶剂中作为微粒被搅拌的材料，也可以是除溶剂外还添加染料或颜料等其它的功能性材料的材料。另外，所谓上述功能液，是含有功能性材料的液状材料，通过在基材上配置可以发挥所定的功能。作为功能性材料，可以举出用于形成含有滤色器的液晶显示装置的液晶显示装置形成用材料、用于形成有机EL(电致发光)显示装置显示装置的有机EL显示装置形成用材料、用于形成等离子体显示装置的等离子体显示装置形成用材料、以及含有用于形成流通电流的布线图形的金属的布线图形形成用材料等。附图说明图1是表示本专利技术的图形形成方法中使用的图形形成装置的一实施方式的简要构成图。图2是表示本专利技术的图形形成方法的一实施方式的模式图。图3是表示本专利技术的图形形成方法的另一实施方式的模式图。图4是表示本专利技术的图形形成方法的又一实施方式的模式图。图5是表示本专利技术的一例薄膜的形成步骤的模式图。图6是表示本专利技术的图形形成方法中使用的图形形成装置的另一实施方式的简要构成图。图7是表示本专利技术的布线图形形成方法的一实施方式的模式图。图8是表示本专利技术的布线图形形成方法中使用的喷出头的简要构成图。图9是表示具有通过本专利技术的布线图形形成方法形成的布线图形的一例电光装置的等离子显示器的分解立体图。图10是表示使用通过本专利技术的图形形成方法形成的薄膜制造的一例电光装置的图，是表示液晶显示装置的滤色器的制造工序的一例的图。图11是表示使用通过本专利技术的图形形成方法形成的薄膜制造的一例电光装置的图，是表示有机EL显示装置的侧剖视图。图12是表示具有本专利技术的电光装置的一例电子机器的图。图13是表示使用本专利技术的薄膜图形形成微型透镜的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图形的形成方法，其特征在于，在含有将光能变换为热能的光热变换材料的基材上设置薄膜，通过对该基材照射光，除去对应于照射区域的所述基材上的所述薄膜，对该薄膜进行图形化。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：丰田直之，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]