本实用新型专利技术公开了一种半导体生产加工中废气处理系统，具体涉及废气处理技术领域，包括底座和外架，所述底座顶端的一侧固定连接有抽风机，所述底座顶端的一侧固定连接有除尘室，所述抽风机与除尘室的内部相连通，所述除尘室内部的一侧设置有防堵结构，所述除尘室的内部设置有拆卸结构，所述除尘室的内部竖向设置有第一滤网，所述除尘室的一侧固定连接有输气管。本实用新型专利技术通过在除尘室内部的第一滤网在使用一段时间后需要对其进行更换，在除尘室内部设置的拆卸结构中，将除尘室的一端打开后，将外罩利用顶端和底端固定的滑条从安装座内部的滑槽滑出取出后，对外罩内部的第一滤网进行更换，操作简单便捷。操作简单便捷。操作简单便捷。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产加工中废气处理系统
[0001]本技术涉及废气处理
，具体为一种半导体生产加工中废气处理系统。
技术介绍
[0002]半导体是指一种在常温下自身的导电性能介于导体和绝缘体之间的材料，广泛应用在电子产品的核心单元中，具有重要的作用，半导体在生产加工的过程中会产生大量的废气，需要将排出的废气进行集中处理后在进行排放。
[0003]在实现本技术的过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决：在使用的过程中没有一种对内部的喷淋液体进行循环使用的措施；在使用的过程中对排出的废气中的粉尘的过滤过程中，易堵塞过滤面，过滤效果不好；使用的过程中没有一种操作方便的对内部的滤芯进行更换的措施。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种半导体生产加工中废气处理系统，以解决上述
技术介绍
中提出没有一种对内部的喷淋液体进行循环使用的措施的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体生产加工中废气处理系统，包括底座和外架，所述底座顶端的一侧固定连接有抽风机，所述底座顶端的一侧固定连接有除尘室，所述抽风机与除尘室的内部相连通，所述除尘室内部的一侧设置有防堵结构，所述除尘室的内部设置有拆卸结构，所述除尘室的内部竖向设置有第一滤网，所述除尘室的一侧固定连接有输气管，所述底座顶端的另一侧固定连接有外架，所述外架内部的顶端固定连接有顶架，所述顶架内部底端的两侧分别固定连接有负压风机，所述外架内部的中间为位置处固定连接有喷淋室，所述喷淋室内部两侧的顶端分别固定连接有集水槽，所述集水槽的一侧分别固定连接有多组喷头，所述集水槽的一端之间固定连接有连通管，且连通管的两侧分别与集水槽的内部相连通，所述外架一侧的顶部固定连接有储液箱，所述储液箱顶端的一侧固定连接有抽液管，所述抽液管上设置有第一水泵，所述抽液管的一侧贯穿外架的一侧和喷淋室的一侧并与集水槽的内部相连通，所述抽液管的另一侧贯穿储液箱顶端的一侧并延伸至储液箱内部底端的一侧，所述喷淋室内部两侧的底端之间横向固定连接有排气槽，所述排气槽的外部分别固定连接有多组通孔，所述输气管的一侧贯穿外架的另一侧和喷淋室的另一侧并与排气槽的内部相连通，所述外架内部的底端固定连接有集液箱，所述外架一侧的底部设置有循环机构。
[0006]优选的，所述循环机构包括外壳，所述外壳固定连接在外架一侧的底部，所述外壳顶端的一侧固定连接有第一导液管，所述第一导液管上设置有第二水泵，所述外壳内部两侧的中间位置处横向固定连接有隔板，所述外壳内部两侧的底部分别固定连接有安装脚，所述安装脚之间设置有第二滤网，所述外壳一端的顶端固定连接有第二导液管，所述第二导液管上设置有第三水泵。
[0007]优选的，所述第一导液管的顶端延伸至储液箱一侧的顶端并贯穿储液箱一侧的顶端，所述第一导液管的底端贯穿外壳顶端的一侧和隔板的内部并延伸至外壳内部的底端，所述第二导液管的顶端贯穿外壳一端的顶端，所述第二导液管的底端贯穿外架一侧的底端和集液箱一侧的底端并延伸至集液箱内部底端的一侧。
[0008]优选的，所述防堵结构包括固定座，所述固定座设置在除尘室内部的一侧，所述固定座的内部横向活动连接有转轴，所述转轴的一侧固定连接有叶轮，所述转轴的另一侧固定连接有刮板，所述固定座的顶端和底端分别固定连接有固定架，所述固定架的一侧分别与除尘室内部的一侧固定连接，所述固定架关于固定座的水平中心线呈对称分布。
[0009]优选的，所述拆卸结构包括安装座，所述安装座分别固定连接在除尘室内部顶端和底端的一侧，所述安装座的内部分别固定连接有滑槽，所述滑槽之间设置有外罩，所述外罩的顶端和底端分别固定连接有滑条，所述滑条分别嵌在滑槽的内部。
[0010]优选的，所述滑条的外部尺寸小于滑槽的内部尺寸，所述滑条和滑槽之间构成滑动连接，所述第一滤网竖向设置在外罩的内部。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该半导体生产加工中废气处理系统不仅实现了对内部的喷淋液体的循环使用，实现了对废气中的粉尘在过滤时的防堵，而且实现了操作方便的对内部滤芯的更换；
