一种光刻机的涂胶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光刻机的涂胶装置，包括基板、主轴、转台、轴承、电机、主动齿轮和从动齿轮，所述基板的边缘连接有竖直的立杆，立杆的顶端通过销轴铰接有第一压杆，第一压杆远离销轴的一端固定连接有桨片；立杆上还固定连接有挡板，挡板水平地设置在销轴的下方，挡板的一端朝向所述主轴的中轴线；第一压杆绕销轴转动以使第一压杆的中部搭接在挡板的右端，桨片朝向所述晶圆的一面各点至晶圆的距离相等。第一压杆的端部连接有桨片，由于桨片朝向所述晶圆的一面各点至晶圆的距离相等，在晶圆转动过程中，高度过高的光刻胶被桨片推平，多余的光刻胶粘附在桨片上，高度过低的光刻胶区域被填平。填平。填平。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机的涂胶装置


[0001]本技术涉及一种光刻机的涂胶装置，属于半导体加工设备领域。

技术介绍

[0002]在生产晶片时，需要进行光刻，将光刻版上的图形转印到晶圆上。一般地，加工过程包括预处理、涂光刻胶、软烘、曝光、后烘和显影。其中，涂光刻胶是指将光刻胶均匀地涂布在晶圆表面。光刻胶中主要物质有树脂、溶剂、感光剂和其它添加剂。用紫外线把光刻版上的图形照射到晶圆表面，感光剂在光照下会迅速反应。曝光部分被溶解，未曝光部分留下来。除去溶解部分，留下需要的图形。然而，现有的光刻机存在缺陷，其采用喷涂的方式将光刻胶涂布在晶圆上，喷涂过程中，雾状喷涂液呈锥形，中心速度大，喷涂的光刻胶多；边缘速度小，喷涂的光刻胶少；导致光刻胶涂布不均。因此，如何快速均匀地将光刻胶涂布在晶圆上是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

