【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】纳秒脉冲发生器脉冲生成
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求题为“NANOSECOND PULSER SYSTEM”的2018年7月27日提交的美国临时专利申请No.62/711,464的优先权，其通过其完整引用合并于此。
[0003]本申请要求题为“NANOSECOND PULSER THERMAL MANAGEMENT”的2018年7月28日提交的美国临时专利申请No.62/711,334的优先权，其通过其完整引用合并于此。
[0004]本申请要求题为“NANOSECOND PULSER PULSE GENERATION”的2018年7月27日提交的美国临时专利申请No.62/711,457的优先权，其通过其完整引用合并于此。
[0005]本申请要求题为“NANOSECOND PULSER ADC SYSTEM”的2018年7月27日提交的美国临时专利申请No.62/711,347的优先权，其通过其完整引用合并于此。
[0006]本申请要求题为“EDGE RING POWER SYSTEM”的20...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种高电压脉冲发生电源，包括：高电压脉冲发生器，所述高电压脉冲发生器的输出提供脉冲，所述脉冲具有大于大约1kV的幅度、小于大约1μs的脉冲宽度和大于大约20kHz的脉冲重复频率；等离子体腔室；和在所述等离子体腔室内的电极，所述电极与所述高电压脉冲发生器的所述输出电耦合，以在所述等离子体腔室内产生电场。2.如权利要求1所述的高电压脉冲发生电源，其中，所述高电压脉冲发生器的输出与所述电极处之间的电感小于大约10μH。3.如权利要求1所述的高电压脉冲发生电源，其中，所述高电压脉冲发生器的所述输出与大地之间的电容小于大约10nF。4.如权利要求1所述的高电压脉冲发生电源，还包括控制模块，其测量输出脉冲的电压。5.如权利要求1所述的高电压脉冲发生电源，还包括：偏置电容器，其部署在所述高电压脉冲发生器与所述电极之间；和偏置补偿电源，其与所述高电压脉冲发生器和所述电极电耦合，所述偏置补偿电源产生跨越所述偏置电容器的电压。6.如权利要求1所述的高电压脉冲发生电源，还包括电阻输出级，其与所述高电压脉冲发生器和所述电极电耦合，所述电阻输出级以快速时间标度从负载移除电荷。7.如权利要求6所述的高电压脉冲发生电源，其中，所述电阻输出级包括按串联布置的电感器和电容器，其中，所述电感器具有小于大约200μH的电感。8.如权利要求1所述的高电压脉冲发生电源，还包括电阻输出级，其与所述高电压脉冲发生器和所述电极电耦合，所述电阻输出级以快速时间标度从负载移除电荷。9.如权利要求1所述的高电压脉冲发生电源，还包括控制模块，其与所述高电压脉冲发生器电耦合，所述控制模块产生控制所述输出脉冲的所述脉冲宽度和所述脉冲重复频率的低电压信号。10.如权利要求1所述的高电压脉冲发生电源，还包括：第二高电压脉冲发生器，其具有提供具有大于大约1kV的幅度、小于大约1μs的脉冲宽度和大于大约20kHz的脉冲重复频率的脉冲的输出；和第二电极，其部署在所述等离子体腔室内，所述第二电极与所述第二高电压脉冲发生器的所述输出电耦合，以在所述第二电极附近在所述等离子体腔室内产生脉冲发生电场。11.如权利要求10所述的高电压脉冲发生电源，其中，来自所述高电压脉冲发生器的脉冲和来自所述第二高电压脉冲发生器的脉冲在电压、脉冲宽度和脉冲重复频率中的至少一个方面不同。12.如权利要求1所述的高电压脉冲发生电源，还包括热管理子系统，其包括一个或多个开关冷却板和一个或多个变压器芯冷却板，其中，所述高电压脉冲发生器包括：多个开关，其与所述一个或多个开关冷却板耦合；和变压器，其与所述一个或多个变压器芯冷却板耦合。13.如权利要求12所述的高电压脉冲发生电源，其中，所述热管理子系统包括流体，其流过所述开关冷却板和所述芯冷却板。
14.如权利要求1所述的高电压脉冲发生电源，还包括：外壳，其具有小于1m3的体积维度，其中，所述高电压脉冲发生器被部署在所述外壳内；以及以下中的至少三个被部署在所述外壳内：热管理系统、控制系统、偏置电容器、偏置补偿电源、第二纳秒脉冲发生器、...
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