电磁阀固定支架及其装配结构和应用的集成式气路制造技术

本实用新型专利技术公开了一种电磁阀固定支架，包括：至少两个支架组件；所述支架组件包括下夹持片，所述下夹持片为圆弧形结构；以及通过连接片设置于所述下夹持片顶部的上夹持片；两组所述支架组件相对设置，使两个所述下夹持片之间形成下紧固通道，使两个所述上夹持片之间形成上紧固通道；上紧固通道用于固定电磁阀，下紧固通道用于固定气动隔膜阀，从而将电磁阀与气动隔膜阀之间的距离大幅缩短，从而减小了用来连接两者的软管的长度，减少了时间差，提高了精度。同时还公开了使用该电磁固定支架的装配结构和集成式气路。配结构和集成式气路。配结构和集成式气路。

【技术实现步骤摘要】
电磁阀固定支架及其装配结构和应用的集成式气路


[0001]本技术涉及电磁阀固定支架及其装配结构和应用的集成式气路，广泛运用于气路控制领域。

技术介绍

[0002]集成式气路系统具体非常紧凑的气路结构，需要在很小的空间里安装下各种气路器件，其中阀门是数量最多的一种器件。
[0003]随着半导体工艺的发展，线宽越来越窄，对气体的快速切换的要求越来越高。为此高频的气动隔膜阀应运而生，其特性是可以在20Hz的频率下开关，但因为半导体对安全要求很高，所以高频的气动隔膜阀都是CDA驱动开关的，而这里—定会用到电磁阀，由于集成式气路系统的结构太紧凑了，一般电磁阀没办法直接安装在高频的气动隔膜阀的旁边。目前的一般做法是将电磁阀放在远端，通过4mm或1/8"的软管连到高频的气动隔膜阀上驱动其开闭。
[0004]但是，这里使用的软管—般都需要1
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2m或者更长，这样会导致气体在软管上传输需要花掉时间，就会导致高频的气动隔膜阀的实际开关频率远远低于20Hz。从而无法达到集成式气路系统对快速切换和精确性的要求。r/>
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电磁阀固定支架，其特征在于，包括：两组支架组件(1)；所述支架组件(1)包括下夹持片(101)，所述下夹持片(101)为圆弧形结构；以及通过连接片(102)设置于所述下夹持片(101)顶部的上夹持片(103)；两组所述支架组件(1)相对设置，使两个所述下夹持片(101)之间形成下紧固通道(105)，使两个所述上夹持片(103)之间形成上紧固通道(106)。2.如权利要求1所述的电磁阀固定支架，其特征在于，所述上夹持片(103)上设有安装孔(104)，所述安装孔(104)设置在上夹持片的底部。3.如权利要求2所述的电磁阀固定支架，其特征在于，所述下夹持片(101)、连接片(102)和上夹持片(103)为一体成型结构。4.如权利要求2所述的电磁阀固定支架，其特征在于，所述下夹持片(101)、连接片(102)和上夹持片(103)通过焊接成型。5.如权利要求3或4所述的电磁阀固定支架，其特征在于，所述下夹持片(101)的弧度大于π/2且小于...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏强，葛华平，曲辰，林嵘，赵宇钧，
申请(专利权)人：镇江微笙科技有限公司，
类型：新型
国别省市：