【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产加工中废气处理系统
[0001]本技术涉及废气处理
，具体为一种半导体生产加工中废气处理系统。
技术介绍
[0002]半导体是指一种在常温下自身的导电性能介于导体和绝缘体之间的材料，广泛应用在电子产品的核心单元中，具有重要的作用，半导体在生产加工的过程中会产生大量的废气，需要将排出的废气进行集中处理后在进行排放。
[0003]在实现本技术的过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决：在使用的过程中没有一种对内部的喷淋液体进行循环使用的措施；在使用的过程中对排出的废气中的粉尘的过滤过程中，易堵塞过滤面，过滤效果不好；使用的过程中没有一种操作方便的对内部的滤芯进行更换的措施。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种半导体生产加工中废气处理系统，以解决上述
技术介绍
中提出没有一种对内部的喷淋液体进行循环使用的措施的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体生产加工中废气处理系统，包括底座和外架，所述底座顶端的一侧固定连接有抽风机...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体生产加工中废气处理系统，包括底座(2)和外架(8)，其特征在于：所述底座(2)顶端的一侧固定连接有抽风机(3)，所述底座(2)顶端的一侧固定连接有除尘室(4)，所述抽风机(3)与除尘室(4)的内部相连通，所述除尘室(4)内部的一侧设置有防堵结构(1)，所述除尘室(4)的内部设置有拆卸结构(5)，所述除尘室(4)的内部竖向设置有第一滤网(20)，所述除尘室(4)的一侧固定连接有输气管(19)，所述底座(2)顶端的另一侧固定连接有外架(8)，所述外架(8)内部的顶端固定连接有顶架(10)，所述顶架(10)内部底端的两侧分别固定连接有负压风机(9)，所述外架(8)内部的中间为位置处固定连接有喷淋室(14)，所述喷淋室(14)内部两侧的顶端分别固定连接有集水槽(7)，所述集水槽(7)的一侧分别固定连接有多组喷头(11)，所述集水槽(7)的一端之间固定连接有连通管(6)，且连通管(6)的两侧分别与集水槽(7)的内部相连通，所述外架(8)一侧的顶部固定连接有储液箱(13)，所述储液箱(13)顶端的一侧固定连接有抽液管(15)，所述抽液管(15)上设置有第一水泵(12)，所述抽液管(15)的一侧贯穿外架(8)的一侧和喷淋室(14)的一侧并与集水槽(7)的内部相连通，所述抽液管(15)的另一侧贯穿储液箱(13)顶端的一侧并延伸至储液箱(13)内部底端的一侧，所述喷淋室(14)内部两侧的底端之间横向固定连接有排气槽(16)，所述排气槽(16)的外部分别固定连接有多组通孔(18)，所述输气管(19)的一侧贯穿外架(8)的另一侧和喷淋室(14)的另一侧并与排气槽(16)的内部相连通，所述外架(8)内部的底端固定连接有集液箱(17)，所述外架(8)一侧的底部设置有循环机构。2.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工中废气处理系统，其特征在于：所述循环机构包括外壳(23)，所述外壳(23)固定连接在外架(8)一侧的底部，所述外壳(23)顶端的一侧固定连接有第一导液管(22)，所述第一导液管(22)上设置有第二水泵(21)，所述外壳(23)内部两侧的中间位置处横向固定连接有隔板(24)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：李攀，
申请(专利权)人：旭矽半导体上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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