[0012](1)通过在将半导体生产加工过程中产生的废气经抽风机抽入到处理系统中导入到除尘室中，经第一滤网对废气中的固体粉尘颗粒过滤后，废气经输气管导入到喷淋室内部底端的排气槽中，由排气槽外部设置的多组通孔导出在喷淋室的内部，并由集水槽一侧的多组喷头将储液箱内部的洗涤液喷射在喷淋室的内部对喷淋室内部的废气进行过滤冲洗，去除溶于水的一些有害物质，洗涤液喷出过滤后流入到集液箱中进行储存，在外架一侧底端设置的循环机构中启动第三水泵将集液箱内部使用后的洗涤液经第二导液管抽出至外壳内部的顶端后，经过隔板将抽出的洗涤液导流到外壳内部两侧底部设置的第二滤网对集液箱内洗涤液中的杂质进行过滤处理后，第二水泵启动将外壳内部底部处理后的洗涤液经第一导液管抽出并重新导入至储液箱的内部，对喷淋洗涤液的循环使用，达到了可以对内部的洗涤液体进行循环使用的目的；
[0013](2)通过设置有叶轮、固定座、转轴、刮板和固定架，在对废气中的粉尘等固体颗粒在过滤时，在除尘室内部设置的防堵结构中，在抽风机将废气导入到除尘室中时，废弃的气体流动力会带动叶轮进行旋转，叶轮旋转带动转轴另一侧固定的刮板对第一滤网的过滤面进行刮扫，防止第一滤网在短时间内被堵塞，达到了在对废气中的粉尘在过滤时的防止堵塞的目的；
[0014](3)通过设置有安装座、滑条、外罩和滑槽，在除尘室内部的第一滤网在使用一段时间后需要对其进行更换，在除尘室内部设置的拆卸结构中，将除尘室的一端打开后，将外罩利用顶端和底端固定的滑条从安装座内部的滑槽滑出取出后，对外罩内部的第一滤网进行更换，操作简单便捷。
附图说明
[0015]图1为本技术的正视剖面结构示意图；
[0016]图2为本技术的循环机构正视剖面放大结构示意图；
[0017]图3为本技术的防堵结构正视剖面放大结构示意图；
[0018]图4为本技术的图1中A处局部剖面放大结构示意图。
[0019]图中：1、防堵结构；101、叶轮；102、固定座；103、转轴；104、刮板；105、固定架；2、底座；3、抽风机；4、除尘室；5、拆卸结构；501、安装座；502、滑条；503、外罩；504、滑槽；6、连通管；7、集水槽；8、外架；9、负压风机；10、顶架；11、喷头；12、第一水泵；13、储液箱；14、喷淋室；15、抽液管；16、排气槽；17、集液箱；18、通孔；19、输气管；20、第一滤网；21、第二水泵；22、第一导液管；23、外壳；24、隔板；25、安装脚；26、第二滤网；27、第二导液管；28、第三水泵。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体生产加工中废气处理系统，包括底座(2)和外架(8)，其特征在于：所述底座(2)顶端的一侧固定连接有抽风机(3)，所述底座(2)顶端的一侧固定连接有除尘室(4)，所述抽风机(3)与除尘室(4)的内部相连通，所述除尘室(4)内部的一侧设置有防堵结构(1)，所述除尘室(4)的内部设置有拆卸结构(5)，所述除尘室(4)的内部竖向设置有第一滤网(20)，所述除尘室(4)的一侧固定连接有输气管(19)，所述底座(2)顶端的另一侧固定连接有外架(8)，所述外架(8)内部的顶端固定连接有顶架(10)，所述顶架(10)内部底端的两侧分别固定连接有负压风机(9)，所述外架(8)内部的中间为位置处固定连接有喷淋室(14)，所述喷淋室(14)内部两侧的顶端分别固定连接有集水槽(7)，所述集水槽(7)的一侧分别固定连接有多组喷头(11)，所述集水槽(7)的一端之间固定连接有连通管(6)，且连通管(6)的两侧分别与集水槽(7)的内部相连通，所述外架(8)一侧的顶部固定连接有储液箱(13)，所述储液箱(13)顶端的一侧固定连接有抽液管(15)，所述抽液管(15)上设置有第一水泵(12)，所述抽液管(15)的一侧贯穿外架(8)的一侧和喷淋室(14)的一侧并与集水槽(7)的内部相连通，所述抽液管(15)的另一侧贯穿储液箱(13)顶端的一侧并延伸至储液箱(13)内部底端的一侧，所述喷淋室(14)内部两侧的底端之间横向固定连接有排气槽(16)，所述排气槽(16)的外部分别固定连接有多组通孔(18)，所述输气管(19)的一侧贯穿外架(8)的另一侧和喷淋室(14)的另一侧并与排气槽(16)的内部相连通，所述外架(8)内部的底端固定连接有集液箱(17)，所述外架(8)一侧的底部设置有循环机构。2.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工中废气处理系统，其特征在于：所述循环机构包括外壳(23)，所述外壳(23)固定连接在外架(8)一侧的底部，所述外壳(23)顶端的一侧固定连接有第一导液管(22)，所述第一导液管(22)上设置有第二水泵(21)，所述外壳(23)内部两侧的中间位置处横向固定连接有隔板(24)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：李攀，
申请(专利权)人：旭矽半导体上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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