一种具有气体泄漏报警的气路柜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有气体泄漏报警的气路柜，包括气路柜柜门和气路柜柜体，所述气路柜柜门安装连接在气路柜柜体的前端两侧位置上，本实用新型专利技术中，通过将泄漏报警组件安装在气路柜柜体的内侧右端，可对内部可燃气体进行检测，防止泄露的发生，转动报警器控制器，使报警器控制器底端的螺纹连接短管旋转连接在气路柜柜体的内侧右端位置上，使用过程中，通过可燃气体检测仪可实时检测气路柜柜体内部可燃气体的浓度，当检测气路柜柜体内部的可燃气体浓度高于额定值时，可燃气体检测仪便会将数据传输至报警器控制器，报警器控制器便会控制蜂鸣报警器发出声音和闪烁的灯光，用于提醒在场人员及时检修，提高气路柜柜体的使用安全性。全性。全性。

【技术实现步骤摘要】
一种具有气体泄漏报警的气路柜


[0001]本技术涉及气路柜
，具体涉及一种具有气体泄漏报警的气路柜。

技术介绍

[0002]在半导体设备中，进入反应室的气体有多种，为了分别控制各种气体的具体的流量，需要把这些气体分开用管道分开，各自依照工艺参数的要求进行控制流量的大小，在统一有一个阀门进入反应室。这样为了集中管理气体，而把这些气体集中放到一个气路柜内进行分别控制。
[0003]现有的气体管道气路柜，其内部没有设置气体的检测报警装置，并且在与外部气源管路连接时，连接处没有设置固定装置，从而长久使用后，连接处会出现松动，严重的会导致内部气体泄漏的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种具有气体泄漏报警的气路柜，以解决上述
技术介绍
中提出现有的气体管道气路柜，其内部没有设置气体的检测报警装置，并且在与外部气源管路连接时，连接处没有设置固定装置，从而长久使用后，连接处会出现松动，严重的会导致内部气体泄漏的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有气体泄漏报警的气路柜，包括气路柜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有气体泄漏报警的气路柜，包括气路柜柜门(7)和气路柜柜体(8)，其特征在于：所述气路柜柜门(7)安装连接在气路柜柜体(8)的前端两侧位置上，所述气路柜柜门(7)的上端两侧设置有检修组件(6)，所述检修组件(6)和气路柜柜门(7)的连接处两侧设置有连接合页(5)，所述气路柜柜门(7)的顶端位于气路柜柜体(8)上设置有操控面板(4)，所述气路柜柜门(7)的下端两侧设置有透气孔(9)，所述气路柜柜体(8)的底端四周拐角处设置有气路柜支撑腿(10)，所述气路柜柜体(8)的内侧右端设置有气路柜气源连接头(1)，所述气路柜气源连接头(1)的外侧一周位于气路柜柜体(8)上设置有气源头固定组件(2)，所述气源头固定组件(2)的上端位于气路柜柜体(8)上设置有泄漏报警组件(3)。2.根据权利要求1所述的一种具有气体泄漏报警的气路柜，其特征在于：所述泄漏报警组件(3)包括螺纹连接短管(31)、蜂鸣报警器(32)、报警器控制器(33)和可燃气体检测仪(34)，所述报警器控制器(33)内侧上端设置有蜂鸣报警器(32)，所述报警器控制器(33)底端设置有螺纹连接短管(31)，所述螺纹连接短管(31)内侧底端设置有可燃气体检测仪(34)，所述报警器控制器(33)通过螺纹连接短管(31)连接在气路柜柜体(8)上。3.根据权利要求1所述的一种具有气体泄漏报警的气路柜，其特征在于：所述气源头固定组件(2)包括下U型固定弯板(21)、上U型固定弯板(22)...

【专利技术属性】
技术研发人员：马跃，葛华平，李百川，
申请(专利权)人：镇江微笙科技有限公司，
类型：新型
国别省市：