一种分气管路结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种分气管路结构，包括用于盛放物料的腔体，腔体的侧部连通安装有转接的机加块，以及用于供给腐蚀性气体的母管，腔体的侧部开设有第一安装孔，机加块的侧部开设有与第一安装孔配合的第二安装孔，腔体的侧壁开设有第一通孔，第二安装孔的孔径大于第一安装孔的孔径，母管的下部连通安装有用于分气的折弯支管；机加块的中部开设有喇叭孔，以及与喇叭孔小孔径端连接的第二通孔；喇叭孔的大孔径端与第一通孔连通，喇叭孔大孔径端的直径大于第一通孔的孔径。本实用新型专利技术，通过将第二安装孔的孔径设置为大于第一安装孔的孔径，并在机加块的中部设置喇叭孔的形式，即可调整机加块的安装部位，改善因公差导致的安装困难。改善因公差导致的安装困难。改善因公差导致的安装困难。

【技术实现步骤摘要】
一种分气管路结构


[0001]本技术涉及半导体加工
，具体涉及一种分气管路结构。

技术介绍

[0002]目前，对于非腐蚀性气体的分气，如图7，主要包括母管3，与母管连接的若干支管，设置在支管中部的波纹管5，与各波纹管5连接的机加块2，以及与各机加块2连通的腔体1，利用波纹管5作为支管的转接结构，有效利用了波纹管5的可伸缩性，实现多个方向的等距连接，并方便与机加块。
[0003]在半导体加工过程中，一般需要进行腐蚀蚀刻处理，其分气是对超高纯腐蚀性气体进行分气。波纹管的内部难以进行电化学抛光钝化处理，容易导致腐蚀气体残留，且由于腔体需要进行开盖维护，残留气体与空气中的湿气接触形成强酸，会对波纹管产生腐蚀。另外，腐蚀会产生金属粒子，影响腐蚀性气体的纯度。但是，若是取消波纹管，在加工时存在公差，容易导致支管与机加块对接困难。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种分气管路结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种分气管路结构，包括用于盛放物料的腔体，所述腔体的侧部连通安装有转接的机加块，以及用于供给腐蚀性气体的母管，所述腔体的侧部开设有第一安装孔，所述机加块的侧部开设有与所述第一安装孔配合的第二安装孔，所述腔体的侧壁开设有第一通孔，所述第二安装孔的孔径大于所述第一安装孔的孔径，所述母管的下部连通安装有用于分气的折弯支管；所述机加块的中部开设有喇叭孔，以及与所述喇叭孔小孔径端连接的第二通孔；所述喇叭孔的大孔径端与所述第一通孔连通，所述喇叭孔大孔径端的直径大于所述第一通孔的孔径，所述第二通孔与所述折弯支管相连通。
[0006]在本技术的一种实施例中，所述腔体的侧部开设有与所述折弯支管配合的缺口，所述腔体的中部开设有放置物料的容腔。
[0007]在本技术的一种实施例中，所述折弯支管包括第一管体和第二管体，所述第一管体通过三通管与所述母管相连，所述第二管体通过弯管与所述第一管体相连，所述第二管体与所述第二通孔相连通。
[0008]在本技术的一种实施例中，所述第二管体的外周套设有与所述第二通孔配合的密封套。
[0009]在本技术的一种实施例中，所述第一管体和所述第二管体均由洁净无缝钢管制成。
[0010]在本技术的一种实施例中，所述喇叭孔与所述第二通孔之间设置有限流孔，所述限流孔的孔径小于所述第二通孔的孔径。
[0011]综上所述，由于采用了上述技术，本技术的有益效果是：
[0012]本技术中，通过将第二安装孔的孔径设置为大于第一安装孔的孔径，可调整机加块的安装位置，并在机加块的中部设置喇叭孔的形式，喇叭孔与第一通孔可确保有效的对接，即可通过调整机加块的安装部位，改善因公差导致安装困难的问题。
附图说明
[0013]图1为本技术的轴测示意图；
[0014]图2为本技术的俯视示意图；
[0015]图3为本技术的腔体部分结构示意图；
[0016]图4为本技术的折弯支管部分结构示意图；
[0017]图5为本技术的机加块部分结构示意图；
[0018]图6为本技术的图2中A
