下载加料系统、加料方法及晶体生长系统的技术资料

文档序号:37266578

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及单晶硅的制备技术领域,提供一种加料系统、加料方法及晶体生长系统,包括加料机、定位机构和移动装置,加料机包括料仓、输料管和输料管对接机构,输料管第一端与料仓出料口连接;定位机构设在单晶炉侧向加料口前方预设位置;移动装置将加料机移至预...
该专利属于三一硅能(株洲)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三一硅能(株洲)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。