一种可对去离子水进行回收的晶圆清洗快排槽制造技术

本发明专利技术公开了一种可对去离子水进行回收的晶圆清洗快排槽，涉及到晶圆清洗技术领域，包括槽体、喷淋管、匀流板、曝气管、注水管、排水管以及控制各设备有序工作的工控机，所述排水管设置有两个，分别为外排管和回收管，还包括在所述槽体进行排液之前对所述槽体内的去离子水进行电阻率检测的检测单元。利用检测单元检测槽体内去离子水的电阻率，工控机根据电阻率数值判断决定将清洗后的去离子水通过外排管排放还是回收管排放，可对可用的去离子水进行回收利用，同时在每次检测后都需要对检测单元的电阻率检测探头进行清洗，以提高检测精度，且电阻率检测探头在清洗或检测运动过程中做摆动运动，可进一步提高电阻率检测探头的检测精度。测精度。测精度。

【技术实现步骤摘要】
一种可对去离子水进行回收的晶圆清洗快排槽


[0001]本专利技术涉及晶圆清洗
，特别涉及一种可对去离子水进行回收的晶圆清洗快排槽。

技术介绍

[0002]伴随IC集成度的提高，晶圆表面的洁净度对于获得IC器件高性能和高成品率至关重要，晶圆清洗也显得尤为重要叫。清洗是为了减少玷污,因玷污会影响器件的性能，导致可靠性问题，降低成品率，这就要求在每层的下一步工艺前进行彻底地清洗。通常，在槽式的湿法清洗设备中，晶圆在每一道化学液清洗流程后，一般会紧接着快速排水清洗步骤，来除去上一道工艺流程中沾附在晶圆上的材料微粒和化学液残留物。目前，在晶圆的清洗洁净过程中，利用快排槽进行快速排水清洗法是比较常见的一种晶圆清洗方式。所谓快速排水清洗法是先将晶圆完全浸泡于快排槽的去离子水中,再快速地排除清洗槽中的去离子水，与此同时,利用喷嘴对晶圆喷洒去离子水，用于达到清洗晶圆的目的。
[0003]现有的湿法清洗设备中快排槽是清洗工序中不可缺少的一部分，它主要用于去除晶圆表面微粒杂质和残留的化学药液，使晶圆表面达到洁净。主要由槽体、带有喷淋阀的喷淋管、匀流板、带有快排阀的排水管、带有鼓泡阀的曝气管、带有注水阀的注水管以及控制各设备有序工作的工控机等组件构成，上部喷淋阀控制喷淋管工作。喷淋管路主要有两路,各自会形成交叉喷淋,但去离子水不宜直接喷淋冲洗晶圆表面，因为晶圆在水蚀作用下直接喷淋晶圆表面容易产生微粒污泥而污染晶圆表面。因此,在去离子水喷淋的过程中，需要对冲洗的水压、水量、方向和角度做出一定的调整测试，以达到微粒污染物少的最佳结果。良好的喷嘴所喷淋的范围应涵盖全部晶圆及片盒。上部喷淋的同时，底部通过注入去离子水，去离子水会从匀流板上沿四周溢出,这样每个晶圆片缝、各处边角的去离子水都能连续得到更新。同时,匀流板上开有细小的封闭孔洞，纯净氮气由下部气道进入槽体起到鼓泡的作用。氮气鼓泡能增加去离子水的冲压力，对槽体本身有很好的自清洗作用。同时，晶圆在水流中颤动，气泡不能沾附其上，提高了冲洗效果，可通过工控机设置清洗次数和清洗时间来完成对晶圆的清洗过程，但是上述快排槽存在一些问题，当清洗槽完成对晶圆的清洗工艺时，去离子水（未对晶圆清洗时电阻率大于0.5MΩ）通过快排阀直接排放到废水系统中，随着清洗次数的上升，其清洗后的去离子水的电阻率逐渐变高，甚至其电阻率任然高于0.5MΩ，而此类去离子水也被排入废水系统中，造成了大量的去离子水的浪费，因此，本申请提供了一种可对去离子水进行回收的晶圆清洗快排槽来满足需求。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种可对去离子水进行回收的晶圆清洗快排槽，在槽体上设置有外排管、回收管、清洗瓶以及检测单元，利用检测单元检测槽体内去离子水的电阻率，工控机根据电阻率数值判断决定将清洗后的去离子水通过外排管排放还是回收管排放，可对可用的去离子水进行回收利用，同时在每次检测后都需要对检测单元的电阻率检
