用于实现氮化镓制备场景下的设备组合分析方法及系统技术方案

本发明专利技术涉及氮化镓制备技术领域，揭露了一种用于实现氮化镓制备场景下的设备组合分析方法及系统，该方法包括：获取氮化镓在目标制备场景下的初始设备组合方法，查找初始设备组合生成的氮化镓之别制备数据，提取氮化镓制备数据中预设制备指标的指标数据，并计算每个指标数据的指标权重；根据指标数据及对应的指标权重查找与初始设备组合方法之间相近的设备组合实例集；计算设备组合实例集中实例指标数据与指标数据之间的数据差异，根据数据差异生成优化设备组合方法；初始化氮化镓制备约束条件，根据所述约束条件对优化设备组合方法进行优化，得到目标制备场景下的最优设备组合方法。本发明专利技术可以提高氮化镓制备场景下的氮化镓生产性能。生产性能。生产性能。

【技术实现步骤摘要】
用于实现氮化镓制备场景下的设备组合分析方法及系统


[0001]本专利技术涉及氮化镓制备
，尤其涉及一种用于实现氮化镓制备场景下的设备组合分析方法及系统。

技术介绍

[0002]从上世纪50年代始，随着锗、硅材料作为第一代半导体材料的出现，以集成电路为核心的微电子工业开始逐渐发展起来，锗、硅材料等材料被广泛应用于集成电路中。随着时代的发展，21世纪初，氮化镓等具有宽禁带的第三代半导体材料的出现，给当代的信息技术提供了更高的台阶。氮化镓的禁带宽度很大，可以达到3.39eV，具有较大的电子漂移速度、高导热率、耐电高压、耐高温、抗腐蚀、高临界击穿电场以及高饱和飘逸速度等优点，使得氮化镓的化学性质非常稳定，利用氮化镓制造的材料具有耐高温、抗腐蚀以及高硬度等优越的性能，使氮化镓半导体材料成为了世界各国科学家研究的热点。
[0003]现有的氮化镓材料包括氮化镓薄膜以及纳米氮化镓等，由于氮化镓的熔点以及饱和蒸汽压较高，在自然界无法以单晶形式存在，用一般的体单晶生成方法制备薄膜也相当困难。金属有机物气象沉积法是主要的制备氮化镓薄膜的方法，金属有机物气象沉积法参量大，制备周期短，但制备完毕后需要进行退火处理，导致制备得到的氮化镓薄膜会存在裂纹，使得制备出的氮化镓薄膜质量较差，因此，氮化镓作为第三代半导体材料已经广泛应用于各种电子元件中，但如何在现有的氮化镓制备场景下对氮化镓的制备设备组合进行分析，以提高氮化镓制备过程中的生产性能，成为亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种用于实现氮化镓制备场景下的设备组合分析方法及系统，其主要目的在于氮化镓制备场景下生产性能较低的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供的一种用于实现氮化镓制备场景下的设备组合分析方法，包括：获取氮化镓在目标制备场景下的初始设备组合方法，在预设的氮化镓制备数据库中查找所述初始设备组合方法生成的氮化镓制备数据；提取所述氮化镓制备数据中预设制备指标的指标数据，并计算每个所述指标数据对应的指标权重；根据所述指标数据及所述指标数据对应的指标权重在预设的氮化镓制备实例库中查找与所述初始设备组合方法之间相近的设备组合实例集；计算所述设备组合实例集中所述制备指标的实例指标数据与所述指标数据之间的数据差异，根据所述数据差异生成优化设备组合方法；初始化所述目标制备场景下的氮化镓制备约束条件，根据所述氮化镓制备约束条件对所述优化设备组合方法进行优化，得到所述目标制备场景下的最优设备组合方法。
[0006]可选地，所述提取所述氮化镓制备数据中预设制备指标的指标数据，包括：
根据所述氮化镓制备数据的数据属性生成属性数据集，并获取所述制备指标的指标属性；利用所述指标属性从所述属性数据集中提取所述制备指标对应的指标数据。
