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纳秒脉冲发生器脉冲生成制造技术
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文档序号:37245979
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一些实施例包括一种高电压脉冲发生电源。所述高电压脉冲发生电源可以包括:高电压脉冲发生器,其具有提供具有大于大约1kV的幅度、小于大约1μs的脉冲宽度和大于大约20kHz的脉冲重复频率的脉冲的输出;等离子体腔室;和电极,其被部署在所述等离子体...
该专利属于鹰港科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过鹰港科技有限公司授权不得商用。
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