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本实用新型公开了一种半导体生产加工中废气处理系统，具体涉及废气处理技术领域，包括底座和外架，所述底座顶端的一侧固定连接有抽风机，所述底座顶端的一侧固定连接有除尘室，所述抽风机与除尘室的内部相连通，所述除尘室内部的一侧设置有防堵结构，所述除尘...
该专利属于旭矽半导体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过旭矽半导体（上海）有限公司授权不得商用。

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