测探头进行清洗，以提高检测精度，且电阻率检测探头在清洗或检测运动过程中做摆动运动，可进一步提高电阻率检测探头的检测精度。
[0005]为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种可对去离子水进行回收的晶圆清洗快排槽，包括槽体、安装在所述槽体的上方且带有喷淋阀的喷淋管、安装在所述槽体内腔的匀流板和带有鼓泡阀的曝气管，所述槽体的侧端及底部分别安装有带有注水阀的注水管和带有快排阀的排水管、以及控制各设备有序工作的工控机，所述排水管设置有两个，分别为外排管和回收管，所述外排管和所述回收管上均安装有与所述工控机连接的快排阀，所述外排管与废水系统相通，所述回收管与储液罐相通，还包括在所述槽体进行排液之前对所述槽体内的去离子水进行电阻率检测的检测单元，当检测到清洗后的去离子水的电阻率在其清洗标准范围内时，所述工控机控制离子水通过所述回收管进入所述储液罐内储存，当检测到清洗后的去离子水的电阻率低于其清洗标准范围内时，所述工控机控制离子水通过所述外排管进入废水系统中。
[0006]优选的，所述检测单元安装在所述槽体）的侧端，所述检测单元包括两通过螺栓固定连接的安装板、分别安装在两所述安装板上的两第一限位板和两第二限位板以及固定在所述安装板上且装有清洗液的清洗瓶，两所述安装板之间转动设置有呈回形排列的四个齿轮，其中一个所述齿轮与安装在所述安装板外壁上的驱动电机的输出轴固定连接，四个所述齿轮上套设有传动皮带，所述传动皮带通过其上设有的卡齿与所述齿轮齿接，所述传动皮带的内腔固定有安装筒，且所述安装筒的内腔转动设置有转轴，所述转轴位于所述安装筒的外端上固定有安装块，且所述安装块的前端上固定有两板体，且两所述板体均被方形杆滑动贯穿，所述方形杆上固定套设有两阻挡环，右侧所述阻挡环与右侧所述板体之间设置有挤压弹簧，所述挤压弹簧套设在所述方形杆上，位于两所述板体之间的所述方形杆上安装有与所述工控机相连的电阻率检测探头，所述方形杆的左端上安装有柱形接触头，左侧所述第一限位板和右侧所述第二限位板上均呈上至下设置以后若干个端部为弧形的接触凸头，所述驱动电机与工控机连接。
[0007]优选的，左侧所述第一限位板和右侧所述第二限位板上均设置有由若干个接触凸头组成的第一接触段和第二接触段，且所述第一接触段和所述第二接触段之间设置有运动间隙，所述第一接触段位于第二接触段的上方。
[0008]优选的，还包括对所述清洗瓶进行更换清洗液的更换单元，所述更换单元包括安装所述安装板上的杆体以及安装在所述清洗瓶上的加液管，所述杆体被L形杆滑动贯穿，所述L形杆上固定设置有挡板，所述挡板与所述杆体之间设置有复位弹簧，且所复位弹簧套设在所述L形杆上，所述L形杆的下端固定有可对所述清洗瓶底部排液口进行密封的密封板，所述L形杆的上端贯穿所述第二限位板上设有的开口，且所述开口的内腔顶部固定有按压开关，所述按压开关与所述L形杆的上端抵触，所述密封板和所述清洗瓶的下端均位于排液管的内腔，所述加液管通过泵体与所述储液罐连接，所述泵体和所述按压开关均与工控机连接。
[0009]优选的，所述安装块的下端一体成型设置有导向块，且所述导向块设置为三角形结构。
[0010]优选的，所述槽体的内腔壁上安装有磁体，且所述磁体靠近所述安装板安装。