[0007]可选地，所述计算每个所述指标数据对应的指标权重，包括：根据所述指标数据的指标属性将所述指标数据划分为正向指标数据及负向指标数据；分别对所述正向指标数据及所述负向指标数据进行归一化处理，得到标准指标数据；计算所述标准指标数据的信息熵，根据所述信息熵计算每个所述指标数据对应的指标权重。
[0008]可选地，所述分别对所述正向指标数据及所述负向指标数据进行归一化处理，得到标准指标数据，包括：利用如下公式分别对所述正向指标数据及所述负向指标数据进行归一化处理：利用如下公式分别对所述正向指标数据及所述负向指标数据进行归一化处理：其中，表示第个正向指标对应的标准指标数据，表示第个正向指标的对应的正向指标数据，表示第个正向指标对应的正向指标数据最大值，表示第个正向指标对应的标准指标数据最小值，表示第个负向指标对应的标准指标数据，表示第个负向指标的对应的负向指标数据，表示第个负向指标对应的负向指标数据最大值，表示第个负向指标对应的标准指标数据最小值。
[0009]可选地，所述根据所述信息熵计算每个所述指标数据对应的指标权重，包括：利用如下公式计算每个所述指标数据对应的指标权重：其中，表示第个指标数据对应的指标权重，表示第个指标数据的信息熵，表示所述指标数据所包含的制备指标的总数。
[0010]可选地，所述根据所述指标数据及所述指标数据对应的指标权重在预设的氮化镓制备实例库中查找与所述初始设备组合方法之间相近的设备组合实例集，包括：在所述氮化镓制备实例库中查找所述指标数据对应的实例指标数据，并计算所述实例指标数据与所述指标数据之间的指标数据相似度；利用如下公式计算所述实例指标数据与所述指标数据之间的指标数据相似度：其中，表示指标数据相似度，表示所述实例指标数据，表示所述指标数据；
根据所述指标数据相似度及所述指标数据对应的指标权重计算所述初始设备组合与所述氮化镓制备实例库中每个氮化镓制备实例之间的制备相似度；利用如下公式计算所述初始设备组合与所述氮化镓制备实例库中每个氮化镓制备实例之间的制备相似度：其中，表示所述指标数据与第个氮化镓制备实例之间的制备相似度，表示所述指标数据对应的指标权重，表示第个氮化镓制备实例的实例指标数据与所述指标数据之间的指标数据相似度，表示所述氮化镓制备实例库中氮化镓制备实例的总数；根据所述制备相似度从所述氮化镓制备实例库中选取预设数量的氮化镓制备实例集；提取所述氮化镓制备实例集中每个氮化镓制备实例的设备组合方法，得到设备组合实例集。
[0011]可选地，所述根据所述数据差异生成优化设备组合方法，包括：根据所述数据差异确定所述数据差异对应的制备指标的最优值；根据所述最优值从所述设备组合实例集中提取最优设备实例；计算所述最优设备实例之间的相关性，根据所述相关性对所述最优设备实例进行组合，得到优化设备组合方法。
[0012]可选地，所述根据所述相关性对所述最优设备实例进行组合，得到优化设备组合方法，包括：识别所述最优设备实例中的制备流程起点设备实例及制备流程终点设备实例；利用所述相关性、所述制备流程起点设备实例及所述制备流程终点设备实例确定每个所述最优设备实例的制备流程序列位置；根据所述制备流程序列位置生成所述最优设备实例对应的优化设备组合方法。
[0013]可选地，所述根据所述氮化镓制备约束条件对所述优化设备组合方法进行优化，得到所述目标制备场景下的最优设备组合方法，包括：提取所述约束条件中的约束规则及规则变量；根据所述规则变量将所述约束规则转化为规则表达式；将所述规则表达式与所述优化设备组合方法进行结合，得到最优设备组合方法。
