涡轮分子帮浦及其一体成型式转子元件制造技术

本发明专利技术涉及一种一体成型式转子元件，该一体成型式转子元件包含转子座以及多个转子叶片。转子座的顶部上未具有凹陷，多个转子叶片连接于转子座且呈间隔排列。本发明专利技术所提供的一体成型式转子元件，因转子座的顶部上并无任何外露的凹陷形成，于是可防止半导体制程中的制程物堆积，避免造成真空腔体内的污染及涡轮分子帮浦产生问题。子帮浦产生问题。子帮浦产生问题。

【技术实现步骤摘要】
涡轮分子帮浦及其一体成型式转子元件


[0001]本专利技术涉及一种真空帮浦及其转子元件，更特别涉及一种可防止制程物堆积的涡轮分子帮浦及其一体成型式转子元件。

技术介绍

[0002]目前主要的半导体制程例如离子布植、炉管、薄膜溅镀、电浆蚀刻、化学机械研磨等，都需要在高真空中的真空腔体内进行。因此，真空腔体的真空环境是影响制程良率的关键因素之一，而洁净稳定的真空环境有助于提高制程良率。涡轮分子帮浦作为真空系统的心脏，是利用转子相对于定子进行高速旋转，将气体排出真空腔体而产生高真空环境。
[0003]现有涡轮分子帮浦的转子结构可分为组装式及一体成型式两种，其中一体成型式的转子在转子顶部都会设有凹槽，以便于加工，且凹槽也可作为锁接转轴的锁接室及配置用于动平衡校正的修正部件。
[0004]然而，一些半导体制程中会生成微粒状的制程反应物，当涡轮分子泵抽取真空腔室内的气体时，一并将微粒吸入涡轮分子泵内，这些微粒容易堆积在转子顶部的凹槽内而无法顺利排出。当真空腔体内的压力发生变化时，这些堆积在凹槽内的微粒会随着不稳定的气流飞扬移动而回到真空腔体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涡轮分子帮浦的一体成型式转子元件，其特征在于，包含：转子座，所述转子座的顶部上未具有凹陷；以及多个转子叶片，连接于所述转子座且呈间隔排列。2.根据权利要求1所述的一体成型式转子元件，其特征在于，所述转子座包含第一座体及第二座体，所述第一座体在所述第二座体上方，所述第一座体的下部形成上凹部，用以和转轴连接。3.根据权利要求2所述的一体成型式转子元件，其特征在于，所述第一座体的所述上凹部内形成有多个螺栓孔，用以让固定所述转轴的螺栓能够锁入而将所述转轴锁固在所述转子座上。4.根据权利要求3所述的一体成型式转子元件，其特征在于，所述第一座体的所述上凹部中央形成凸块，所述转轴的顶部具有凹槽，所述凹槽的形状与所述凸块的形状相互匹配。5.根据权利要求1
‑
4中任一项所述的一体成型式转子元件，其特征在于，所述转子座的顶端为圆型平台，所述圆形平台的表面未具有凹陷。6.根据权利要求1
‑
4中任一项所述的一体成型式转子元件，其特征在于，所述转子座的顶端的中心处为最高，并朝外侧逐渐降低。7.一种涡轮分子帮浦，其特征在于，包含：壳体，具有容置空间及进气端；转子元件，设置于所述容置空间，所述转子元件为一体成型式转子元件，包含转子座及多个转子叶片，所述转子座的顶部邻...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐国勋，戴伟城，
申请(专利权)人：致扬科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：