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A处剖面示意图；
[0019]图7为现有技术示意图。
[0020]图中：1、腔体；11、第一安装孔；12、第一通孔；13、缺口；14、容腔；2、机加块；21、第二安装孔；22、喇叭孔；23、第二通孔；24、限流孔；25、槽孔；3、母管；4、折弯支管；41、第一管体；42、第二管体；43、三通管；44、弯管；5、波纹管。
具体实施方式
[0021]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
[0022]在本技术的描述中，需要理解的是，指示方位或位置关系的术语为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0023]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据说明书具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]实施例1
[0025]请参阅图1
‑
图6，本技术提供了一种分气管路结构，包括用于盛放物料的腔体1，腔体1的侧部连通安装有转接的机加块2，以及用于供给腐蚀性气体的母管3。
[0026]在腔体1的侧部开设有第一安装孔11，机加块2的侧部开设有与第一安装孔11配合
的第二安装孔21，腔体1的侧壁开设有第一通孔12，第二安装孔21的孔径大于第一安装孔11的孔径，第一安装孔11和第二安装孔21可根据需求进行设置，可采用销孔或螺栓孔等形式；在实际设置时，第二安装孔21的孔径不宜大于第一安装孔11的孔径过大，一般第二安装孔21的孔径在第一安装孔11孔径的1.5倍到10倍之间。
[0027]母管3的下部连通安装有用于分气的折弯支管4，折弯支管4设置有两个，折弯支管4绕着腔体1的侧壁布设，为了缩短路径，在腔体1的侧部开设有与折弯支管4配合的缺口13，腔体1的中部开设有放置物料的容腔14，容腔14呈圆柱体形设置，便于对物料进行放置。
[0028]机加块2的中部开设有喇叭孔22，以及与喇叭孔22小孔径端连接的第二通孔23；喇叭孔22的大孔径端与第一通孔12连通，喇叭孔22大孔径端的直径大于第一通孔12的孔径，第二通孔23与折弯支管4向连通。
[0029]应当理解的是，在同一个腔体1上可以根据需求，设置多个母管3供气的分气结构，每个母管3供给两个折弯支管4，且两个折弯支管4所适配的第一通孔12相对于腔体1中心呈中心对称设置。
[0030]请参阅图1、图2和图4，折弯支管4包括第一管体41和第二管体42，第一管体41和第二管体42均由洁净无缝钢管制成，可在其内进行电化学处理，形成光滑耐腐的钝化层，钝化层的材质根据所需通过的腐蚀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分气管路结构，包括用于盛放物料的腔体(1)，所述腔体(1)的侧部连通安装有转接的机加块(2)，以及用于供给腐蚀性气体的母管(3)，所述腔体(1)的侧部开设有第一安装孔(11)，所述机加块(2)的侧部开设有与所述第一安装孔(11)配合的第二安装孔(21)，所述腔体(1)的侧壁开设有第一通孔(12)，其特征在于，所述第二安装孔(21)的孔径大于所述第一安装孔(11)的孔径，所述母管(3)的下部连通安装有用于分气的折弯支管(4)；所述机加块(2)的中部开设有喇叭孔(22)，以及与所述喇叭孔(22)小孔径端连接的第二通孔(23)；所述喇叭孔(22)的大孔径端与所述第一通孔(12)连通，所述喇叭孔(22)大孔径端的直径大于所述第一通孔(12)的孔径，所述第二通孔(23)与所述折弯支管(4)向连通。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：魏强，张垚，
申请(专利权)人：镇江微笙科技有限公司，
类型：新型
国别省市：