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本申请公开了一种蒸镀速率检测装置和蒸镀设备，蒸镀速率检测装置包括晶振盘，晶振盘上设有环形槽以容置环形晶振片；和遮挡件，遮挡件可转动地设置在晶振盘上用于遮挡环形晶振片，且遮挡件的投影面积覆盖晶振盘，遮挡件开设有第一通孔，第一通孔用于露出环形晶...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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