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本实用新型公开了一种光刻机的涂胶装置，包括基板、主轴、转台、轴承、电机、主动齿轮和从动齿轮，所述基板的边缘连接有竖直的立杆，立杆的顶端通过销轴铰接有第一压杆，第一压杆远离销轴的一端固定连接有桨片；立杆上还固定连接有挡板，挡板水平地设置在销轴...
该专利属于苏州凯硕机电设备工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州凯硕机电设备工程有限公司授权不得商用。

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