【技术实现步骤摘要】
一种可调式分子泵
[0001]本技术涉及分子泵领域,特别涉及一种可调式分子泵。
技术介绍
[0002]分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
[0003]分子泵中的筒式牵引级是在圆筒形的转子或定子的圆柱面上开一定断面形状的沟槽,如矩形、圆弧形、三角形及其它形状的多头螺旋槽。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上,因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递,提高泵的抽气效果。在设计制造中,可以通过改变螺旋沟槽通道与抽气方向之间的夹角,来达到较理想的抽气效果。
[0004]现有的分子泵在使用时,分子泵进气口配备滤网,可有效防止靶室内的异物落入分子泵内,由于滤网的长时间使用,滤网的表面将沾附上大量的杂质,杂质堆积会影响过滤的效果,且滤网一般都固定安装在进气口中,安装拆卸的过程较为繁琐,会给工作人员的工作带来较大的难度,且工作人员无法及时的知道滤网的情况,针对这一问题,我们提出了一种可调式分子泵。
技 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可调式分子泵,包括分子泵进气口(1),所述分子泵进气口(1)内设置有滤网(2),其特征在于:所述分子泵进气口(1)设置有控制组件(3)、误触组件(4)和从动组件(5),所述控制组件(3)包括:固定块(31),所述固定块(31)的表面与弹簧一(34)的一端固定连接,所述弹簧一(34)的另一端固定安装在分子泵进气口(1)的内壁上,所述固定块(31)的表面开设有心型槽(32);活动杆(33),所述活动杆(33)的一端与分子泵进气口(1)的内壁铰接,所述活动杆(33)的另一端与心型槽(32)滑动连接;环形滑槽柱(36),所述环形滑槽柱(36)与分子泵进气口(1)转动连接,所述环形滑槽柱(36)的表面开设有滑槽,所述环形滑槽柱(36)表面的滑槽与滑杆(35)滑动连接,所述滑杆(35)固定安装在固定块(31)的表面上;拉绳(37),所述拉绳(37)的一端与环形滑槽柱(36)固定连接,所述拉绳(37)的另一端通过导向轮固定安装在竖杆(38)的表面上,所述竖杆(38)的表面与弹簧二(39)的一端固定连接,所述弹簧二(39)的另一端固定安装在分子泵进气口(1)的内壁上。2.如权利要求1所述的一种可调式分子泵,其特征在于:所述滤网(2)的顶部与横杆(21)固定连接,所述滤网(2)的底部与支杆(22)固定连接,所述支杆(22)的表面卡设有卡槽(23)。3.如权利要求1所述的一种可调式分子泵,其特征在于:所述误触组件(4)包括:T...
【专利技术属性】
技术研发人员:李魏,付聪,张帆,
申请(专利权)人:四川拓景科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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