[0014]为了解决上述问题，本专利技术还提供一种用于实现氮化镓制备场景下的设备组合分析系统，所述系统包括：氮化镓制备数据查找模块，用于获取氮化镓在目标制备场景下的初始设备组合方法，在预设的氮化镓制备数据库中查找所述初始设备组合方法生成的氮化镓制备数据；指标权重计算模块，用于提取所述氮化镓制备数据中预设制备指标的指标数据，并计算每个所述指标数据对应的指标权重；设备组合实例集查找模块，用于根据所述指标数据及所述指标数据对应的指标权重在预设的氮化镓制备实例库中查找与所述初始设备组合方法之间相近的设备组合实例
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于实现氮化镓制备场景下的设备组合分析方法，其特征在于，所述方法包括：获取氮化镓在目标制备场景下的初始设备组合方法，在预设的氮化镓制备数据库中查找所述初始设备组合方法生成的氮化镓制备数据；提取所述氮化镓制备数据中预设制备指标的指标数据，并计算每个所述指标数据对应的指标权重；根据所述指标数据及所述指标数据对应的指标权重在预设的氮化镓制备实例库中查找与所述初始设备组合方法之间相近的设备组合实例集；计算所述设备组合实例集中所述制备指标的实例指标数据与所述指标数据之间的数据差异，根据所述数据差异生成优化设备组合方法；初始化所述目标制备场景下的氮化镓制备约束条件，根据所述氮化镓制备约束条件对所述优化设备组合方法进行优化，得到所述目标制备场景下的最优设备组合方法。2.如权利要求1所述的用于实现氮化镓制备场景下的设备组合分析方法，其特征在于，所述提取所述氮化镓制备数据中预设制备指标的指标数据，包括：根据所述氮化镓制备数据的数据属性生成属性数据集，并获取所述制备指标的指标属性；利用所述指标属性从所述属性数据集中提取所述制备指标对应的指标数据。3.如权利要求1所述的用于实现氮化镓制备场景下的设备组合分析方法，其特征在于，所述计算每个所述指标数据对应的指标权重，包括：根据所述指标数据的指标属性将所述指标数据划分为正向指标数据及负向指标数据；分别对所述正向指标数据及所述负向指标数据进行归一化处理，得到标准指标数据；计算所述标准指标数据的信息熵，根据所述信息熵计算每个所述指标数据对应的指标权重。4.如权利要求3所述的用于实现氮化镓制备场景下的设备组合分析方法，其特征在于，所述分别对所述正向指标数据及所述负向指标数据进行归一化处理，得到标准指标数据，包括：利用如下公式分别对所述正向指标数据及所述负向指标数据进行归一化处理所述正向指标数据及所述负向指标数据进行归一化处理：向指标数据及所述负向指标数据进行归一化处理：其中，表示第个正向指标对应的标准指标数据，表示第个正向指标的对应的正向指标数据，表示第个正向指标对应的正向指标数据最大值，表示第个正向指标对应的标准指标数据最小值，表示第个负向指标对应的标准指标数据，表示第个负向指标的对应的负向指标数据，表示第个负向指标对应的负向指标数据最大值，表示第个负向指标对应的标准指标数据最小值。5.如权利要求3所述的用于实现氮化镓制备场景下的设备组合分析方法，其特征在于，
所述根据所述信息熵计算每个所述指标数据对应的指标权重，包括：利用如下公式计算每个所述指标数据对应的指标权重：其中，表示第个指标数据对应的指标权重，表示第个指标数据的信息熵，表示所述指标数据所包含的制备指标的总数。6.如权利要求1所述的用于实现氮化镓制备场景下的设备组合分析方法，其特征在于，所述根据所述指标数据及所述指标数据对应的指标权重在预设的氮化镓制备实例库中查找与所述初始设备组合方法之间相近的设备组合实例集，包括：在所述氮化镓制备实例库中查找所述指标数据对应的实例指标数据，并计算所述实例指标数据与所述指标数据之间的指标数据相似度；利用如下公式计算所述实例指标...

【专利技术属性】
技术研发人员：窦静，唐怀军，
申请(专利权)人：广东仁懋电子有限公司，
类型：发明
国别省市：