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本发明涉及氮化镓制备技术领域，揭露了一种用于实现氮化镓制备场景下的设备组合分析方法及系统，该方法包括：获取氮化镓在目标制备场景下的初始设备组合方法，查找初始设备组合生成的氮化镓之别制备数据，提取氮化镓制备数据中预设制备指标的指标数据，并计算...
该专利属于广东仁懋电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东仁懋电子有限公司授权不得商用。

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