技术实现思路

[0003]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种光刻机的涂胶装置。以解决
技术介绍
部分提到的问题。
[0004]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种光刻机的涂胶装置，用于在晶圆上涂布光刻胶，包括基板、主轴、转台、轴承、电机、主动齿轮和从动齿轮，主轴的下端通过轴承转动连接在基板上，主轴的上端与转台固定连接；电机固定设置在基板上，主动齿轮固定连接在电机的输出轴上，从动齿轮固定套接在主轴的中部，主动齿轮与从动齿轮啮合连接；晶圆平放在转台的上表面，光刻胶分布在晶圆的上表面；所述基板的边缘连接有竖直的立杆，立杆的顶端通过销轴铰接有第一压杆，第一压杆远离销轴的一端固定连接有桨片；立杆上还固定连接有挡板，挡板水平地设置在销轴的下方，挡板的一端朝向所述主轴的中轴线；第一压杆绕销轴转动以使第一压杆的中部搭接在挡板的右端，桨片朝向所述晶圆的一面各点至晶圆的距离相等。
[0005]本技术进一步的设置为：所述桨片朝向所述晶圆的一面与晶圆之间存在间隙，间隙为2
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5毫米。
[0006]为了增强晶圆与转台之间的摩擦力，使晶圆牢固连接在转台上表面，本技术进一步的设置为：所述转台的内部设置有负压腔，转台的上表面至负压腔之间设置有若干通孔，转台的下表面设置有与负压腔连接的口部，口部由橡胶片密封。
[0007]通过按压橡胶片，负压腔中的空气从通孔中排出，之后，将晶圆盖合在转台上，通孔被晶圆覆盖，松开橡胶片，负压腔中形成负压，提高晶圆对转台的作用力，从而提高晶圆与转台的摩擦力，晶圆连接在转台表面更牢固。
[0008]为了防止光刻胶从晶圆边缘溢出，本技术进一步的设置为：所述晶圆的边缘上叠加有防溢环，防溢环的高度大于光刻胶的深度。
[0009]为了便于取放防溢环，本技术进一步的设置为：所述转台的边缘连接有固定
柱，固定柱的顶端通过第一铰接件转动连接有第二压杆，第二压杆通过第二铰接件转动连接有第三压杆，第三压杆通过第三铰接件转动连接所述防溢环。通过固定柱、第一铰接件、第二压杆、第二铰接件、第三压杆、第三铰接件，可以方便地转动防溢环，使防溢环处于目标位置。
[0010]本技术进一步的设置为：所述第一压杆的中部搭接在挡板的右端时，第一压杆水平地重叠在挡板上。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过电机、主动轮、从动轮、主轴驱动转台转动，转台与晶圆之间存在摩擦力，晶圆随转台转动。第一压杆的端部连接有桨片，由于桨片朝向所述晶圆的一面各点至晶圆的距离相等，在晶圆转动过程中，桨片将光刻胶均匀地涂布在晶圆上表面，高度过高的光刻胶被桨片推平，多余的光刻胶粘附在桨片上或流向高度过低的光刻胶区域，高度过低的光刻胶区域被填平，最终，晶圆表面的光刻胶被均匀地抹平。
[0012]通过设置挡板，限制立杆的转动，立杆在销轴右侧时，桨片朝向所述晶圆的一面各点至晶圆的距离相等；立杆在销轴左侧时桨片远离晶圆，便于晶圆上下料；桨片的两种位置关于销轴呈中心对称。
[0013]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0014]图1为本技术一较佳实施例所示的光刻机的涂胶装置的结构示意图；
[0015]图2为图1中光刻机的涂胶装置的另一状态的结构示意图；
[0016]图3为图1中晶圆和防溢环的结构示意图。
[0017]图中：1、基板；2、轴承；3、电机；4、主动齿轮；5、从动齿轮；6、主轴；7、橡胶片；8、口部；9、固定柱；10、第二压杆；11、第三压杆；12、桨片；13、第一压杆；14、销轴；15、挡板；16、立杆；17、转台；18、晶圆； 19、通孔；20、负压腔；21、第三铰接件；22、第二铰接件；23、第一铰接件； 24、防溢环。
具体实施方式
[0018]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0019]参见附图1
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3所示，本实施例中的一种光刻机的涂胶装置，用于在晶圆18上涂布光刻胶，包括基板1、主轴6、转台17、轴承2、电机3、主动齿轮4和从动齿轮5，主轴6的下端通过轴承2转动连接在基板1上，主轴6的上端与转台17固定连接；电机3固定设置在基板1上，主动齿轮4固定连接在电机3的输出轴上，从动齿轮5固定套接在主轴6的中部，主动齿轮4与从动齿轮5啮合连接；晶圆18平放在转台17的上表面，光刻胶预先分布在晶圆18的上表面；基板1的边缘连接有竖直的立杆16，立杆16的顶端通过销轴14铰接有第一压杆13，第一压杆13远离销轴14的一端固定连接有桨片12；立杆16上还固定连接有挡板15，挡板15水平地设置
在销轴14的下方，挡板15的一端朝向主轴6的中轴线；第一压杆13绕销轴14 转动以使第一压杆13的中部搭接在挡板15的右端，桨片12朝向晶圆18的一面各点至晶圆18的距离相等。桨片12朝向晶圆18的一面与晶圆18之间存在间隙，间隙为2
‑
5毫米。
[0020]转台17的内部设置有负压腔20，转台17的上表面至负压腔20之间设置有若干通孔19，转台17的下表面设置有与负压腔20连接的口部8，口部8由橡胶片7密封。
[0021]晶圆18的边缘上叠加有防溢环24，防溢环24的高度大于光刻胶的深度。转台17的边缘连接有固定柱9，固定柱9的顶端通过第一铰接件23转动连接有第二压杆10，第二压杆10通过第二铰接件22转动连接有第三压杆11，第三压杆11通过第三铰接件21转动连接防溢环24。
[0022]第一压杆13的中部搭接在挡板15的右端时，第一压杆13水平地重叠在挡板15上。
[0023]综上所述，本技术所示的光刻机的涂胶装置的原理为：通过电机3转动，经过主动轮、从动轮、主轴6的传动，驱动转台17转动，转台17与晶圆18之间存在摩擦力，晶圆18随转台本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机的涂胶装置，用于在晶圆上涂布光刻胶，包括基板、主轴、转台、轴承、电机、主动齿轮和从动齿轮，主轴的下端通过轴承转动连接在基板上，主轴的上端与转台固定连接；电机固定设置在基板上，主动齿轮固定连接在电机的输出轴上，从动齿轮固定套接在主轴的中部，主动齿轮与从动齿轮啮合连接；晶圆平放在转台的上表面，光刻胶分布在晶圆的上表面；其特征在于，所述基板的边缘连接有竖直的立杆，立杆的顶端通过销轴铰接有第一压杆，第一压杆远离销轴的一端固定连接有桨片；立杆上还固定连接有挡板，挡板水平地设置在销轴的下方，挡板的一端朝向所述主轴的中轴线；第一压杆绕销轴转动以使第一压杆的中部搭接在挡板的右端，桨片朝向所述晶圆的一面各点至晶圆的距离相等。2.根据权利要求1所述的光刻机的涂胶装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：段小君，朱敏吉，
申请(专利权)人：苏州凯硕机电设备工程有限公司，
类型：新型
国别省市：