一种蒸镀速率检测装置和蒸镀设备制造方法及图纸

本申请公开了一种蒸镀速率检测装置和蒸镀设备，蒸镀速率检测装置包括晶振盘，晶振盘上设有环形槽以容置环形晶振片；和遮挡件，遮挡件可转动地设置在晶振盘上用于遮挡环形晶振片，且遮挡件的投影面积覆盖晶振盘，遮挡件开设有第一通孔，第一通孔用于露出环形晶振片中的一段。环形晶振片一体化的结构，使晶振片在检测时无需切换，避免每批次圆形晶振片切换每个圆形晶振片耗费的时间，环形晶振片的检测时间延长，产能得到提高，环形晶振片的利用率也得到提高；环形晶振片一次性地在晶振盘上安装和拆卸，拆装便捷，避免设置多个圆形晶振片拆装时容易掉落、晶振片浪费的问题；还能使生产成本得到较大程度地降低。产成本得到较大程度地降低。产成本得到较大程度地降低。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀速率检测装置和蒸镀设备


[0001]本申请属于显示设备
，尤其涉及一种蒸镀速率检测装置和蒸镀设备。

技术介绍

[0002]相关技术中，如图1和图2所示，蒸镀速率检测技术是将圆形晶振片(Sensor)安装在陶瓷盘上，一般地一个陶瓷盘上安装有十个圆形晶振片，然后设置投影面积覆盖陶瓷盘的遮挡板(Chopper)，遮挡板上开设有通孔以能够完全露出陶瓷盘上的整个圆形晶振片。在蒸镀速率检测时，遮挡板旋转的同时保持圆形晶振片和陶瓷盘固定不动，通过遮挡板上的通孔对完全露出的圆形晶振片进行蒸镀速率检测。一个陶瓷盘可安装十个圆形晶振片，生产中需要进行九次圆形晶振片切换，每次圆形晶振片切换晶振片时，在圆形晶振片与圆形晶振片之间的旋转过程中，会出现无圆形晶振片检测速率的过程，而且切换圆形晶振片过程中速率稳定耗时10分钟/次，耗时较长。此外，每个圆形晶振片大速率使用14h后，圆形晶振片寿命(Lifetime)就达到上限10，当圆形晶振片寿命达到上限10后，速率检测稳定性较差，无法继续使用，需要切换下一批次圆形晶振片，故批次最大检测时间为10
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀速率检测装置，其特征在于，所述蒸镀速率检测装置包括：晶振盘，所述晶振盘上设有环形槽以容置环形晶振片；和，遮挡件，所述遮挡件可转动地设置在所述晶振盘上用于遮挡所述环形晶振片，且所述遮挡件的投影面积覆盖所述晶振盘，所述遮挡件开设有第一通孔，所述第一通孔用于露出所述环形晶振片中的一段。2.如权利要求1所述的蒸镀速率检测装置，其特征在于，所述蒸镀速率检测装置还包括：旋转组件，包括固定轴和旋转轴；所述固定轴上设置所述遮挡件，所述旋转轴驱动所述晶振盘旋转，以使所述晶振盘与所述遮挡件相对转动；或，所述固定轴上设置所述晶振盘，所述旋转轴驱动所述遮挡件旋转，以使所述遮挡件与所述晶振盘相对转动。3.如权利要求2所述的蒸镀速率检测装置，其特征在于，所述旋转组件还包括驱动件，所述驱动件驱动所述旋转轴转动。4.如权利要求2所述的蒸镀速率检测装置，其特征在于，所述旋转轴可转动地套设在所述固定轴外。5.如权利要求4所述的蒸...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝亮亮，赵鑫，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：