【技术实现步骤摘要】
一种光刻机的涂胶装置
[0001]本技术涉及一种光刻机的涂胶装置，属于半导体加工设备领域。
技术介绍
[0002]在生产晶片时，需要进行光刻，将光刻版上的图形转印到晶圆上。一般地，加工过程包括预处理、涂光刻胶、软烘、曝光、后烘和显影。其中，涂光刻胶是指将光刻胶均匀地涂布在晶圆表面。光刻胶中主要物质有树脂、溶剂、感光剂和其它添加剂。用紫外线把光刻版上的图形照射到晶圆表面，感光剂在光照下会迅速反应。曝光部分被溶解，未曝光部分留下来。除去溶解部分，留下需要的图形。然而，现有的光刻机存在缺陷，其采用喷涂的方式将光刻胶涂布在晶圆上，喷涂过程中，雾状喷涂液呈锥形，中心速度大，喷涂的光刻胶多；边缘速度小，喷涂的光刻胶少；导致光刻胶涂布不均。因此，如何快速均匀地将光刻胶涂布在晶圆上是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
[0003]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种光刻机的涂胶装置。以解决
技术介绍
部分提到的问题。
[0004]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种光刻机的涂胶装置，用于在晶圆上涂...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻机的涂胶装置，用于在晶圆上涂布光刻胶，包括基板、主轴、转台、轴承、电机、主动齿轮和从动齿轮，主轴的下端通过轴承转动连接在基板上，主轴的上端与转台固定连接；电机固定设置在基板上，主动齿轮固定连接在电机的输出轴上，从动齿轮固定套接在主轴的中部，主动齿轮与从动齿轮啮合连接；晶圆平放在转台的上表面，光刻胶分布在晶圆的上表面；其特征在于，所述基板的边缘连接有竖直的立杆，立杆的顶端通过销轴铰接有第一压杆，第一压杆远离销轴的一端固定连接有桨片；立杆上还固定连接有挡板，挡板水平地设置在销轴的下方，挡板的一端朝向所述主轴的中轴线；第一压杆绕销轴转动以使第一压杆的中部搭接在挡板的右端，桨片朝向所述晶圆的一面各点至晶圆的距离相等。2.根据权利要求1所述的光刻机的涂胶装置，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：段小君，朱敏吉，
申请(专利权)人：苏州凯硕机电设备工程有限公司，
类型：新型
国别省市：
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