【技术实现步骤摘要】
一种炉盖冷却结构
[0001]本技术属于炉盖散热
,具体涉及一种炉盖冷却结构。
技术介绍
[0002]对于熔炼多晶硅的单晶炉,其由炉底、下炉室、上炉室、炉盖、翻板箱以及副室六大部分组成;其中,由于炉盖在工作过程中需要进行冷却,通常采用水冷却的方式对炉盖进行冷却;由于目前的冷却方式只对炉盖外壁进行冷却,因此冷却效果并不理想。
技术实现思路
[0003]为了解决上述问题,提供了一种炉盖冷却结构。
[0004]本技术通过以下技术方案来实现上述目的:
[0005]一种炉盖冷却结构,包括连接部与冷却部,连接部与炉体连接,冷却部的表面设有第一输入管与第二输入管,第一输入管与第二输入管的一端均插入至冷却部内部,冷却部的内部设有降温通道,降温通道的两端分别与第一输入管和第二输入管相连,降温通道内部滑动设有运行块,第一输入管或第二输入管向降温通道内部注入冷却水,冷却水推动运行块沿着降温通道的内部滑动,运行块与降温通道的内壁相接触,运行块清理降温通道内壁水垢。
[0006]作为本技术的进一步优化方案,降 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种炉盖冷却结构,其特征在于,包括连接部(1)与冷却部(2),连接部(1)与炉体连接,冷却部(2)的表面设有第一输入管(3)与第二输入管(4),第一输入管(3)与第二输入管(4)的一端均插入至冷却部(2)内部,冷却部(2)的内部设有降温通道(6),降温通道(6)的两端分别与第一输入管(3)和第二输入管(4)相连,降温通道(6)内部滑动设有运行块(7),第一输入管(3)或第二输入管(4)向降温通道(6)内部注入冷却水,冷却水推动运行块(7)沿着降温通道(6)的内部滑动,运行块(7)与降温通道(6)的内壁相接触,运行块(7)清理降温通道(6)内壁水垢。2.根据权利要求1所述的一种炉盖冷却结构,其特征在于:降温通道(6)呈螺旋形,降温通道(6)的中心线连接部(1)的中轴线共线。3.根据权利要求2所述的一种炉盖冷却结构,其特征在于:降温通道(6)的槽壁开设有两组引导轨道(61),两组引导轨道(61)平行设置,运行块(7)的两端设置有滑块(72),滑块(72)插入至引导轨道(61)内部,滑块(72)沿着引导轨道(61)滑动,带动运行块(7)在降温通道(6)内部滑动,清理降温通道(6)的壁面。4.根据权利要求3所述的一种炉...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈抗站,李艳辉,陈邦兴,裘林佳,韩琳娜,
申请(专利权)人:海盐特亿智能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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