复合涂层、掩膜版及其制作方法技术

本发明专利技术提出了复合涂层、掩膜版及其制作方法。所述复合涂层包括：氧化铝涂层，所述氧化铝涂层具有孔隙；特氟龙膜层，所述特氟龙膜层填充在所述氧化铝涂层的孔隙中。由此，该复合涂层具有良好的耐磨性、耐酸碱腐蚀性，在真空成膜条件下，该复合涂层具有较好的耐刮伤、压伤和静电击伤的性能，并且，将该复合涂层应用于掩膜版，可以延长掩膜版的使用寿命。可以延长掩膜版的使用寿命。可以延长掩膜版的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
复合涂层、掩膜版及其制作方法


[0001]本专利技术涉及涂层
，具体的，涉及复合涂层、掩膜版及其制作方法。

技术介绍

[0002]真空成膜环境下，掩膜版通常需要具有较好的耐刮伤、耐压伤、耐静电击伤的性能，还需要具有较好的耐磨性、耐酸碱腐蚀性。然而，目前的保护涂层很难同时满足上述要求。
[0003]因此，目前的掩膜版涂层、掩膜版及其制作方法仍有待改进。

技术实现思路

[0004]本专利技术是基于专利技术人对以下事实和问题的发现和认识做出的：
[0005]现有的真空成膜掩膜版保护涂层一般有特氟龙涂层、氧化铝涂层和其它新材料涂层(比如PBI工程塑料涂层，即聚苯并咪唑涂层)等。
[0006]专利技术人发现，特氟龙涂层制作方法较简单、制作成本较低、硬度较低，特氟龙涂层可以抗刮伤、压伤和静电击伤，但是其物理抗性较差，不耐磨，在等离子体环境下使用寿命较短；氧化铝涂层物理性能较好，硬度高、耐磨，使用寿命较特氟龙涂层有明显优势，但氧化铝涂层主要通过溅射的方法制作成膜，膜层厚度为1.5μm～3.5μm，溅射设备成本较高本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复合涂层，其特征在于，包括：氧化铝涂层，所述氧化铝涂层具有孔隙；特氟龙膜层，所述特氟龙膜层填充在所述氧化铝涂层的孔隙中。2.根据权利要求1所述的复合涂层，其特征在于，所述氧化铝涂层包括环氧树脂和氧化铝。3.根据权利要求2所述的复合涂层，其特征在于，所述氧化铝的粒径为1μm～10μm。4.根据权利要求2所述的复合涂层，其特征在于，基于所述氧化铝涂层的总质量，所述氧化铝的质量含量为60wt％～65wt％。5.根据权利要求1所述的复合涂层，其特征在于，所述复合涂层的厚度为30μm～100μm。6.一种掩膜版，其特征在于，包括：基体；底涂层，所述底涂层设置在所述基体的至少部分表面上；权利要求1～5中任一项所述的复合涂层，所述复合涂层设置在所述底涂层远离所述基体的至少部分表面上。7.一种制作权利要求6所述的掩膜版的方法，其特征在于，包括：提供基体；在所述基体的至少部分表面上形成底涂层；在所述底涂层远离所述基体的至少部分表面上形成复合涂层。8.根据权利要求7所...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘晟恺，乔永康，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：