【技术实现步骤摘要】
一种用于金属蒸发的下喷口蒸发装置及其提纯方法
[0001]本专利技术属于金属蒸发的
，特别是一种用于金属蒸发的下喷口蒸发装置及其提纯方法。
技术介绍
[0002]金属在真空环境蒸发提纯是现在一种比较常见的提纯办法，传统蒸发提纯采用的是一种上喷口蒸发模式。上喷口模式会在长时间蒸发过程中产生产品脱落现象从而影响产品质量。而下喷口模式则避免了产品脱落现象的同时还可以通过多区域温控蒸发达到提高产品纯度的目的。
[0003]通过上述分析，现有技术存在的问题及缺陷为：常用蒸发装置采用上喷口蒸发模式，在长时间蒸发过程中收集板上蒸镀的物料会在重力的作用下产生脱落，造成产量的降低。同时常见的蒸发装置缺乏束型结构，从上喷口蒸出的原子发散角较大，原子易蒸镀到收集板以外的结构上。
[0004]解决上述技术问题的意义在于：将蒸发装置的喷口改为下喷口，收集板处于喷口下方，避免了收集板上的产品在重力作用下脱落造成物料损失这一问题，大幅度提升了产量，也提高了蒸发装置长时间运行的稳定性。同时在蒸发结构中增加准直喷口、狭缝板等束型结构，可...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于金属蒸发的下喷口蒸发装置，其特征在于：包括底板，所述底板的两侧安装有支撑柱，所述支撑柱由下至上依次安装有收集板和蒸发机构，所述蒸发机构内设有加热单元。2.根据权利要求1所述的一种用于金属蒸发的下喷口蒸发装置，其特征在于：所述蒸发机构包括安装在所述支撑柱上的狭缝板，所述狭缝板的上方安装有坩埚，所述坩埚的底部设有准直喷口，所述坩埚的顶部安装有坩埚盖；所述坩埚和所述坩埚盖均为中空结构，内部设有加热单元。3.根据权利要求2所述的一种用于金属蒸发的下喷口蒸发装置，其特征在于：所述坩埚的底部由2个“L”形部相背形成，2个所述“L”形部之间形成准直喷口。4.根据权利要求3所述的一种用于金属蒸发的下喷口蒸发装置，其特征在于：所述准直喷口的下端竖直安装有蜂窝板。5.根据权利要求4所述的一种用于金属蒸发的下喷口蒸发装置，其特征在于：所述加热单元由均匀分布的电阻加热丝构成。6.根据权利要求5所述的一种用于金属蒸发的下喷口蒸发装置，其特征在于：所述狭缝板的中部形成有宽缝，所述宽缝与所...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨佳琦，金策，刘涛，王晓鹏，刘加东，
申请(专利权)人：核工业理化工程研究院，
类型：发明
国别省市：
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