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本发明提出了复合涂层、掩膜版及其制作方法。所述复合涂层包括：氧化铝涂层，所述氧化铝涂层具有孔隙；特氟龙膜层，所述特氟龙膜层填充在所述氧化铝涂层的孔隙中。由此，该复合涂层具有良好的耐磨性、耐酸碱腐蚀性，在真空成膜条件下，该复合涂层具有较好的耐...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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