加料系统、加料方法及晶体生长系统技术方案

本发明专利技术涉及单晶硅的制备技术领域，提供一种加料系统、加料方法及晶体生长系统，包括加料机、定位机构和移动装置，加料机包括料仓、输料管和输料管对接机构，输料管第一端与料仓出料口连接；定位机构设在单晶炉侧向加料口前方预设位置；移动装置将加料机移至预设位置，加料机、移动装置和定位机构中一者设有定位检测元件，定位检测元件与移动装置和输料管对接机构通信连接；定位检测元件检测到加料机移动到位时，移动装置驱动加料机与定位机构连接，输料管对接机构驱动输料管第二端与侧向加料口对接。可实现加料机自动移动与定位、输料管与侧向加料口自动对接，无需人工操作，利于降低加料机定位、对接和加料时间，减少因人工操作造成的污染。造成的污染。造成的污染。

【技术实现步骤摘要】
加料系统、加料方法及晶体生长系统


[0001]本专利技术涉及单晶硅的制备
，尤其涉及一种加料系统、加料方法及晶体生长系统。

技术介绍

[0002]目前单晶炉侧面加料技术已逐渐成为主流，晶棒在副室和单晶炉内冷却的时间段内通过单晶炉的侧面加料口对单晶炉进行加料，可以充分利用晶棒在副室和炉内冷却的时间，能够有效降低单晶硅制备过程中的无效时间，从而提高单晶硅的产能。
[0003]但是，现有技术中的加料机的自动化程度较低，需要人工将其定位在单晶炉的侧面加料口处，并且需要人工将加料机的出料口和单晶炉的侧面加料口对接，定位耗时和对接耗时较长，不能充分利用晶棒的冷却时间而易增加单晶硅的制备时间，从而影响单晶硅的产能。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种加料系统、加料方法及晶体生长系统，用以解决现有技术中加料机自动化程度低，需要人工定位加料机和对接加料机的出料口与单晶炉的加料口，定位和对接耗时长，不能充分利用晶棒的冷却时间而易增加单晶硅的制备时间，从而影响单晶硅的产能的缺陷。
[0005]本专利技术提供一种加料系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加料系统，其特征在于，包括：加料机，包括料仓、输料管和输料管对接机构，所述料仓用于盛装硅料，所述输料管的第一端与所述料仓的出料口连接，所述输料管对接机构用于驱动所述输料管的第二端与单晶炉的侧向加料口对接；定位机构，设置在所述侧向加料口前方的预设位置处，所述加料机能够与所述定位机构连接；移动装置，用于将所述加料机移动至所述预设位置处；其中，所述加料机、所述移动装置和所述定位机构的其中一者上设置有定位检测元件，所述定位检测元件用于检测所述加料机是否移动到位，且所述定位检测元件分别与所述移动装置和所述输料管对接机构通信连接；所述定位检测元件检测到所述加料机移动到位时，所述移动装置驱动所述加料机与所述定位机构连接，所述输料管对接机构驱动所述输料管的第二端与所述侧向加料口对接。2.根据权利要求1所述的加料系统，其特征在于，所述定位机构上设置有电气接口，所述加料机还包括电气对接机构，所述电气对接机构能够与所述电气接口对接并通信连接，且所述电气对接机构与所述输料管对接机构通信连接。3.根据权利要求1所述的加料系统，其特征在于，所述定位机构上设置有定位标识，所述移动装置上设置有所述定位检测元件，所述定位检测元件能够感应所述定位标识，所述定位检测元件感应到所述定位标识时，所述移动装置停止移动且驱动所述加料机与所述定位机构连接。4.根据权利要求1所述的加料系统，其特征在于，所述定位机构上设置有定位孔，所述移动装置能够驱动所述加料机的支撑脚伸入所述定位孔内。5.根据权利要求2所述的加料系统，其特征在于，所述输料管对接机构包括：导轨，与所述料仓连接；滑台，与所述导轨滑动连接，所述滑台与所述输料管的第二端连接；驱动装置，用于驱动所述滑台和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪火成，石鹏飞，张国久，刘昌林，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：发明
国别省市：