[0011]优选的，所述外排管11的下端与所述储液罐连接。
[0012]综上，本专利技术的技术效果和优点：1、本专利技术结构合理，在槽体上设置有外排管、回收管、清洗瓶以及检测单元，利用检测单元检测槽体内去离子水的电阻率，工控机根据电阻率数值判断决定将清洗后的去离子水通过外排管排放还是回收管排放，可对可用的去离子水进行回收利用，同时在每次检测后都需要对检测单元的电阻率检测探头进行清洗，以提高检测精度，且电阻率检测探头在清洗或检测运动过程中做摆动运动，可进一步提高电阻率检测探头的检测精度；2、本专利技术中，设置有第一接触段和第二接触段，且第一接触段与第二接触段之间设置有运动间隙，可保证在电阻率检测探头的探测端为直接向下插入液面中（其不发生摆动运动），使得探测端上有较少的气泡附着，有利于后续通过摆动运动彻底去除气泡；3、本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可对去离子水进行回收的晶圆清洗快排槽，包括槽体（1）、安装在所述槽体（1）的上方且带有喷淋阀的喷淋管（2）、安装在所述槽体（1）内腔的匀流板（5）和带有鼓泡阀的曝气管（4），所述槽体（1）的侧端及底部分别安装有带有注水阀的注水管（3）和带有快排阀的排水管、以及控制各设备有序工作的工控机，其特征在于：所述排水管设置有两个，分别为外排管（6）和回收管（7），所述外排管（6）和所述回收管（7）上均安装有与所述工控机连接的快排阀，所述外排管（6）与废水系统相通，所述回收管（7）与储液罐相通，还包括在所述槽体（1）进行排液之前对所述槽体（1）内的去离子水进行电阻率检测的检测单元（8），当检测到清洗后的去离子水的电阻率在其清洗标准范围内时，所述工控机控制离子水通过所述回收管（7）进入所述储液罐内储存，当检测到清洗后的去离子水的电阻率低于其清洗标准范围内时，所述工控机控制离子水通过所述外排管（6）进入废水系统中。2.根据权利要求1所述的一种可对去离子水进行回收的晶圆清洗快排槽，其特征在于：所述检测单元（8）安装在所述槽体（1））的侧端，所述检测单元（8）包括两通过螺栓固定连接的安装板（81）、分别安装在两所述安装板（81）上的两第一限位板（814）和两第二限位板（815）以及固定在所述安装板（81）上且装有清洗液的清洗瓶（10），两所述安装板（81）之间转动设置有呈回形排列的四个齿轮（82），其中一个所述齿轮（82）与安装在所述安装板（81）外壁上的驱动电机（83）的输出轴固定连接，四个所述齿轮（82）上套设有传动皮带（84），所述传动皮带（84）通过其上设有的卡齿与所述齿轮（82）齿接，所述传动皮带（84）的内腔固定有安装筒（85），且所述安装筒（85）的内腔转动设置有转轴（86），所述转轴（86）位于所述安装筒（85）的外端上固定有安装块（87），且所述安装块（87）的前端上固定有两板体（88），且两所述板体（88）均被方形杆（89）滑动贯穿，所述方形杆（89）上固定套设有两阻挡环（813），右侧所述阻挡环（813）与右侧所述板体（88）之间设置有挤压弹簧（812），所述挤压弹簧（812）套设在所述方形杆（89）上，位于两所述板体（88）之间的所述方形杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晨，韩五静，
申请(专利权)人：安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：